带静电卡盘的运输机器人的控制系统技术方案

本发明专利技术可使具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件的带静电卡盘的运输机器人的控制系统构成为能使静电卡盘响应性良好地作业。本发明专利技术的运输机器人的控制系统具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置(Mc)通信自如地连接并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人(Tr)作业的机器人控制装置(Rc)；以及控制静电卡盘对工件(W)的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置(Cc)。静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。

The control system of a transport robot with an electrostatic chuck

The invention can make the processing device of a plurality of processing rooms with the prescribed processing for the workpiece, and control system for transporting and transporting the workpiece with electrostatic chuck in the processing room, which is composed of a processing device capable of enabling the electrostatic chuck to respond well. With the unified control device unified control processing device operation control system of the invention of the transport robot (Mc) communication freely connect and to control the transport robot according to the control signal from the unified control device (Tr) control device for operating a robot (Rc); and to control the electrostatic chuck on the electrostatic chuck control (W) device for electrostatic adsorption or released (Cc). The electrostatic chuck control device monitors the communication contents between the unified control device and the robot control device, and controls the electrostatic chuck to conduct electrostatic adsorption or removal of the workpiece based on the monitored communication content.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带静电卡盘的运输机器人的控制系统
本专利技术涉及一种带静电卡盘的运输机器人的控制系统。
技术介绍
一直以来，作为对硅晶片或玻璃基板等工件实施规定处理的真空处理装置VM，已知的装置(所谓的群集工具)是如图1所示的，经闸阀Gv将负载锁定室B和多个处理室C1～C3配置为围绕配置了运输机器人Tr的中央运输室A，通过运输机器人Tr将投放到负载锁定室B的工件W运输到处理室C1～C3中的任意一个内，实施规定的处理。作为运输机器人Tr，例如使用的装置具有同心配置的两根旋转轴；以及与各旋转轴相连接与旋转轴的旋转角相对应而旋转并伸缩的机器臂；在机器臂的前端设置有以载置的状态支撑工件的机器手。在这类运输机器人中，有在机器手上设置正负电极并具有所谓的双极型静电卡盘的装置(例如参照专利文献1)。由此，通过静电吸附工件，可消除运输途中工件从机器手脱离或移位的情况。再有，作为对在真空中可动的运输机器人的机器手上设置的电极进行供电的方法，有非接触式方法例如专利文献2中已知的。该方法包括电容器以及具有交流电源部并控制给静电卡盘的两电极的供电通断(工件的静电吸附或解除)的静电卡盘控制装置。电容器在相对配置的一对电极间机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带静电卡盘的运输机器人的控制系统，所述控制系统以具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件，其特征在于：具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置通信自如地连接，并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人作业的机器人控制装置；以及控制静电卡盘对工件的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置；静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.29 JP 2015-1100151.一种带静电卡盘的运输机器人的控制系统，所述控制系统以具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件，其特征在于：具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置通信自如地连接，并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人作业的机器人控制装置；以及控制静电卡盘对工件的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置；静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木杰之，川久保大辅，南展史，武者和博，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP