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本申请公开了一种显影设备，用以实现基板均匀稳定显影，满足光刻胶基板高分辨率、高透过率、低膜厚的要求。本申请提供的一种显影设备包括用于固定需要喷涂显影液的基板的固定装置，以及与固定装置相对设置、用于向基板喷涂显影液的喷涂装置，其中，喷涂装置在...
该专利属于阜阳欣奕华材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阜阳欣奕华材料科技有限公司授权不得商用。

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