一种显影设备制造技术

本申请公开了一种显影设备，用以实现基板均匀稳定显影，满足光刻胶基板高分辨率、高透过率、低膜厚的要求。本申请提供的一种显影设备包括用于固定需要喷涂显影液的基板的固定装置，以及与固定装置相对设置、用于向基板喷涂显影液的喷涂装置，其中，喷涂装置在喷涂显影液过程中在平行于基板的面上按照预设方式移动，使得显影液均匀喷涂在基板上。

A developing device

The application discloses a developing device for achieving uniform and stable development of the substrate, and meeting the requirements of high resolution, high transmittance and low film thickness of the photoresist substrate. A developing device is provided including a fixing device used for fixing substrate to spray the developer, and the fixed device settings, for relative to the substrate spraying developing liquid spraying device, which, in the process of developing liquid spraying spraying device in parallel to the substrate surface according to the preset movement, makes the developer uniform spraying on the substrate.

【技术实现步骤摘要】
一种显影设备
本申请涉及光刻胶
，尤其涉及一种显影设备。
技术介绍
随着国内半导体行业的发展，国内面板行业飞速发展，面板厂对光刻胶的种类、稳定性以及精密程度要求越来越高，相应的对实验室样品显影的均匀稳定测试所能够达到的效果要求也越来越高。实验室对负性光刻胶的测试流程一般是涂膜、前烘、曝光、显影、后烘，而由于面板的高分辨率、高透过率、低膜厚的要求，上述测试流程中显影结果必须稳定均匀，边缘整齐无毛刺，像素条宽度均匀一致。目前负性光刻胶的显影方式一般是手持前烘后的玻璃在配制好的显影液内左右摇晃一定的时间后取出，烘干，此方法会受到摇摆的速度、幅度以及显影液重复使用的次数影响，且与面板厂大型的显影设备差异较大。
技术实现思路
本申请实施例提供了一种显影设备，用以实现基板均匀稳定显影，满足光刻胶基板高分辨率、高透过率、低膜厚的要求。本申请实施例提供的一种显影设备，包括用于固定需要喷涂显影液的基板的固定装置，以及与所述固定装置相对设置、用于向所述基板喷涂显影液的喷涂装置，其中，所述喷涂装置在喷涂显影液过程中在平行于所述基板的面上按照预设方式移动，使得显影液均匀喷涂在所述基板上。本申请实施例提供的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影设备，其特征在于：包括用于固定需要喷涂显影液的基板的固定装置，以及与所述固定装置相对设置、用于向所述基板喷涂显影液的喷涂装置，其中，所述喷涂装置在喷涂显影液过程中在平行于所述基板的面上按照预设方式移动，使得显影液均匀喷涂在所述基板上。

【技术特征摘要】
1.一种显影设备，其特征在于：包括用于固定需要喷涂显影液的基板的固定装置，以及与所述固定装置相对设置、用于向所述基板喷涂显影液的喷涂装置，其中，所述喷涂装置在喷涂显影液过程中在平行于所述基板的面上按照预设方式移动，使得显影液均匀喷涂在所述基板上。2.根据权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述喷涂装置包括喷头体、连杆机构、固定架以及第一电机，所述喷头体与所述固定架连接，所述固定架通过连杆机构与所述第一电机连接。3.根据权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述喷头体在喷涂显影液过程中在平行于所述基板的面上的移动轨迹为直线或曲线。4.根据权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述固定架包括水平杆、竖直杆和显影设备平台，所述喷头体与所述水平杆的一端连接，所述水平杆的另一端与所述竖直杆的顶端固定连接，所述竖直杆底端通过轴承以及轴承座活动连接于所述显影设备平台上。5.根据权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆以及第三连杆，所述第一连杆上...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁新顺，张涛，马雏雏，韩锦伟，霍学兵，刘宸，
申请(专利权)人：阜阳欣奕华材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34