一种显影装置及显影方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其包括：显影槽、回收箱和设于显影槽正上方且用于传送基板的传送部；显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；回收箱包括第一箱体和第二箱体；第一槽与第一箱体连通；基板处于第二槽内，第二槽与第一箱体连通；基板处于第三槽内，第三槽与第二箱体连通。该显影装置能够解决在基板显影过程中，分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液的技术问题，从而减少稀释回收箱中显影液浓度的投入成本。

A developing device and developing method

The present invention provides a developing apparatus for developing process, the substrate comprising just above the developing tank, and a developing tank and recycling bins for the transfer of part of the transport substrate; a developing tank including spaced and orderly arrangement of the first slot, second slot and third slots; the recovery box comprises a first box body and a box of second; the first groove is connected with the first substrate in the box; second slot, second slot connected with the first substrate in the box; third slot, third slot and second box connected. The developing device can solve the technical problem of separately recovering the developer with different photo resistance concentration during the developing process of the substrate, so as to reduce the input cost of the developer solution in the dilution recovery box.

【技术实现步骤摘要】
一种显影装置及显影方法
本专利技术涉及显示面板制造
，特别涉及一种显影装置及显影方法。
技术介绍
在显示面板制造行业中，基板的制作工艺是制造高质量显示面板的一个重要部分。基板的制作包括：清洗、成膜、涂布、曝光、显影等。基板的显影是基板制作中的重要流程。目前，基板的显影需要显影装置对已曝光的基板进行显影。在显影过程中，显影装置利用显影液对基板上的光阻进行反应去除并回收显影液。然而，在显影液回收过程中，与基板上的光阻相互反应的显影液中的光阻浓度过高，该部分显影液回收至回收箱会降低回收箱中显影液的浓度。这时，用户需要往回收箱补充大量的标准浓度的显影液进行稀释，从而降低光阻浓度。然而，这一稀释流程将浪费大量的材料成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种显影装置，用以解决在基板显影过程中，分开回收掺杂有不同光阻浓度的显影液的技术问题，从而减少稀释回收箱中显影液浓度的投入成本。本专利技术提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其特征在于，包括：显影槽、回收箱和设于所述显影槽正上方且用于传送所述基板的传送部；所述显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；所述回收箱包括第一箱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影装置，用于对基板的显影加工，其特征在于，包括：显影槽、回收箱和设于所述显影槽正上方且用于传送所述基板的传送部；所述显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；所述回收箱包括第一箱体和第二箱体；所述第一槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第二槽内，所述第二槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第三槽内，所述第三槽与所述第二箱体连通。

【技术特征摘要】
1.一种显影装置，用于对基板的显影加工，其特征在于，包括：显影槽、回收箱和设于所述显影槽正上方且用于传送所述基板的传送部；所述显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；所述回收箱包括第一箱体和第二箱体；所述第一槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第二槽内，所述第二槽与所述第一箱体连通；所述基板处于所述第三槽内，所述第三槽与所述第二箱体连通。2.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述第二槽与所述第一箱体通过第一通道连接，所述第一通道上设有第一阀门；在所述基板到达所述第二槽时，所述第一阀门开启。3.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述第三槽与所述第二箱体通过第二通道连接，所述第二通道上设有第二阀门；在所述基板到达第三槽时，所述第二通道的所述第二阀门开启。4.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括：设于所述第一槽顶端的喷嘴及设于所述第三槽顶端的风刀。5.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述传送部包括多个传送滚轴；多个所述传...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾东坡，魏凡，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42