一种能充分利用显影液的新型自动显影机制造技术

一种能充分利用显影液的新型自动显影机，包括设备下部与显影缸承载圆盘连接的显影缸，显影缸承载圆盘设置在与设备结构安装盘连接的平面轴承和转轴上，设备结构安装盘与齿轮副连接，齿轮副与步进电机连接；设备上部包括设有悬挂臂并与平面轴承连接的悬挂臂旋转盘，平面轴承连接在齿轮副和旋转步进电机上，上下移动机架通过燕尾滚珠滑道安装于设置在固定工作台上的固定机架上，固定工作台上设有光幕传感器，固定机架内设有燕尾滚珠滑道和滚珠螺母，滚珠螺母与精密丝杠和上下移动步进电机相连。采用本实用新型专利技术可以自动根据显影液浓度依次逐个更换显影液的设备，方便地完成显影，还可自动启动灭火装置保证安全。

【技术实现步骤摘要】
一种能充分利用显影液的新型自动显影机
本技术涉及显影
，特别涉及一种能充分利用显影液的新型自动显影机。
技术介绍
目前我国的半导体功率器件生产过程的光刻工艺流程中的湿法显影工艺，正在从手工操作过渡到半自动和全自动生产。但是在全自动工艺流程中，由于工艺的要求，硅片必须依次在三个到十二个显影缸里进行显影。这就造成了这几个缸里的显影液溶解的光刻胶的浓度会有很大的差异，就是说第一个缸里的显影液由于光刻胶的浓度太高已经不能再用了，而后边的第五个缸里的显影液还是很好用的、它溶解进的光刻胶还很少，如果这五个缸里的显影液同时更换，后边的几个缸就浪费的太可惜了。针对这一个问题，我们设计了一款能够自动或半自动地根据显影缸里显影液的浓度依次逐个更换显影液的设备，这样既解决了显影液过于浪费的问题，又减少了对环境的污染，对低碳环保做出了一定的贡献。
技术实现思路
本技术的目的是能够在光刻显影的过程中，设备可以方便地完成显影工艺所要求的所有的动作和适时地依次根据显影液中溶进的光刻胶的浓度逐个显影缸更换新的显影液。并且具备不停电电源，当主电源停电时，利用备用电源可以将已经上架的工件顺利地显影完毕。当设备内意外出现燃本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种能充分利用显影液的新型自动显影机，包括上部和下部；所述上部包括设备外壳（19），所述设备外壳（19）顶部设有轴流风机与消防活门（18），所述轴流风机与消防活门（18）旁边设有烟雾传感器（16）和温度测控仪（17），所述设备外壳（19）内设有悬挂臂旋转盘（1），所述悬挂臂旋转盘（1）两端设有悬挂臂（10）与硅片挂架（26）；所述悬挂臂旋转盘(1)与平面轴承(2)和旋转轴（15）连接，所述平面轴承（2）下端设有齿轮副（3），所述齿轮副（3）下端设有旋转步进电机（4）；所述平面轴承（2）与上下移动机架（5）连接，所述上下移动机架（5）通过燕尾滚珠滑道（7）安装于固定机架（6）上；所述上下移动机架...

【技术特征摘要】
1.一种能充分利用显影液的新型自动显影机，包括上部和下部；所述上部包括设备外壳（19），所述设备外壳（19）顶部设有轴流风机与消防活门（18），所述轴流风机与消防活门（18）旁边设有烟雾传感器（16）和温度测控仪（17），所述设备外壳（19）内设有悬挂臂旋转盘（1），所述悬挂臂旋转盘（1）两端设有悬挂臂（10）与硅片挂架（26）；所述悬挂臂旋转盘(1)与平面轴承(2)和旋转轴（15）连接，所述平面轴承（2）下端设有齿轮副（3），所述齿轮副（3）下端设有旋转步进电机（4）；所述平面轴承（2）与上下移动机架（5）连接，所述上下移动机架（5）通过燕尾滚珠滑道（7）安装于固定机架（6）上；所述上下移动机架（5）下端设有滚珠螺母（8），所述滚珠螺母（8）通过精密丝杠（9）和上下移动步进电机（11）连接；所述固定机...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成森，沈广宇，薛治祥，沈怡东，王琳，
申请(专利权)人：捷捷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32