一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，包括测试平台和设置于所述测试平台底部的底座，所述测试平台和所述底座之间设置有弹性件，所述测试平台上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖，所述蒙盖的侧壁与所述底座可拆卸连接，所述测试平台的顶面和所述蒙盖的内部顶面中的一个设置有用于放置样品的样品放置结构，所述蒙盖的顶面开设有样品观察口，所述样品观察口对应并连通所述样品放置结构。该用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，测试时无需导电胶固定样品，能够极大改善图片质量、解决“黑纹”和“漂移”的问题，避免损坏样品。

An electron microscope platform for testing the surface morphology of non conducting samples

The utility model discloses a test for non conducting samples, the surface morphology of the electron microscope platform, including test platform and the base is arranged on the bottom of the test platform, the test platform and the base is provided with an elastic piece, the test platform is provided with a buckle opening at the bottom of the barrel cover, side the wall is covered with the base detachably connected, a top surface of the test platform and the inside of the top surface of the mask is provided for placing the specimen sample structure, the top surface of the mask provided with the sample sample observation, observation and communicated with the corresponding port sample structure. The electron microscope platform is used to test the surface topography of non-conductive samples. When it is tested, it needs no conductive adhesive to fix samples, which can greatly improve the quality of pictures, solve the problem of \black stripe\ and \drift\, and avoid damaging samples.

【技术实现步骤摘要】
一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台
本技术涉及非导电样品测试设备
，尤其涉及一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台。
技术介绍
现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，已广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。在做一些测试时，固定样品通常使用导电胶，但是众所周知，不管是导电胶带还是导电胶水，使用的均是有机物质中间掺导电颗粒制成，所以导电性能不是很好，这导致在测试半导体，如硅，这种类型的样品时经常出现“黑纹”“污染”“漂移”等现象，这些现象极大的降低了图片质量。另外，采用导电胶粘在平台上，在测试后取下样品时，难免会损坏样品。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，测试时无需导电胶固定样品，能够极大改善图片质量、解决“黑纹”和“漂移”的问题，避免损坏样品。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，包括测试平台和设置于所述测试平台底部的底座，所述测试平台和所述底座之间设置有弹性件，所述测试平台上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖，所述蒙盖的侧壁与所述底座可拆卸连接，所述测试平台的顶面和所述蒙盖的内部顶面中的一个设置有用于放置样品的样品放置结构，所述蒙盖的顶面开设有样品观察口，所述样品观察口对应并连通所述样品放置结构。作为一种优选方式，所述测试平台、所述底座及所述弹性件均可导电。作为一种优选方式，所述蒙盖可导电，所述蒙盖的内侧的径向尺寸与所述底座的外侧的径向尺寸相适应。作为一种优选方式，所述样品放置结构为设置于所述测试平台的顶面且外形与样品相适应的平台凹槽，所述平台凹槽的径向尺寸大于样品的径向尺寸，所述平台凹槽的深度小于样品的厚度。作为一种优选方式，所述样品观察口的径向尺寸小于样品的径向尺寸，所述样品观察口的中心与所述平台凹槽的中心对齐。作为一种优选方式，所述样品放置结构为设置于所述蒙盖的内部顶面且外形与样品相适应的蒙盖凹槽，所述蒙盖凹槽的径向尺寸大于样品的径向尺寸，所述蒙盖凹槽的深度小于样品的厚度。作为一种优选方式，所述样品观察口的径向尺寸小于样品的径向尺寸，所述样品观察口的中心与所述蒙盖凹槽的中心对齐。作为一种优选方式，所述样品放置结构为设置于所述测试平台的顶面且外形与样品相适应的平台凹槽和设置于所述蒙盖的内部顶面且外形与样品相适应的蒙盖凹槽，所述平台凹槽的径向尺寸、所述蒙盖凹槽的径向尺寸均大于样品的径向尺寸，所述平台凹槽的深度、所述蒙盖凹槽的深度均小于样品的厚度的一半。作为一种优选方式，所述样品观察口的径向尺寸小于样品的径向尺寸，所述样品观察口的中心与所述平台凹槽的中心、所述蒙盖凹槽的中心对齐。作为一种优选方式，所述蒙盖的侧部开设有蒙盖连接孔，所述底座的侧部开设有底座连接孔，卡槽栓依次穿过所述蒙盖连接孔、所述底座连接孔中，以实现所述蒙盖与所述底座的连接。本技术的用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，其将样品放置在测试平台或蒙盖上的样品放置结构处，并夹持于测试平台和蒙盖之间，并在观察口处观察样品表面形貌，利用弹性件很好地实现弹性缓冲，从而在蒙盖与底座连接时，蒙盖给予样品挤压力，该挤压力在弹性件的作用下成为柔性挤压，能够避免损坏样品，这种固定方式很好地解决了现有技术中采用导电胶固定样品的缺陷，在测试时无需导电胶固定样品，使得样品固定稳定，能够极大改善图片质量、解决“黑纹”和“漂移”的问题。附图说明图1是本技术提供的电镜平台的剖面结构示意图；图2是本技术提供的电镜平台在移除蒙盖和卡槽栓后的结构示意图；图3是本技术提供的测试平台的结构示意图；图4是本技术提供的蒙盖的立体结构示意图；图5是本技术提供的蒙盖的俯视结构示意图。图中：100-样品；1-测试平台；11-平台凹槽；2-底座；21-底座连接孔；3-弹性件；4-蒙盖；41-样品观察口；42-蒙盖连接孔；5-卡槽栓。具体实施方式下面结合附图1-5并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1至图5所示，一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，包括测试平台1和设置于所述测试平台1底部的底座2，所述测试平台1和所述底座2之间设置有弹性件3，所述测试平台1上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖4，所述蒙盖4的侧壁与所述底座2可拆卸连接，所述测试平台1的顶面和所述蒙盖4的内部顶面中的一个设置有用于放置样品100的样品放置结构，所述蒙盖4的顶面开设有样品观察口41，所述样品观察口41对应并连通所述样品放置结构。具体地，所述蒙盖4的侧部开设有蒙盖连接孔42，所述底座2的侧部开设有底座连接孔21，卡槽栓5依次穿过所述蒙盖连接孔42、所述底座连接孔21中，以实现所述蒙盖4与所述底座2的连接。该卡槽栓5为T型结构，利用竖直部分插入所述蒙盖连接孔42、所述底座连接孔21中，横向部分卡于所述蒙盖连接孔42的外侧，从而在径向上固定蒙盖和底座，需要拆卸时，通过横向部分拉出即可。优选的，在本实施例中，所述测试平台1、所述底座2及所述弹性件3均可导电。因此，当样品100放置在样品放置结构处时，受到样品放置结构的限制，不会跑偏；同时，其能够实现样品100的底面与测试平台接触，极大地提高了接触面积，更好地提升导电性能。进一步地，在蒙盖4与底座2连接后，由于受到蒙盖4的挤压力，使得弹性件被压缩，这时弹性件本身的导电性能提升，进而保证弹性件与测试平台1和底座2之间的导电性能。优选的，弹性件3为弹簧。更进一步地，所述蒙盖4可导电，所述蒙盖4的内侧的径向尺寸与所述底座2的外侧的径向尺寸相适应。这时，通过各个方向的可导电性，更有利于保证导电性能。作为一种优选方式，所述样品放置结构为设置于所述测试平台1的顶面且外形与样品100相适应的平台凹槽11，所述平台凹槽11的径向尺寸大于样品100的径向尺寸，所述平台凹槽11的深度小于样品100的厚度。所述样品观察口41的径向尺寸小于样品100的径向尺寸，所述样品观察口41的中心与所述平台凹槽11的中心对齐。这时，样品位于平台凹槽11中，且样品100的边缘被压于蒙盖4的观察口的边缘之下，因而样品不仅受到径向的限位，在竖向方向上也受到蒙盖4的限制，避免从观察口掉出。这种情况下，直接把样品100放置在平台凹槽11中，然后将蒙盖4倒扣于测试平台1上，通过挤压，使弹性件压缩，再将蒙盖4与底座2固定，这时，样品100就被放置于蒙盖与测试平台之间。在本实施例中，所述平台凹槽11的深度为100-150μm。例如，平台凹槽11的深度可以为100μm、102μm、105μm、108μm、110μm、113μm、116μm、117μm、120μm、124μm、128μm、130μm、131μm、132μm、135μm、138μm、139μm、140μm、142μm、145μm、147μm、148μm、149μm或150μm。作为另一种优选方式，所述样品放置结构为设置于所述蒙盖4的内部顶面且外形与样品100相适应的蒙盖凹槽，所述蒙盖凹槽的径向尺寸大于样品100的径向尺寸，所述蒙盖凹槽的深度小于样品100的厚度。所述样品观察口41的径向尺寸小于样品100的径向尺寸，所述样品观察口41的中心与所述蒙盖凹槽的中心对齐。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，其特征在于，包括测试平台(1)和设置于所述测试平台(1)底部的底座(2)，所述测试平台(1)和所述底座(2)之间设置有弹性件(3)，所述测试平台(1)上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖(4)，所述蒙盖(4)的侧壁与所述底座(2)可拆卸连接，所述测试平台(1)的顶面和所述蒙盖(4)的内部顶面中的一个设置有用于放置样品(100)的样品放置结构，所述蒙盖(4)的顶面开设有样品观察口(41)，所述样品观察口(41)对应并连通所述样品放置结构。

【技术特征摘要】
1.一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，其特征在于，包括测试平台(1)和设置于所述测试平台(1)底部的底座(2)，所述测试平台(1)和所述底座(2)之间设置有弹性件(3)，所述测试平台(1)上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖(4)，所述蒙盖(4)的侧壁与所述底座(2)可拆卸连接，所述测试平台(1)的顶面和所述蒙盖(4)的内部顶面中的一个设置有用于放置样品(100)的样品放置结构，所述蒙盖(4)的顶面开设有样品观察口(41)，所述样品观察口(41)对应并连通所述样品放置结构。2.根据权利要求1所述的电镜平台，其特征在于，所述测试平台(1)、所述底座(2)及所述弹性件(3)均可导电。3.根据权利要求2所述的电镜平台，其特征在于，所述蒙盖(4)可导电，所述蒙盖(4)的内侧的径向尺寸与所述底座(2)的外侧的径向尺寸相适应。4.根据权利要求1所述的电镜平台，其特征在于，所述样品放置结构为设置于所述测试平台(1)的顶面且外形与样品(100)相适应的平台凹槽(11)，所述平台凹槽(11)的径向尺寸大于样品(100)的径向尺寸，所述平台凹槽(11)的深度小于样品(100)的厚度。5.根据权利要求4所述的电镜平台，其特征在于，所述样品观察口(41)的径向尺寸小于样品(100)的径向尺寸，所述样品观察口(41)的中心与所述平台凹槽(11)的中心对齐。6.根据权利要求1所述的电镜平台，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琰琪，刘国，王钰雅，侯玉，王栩生，涂修文，邢国强，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32