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本发明提供一种显影装置，用于对基板的显影加工，其包括：显影槽、回收箱和设于显影槽正上方且用于传送基板的传送部；显影槽包括相互间隔且依次排列的第一槽、第二槽和第三槽；回收箱包括第一箱体和第二箱体；第一槽与第一箱体连通；基板处于第二槽内，第二槽...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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