在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置及涂胶设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置及涂胶设备。所述装置具有由两个以上的组件沿径向拼接形成的筒状结构，所述筒状结构包括沿轴向设置且相互连通的第一腔室和第二腔室，并且在所述装置工作时，圆片被夹持固定于第一腔室内，载片吸盘被固定于第二腔室内，且载片吸盘的上端面从第二腔室中露出并与圆片的一侧面紧密贴合，同时圆片与载片吸盘同轴设置。本实用新型专利技术提供的在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置，能够使圆片与载片吸盘处于同心圆位置，在涂胶过程中使光刻胶均匀分布于圆片上。

A device and a coating device for the center of a wafer to a disc sucker in the coating process

The utility model discloses a device and a coating device for making the wafer on the plate suction disc in the gelatinization process. The device has a cylindrical structure composed of more than two components along the radial direction is formed by joining, the tubular structure includes a first and a second chamber axial arranged and are communicated with each other, and in which the device is working, discs are clamped and fixed on the first chamber slide chuck is fixed to the second cavity indoor, on the face and slide the sucker from the second chamber exposed and one side and tightly attached to the wafer, and the wafer is set at the same time slide coaxial sucker. The utility model provides a device for making the wafer centered on the sucker of the carrier chip in the glue coating process, which enables the wafer to be concentric round with the carrier chuck, and evenly distribute the photoresist on the wafer during the gluing process.

【技术实现步骤摘要】
在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置及涂胶设备
本技术涉及一种辅助涂胶装置，特别涉及一种在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置及涂胶设备，属于半导体制造

技术介绍
在半导体制造过程中，光刻是必不可少的工艺步骤，因此涂胶也是不可避免的。然而当前低端涂胶设备均没有机械手臂，涂胶作业时都需手动将圆片放置在载片吸盘上，这就造成圆片很难居中放置在载片吸盘上，在涂胶设备高速转动时因圆片与载片吸盘不处于同心圆位置，使圆片表面光刻胶在高速转动过程中受到的离心力不均匀，进而导致胶膜厚度不均匀，从而影响后续工艺的稳定性。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置及涂胶设备，以克服现有技术的不足。为实现前述技术目的，本技术采用的技术方案包括：本技术实施例提供了一种在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置，所述装置具有由两个以上的组件沿径向拼接形成的筒状结构，所述筒状结构包括沿轴向设置且相互连通的第一腔室和第二腔室，并且在所述装置工作时，圆片被夹持固定于第一腔室内，载片吸盘被固定于第二腔室内，且载片吸盘的上端面从第二腔室中露出并与圆片的一侧面紧密贴合，同时圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置，其特征在于：所述装置具有由两个以上的组件沿径向拼接形成的筒状结构，所述筒状结构包括沿轴向设置且相互连通的第一腔室和第二腔室，并且在所述装置工作时，圆片被夹持固定于第一腔室内，载片吸盘被固定于第二腔室内，且载片吸盘的上端面从第二腔室中露出并与圆片的底面紧密贴合，同时圆片与载片吸盘同轴设置。

【技术特征摘要】
1.一种在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置，其特征在于：所述装置具有由两个以上的组件沿径向拼接形成的筒状结构，所述筒状结构包括沿轴向设置且相互连通的第一腔室和第二腔室，并且在所述装置工作时，圆片被夹持固定于第一腔室内，载片吸盘被固定于第二腔室内，且载片吸盘的上端面从第二腔室中露出并与圆片的底面紧密贴合，同时圆片与载片吸盘同轴设置。2.根据权利要求1所述在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置，其特征在于：所述第一腔室的内径与所述圆片的直径相等。3.根据权利要求1所述在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置，其特征在于：所述第二腔室的内径与所述载片吸盘的直径相等。4.根据权利要求1-3中任一项所述在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置，其特征在于：所述第一腔室和第二腔室的内壁面均为光滑弧形面。5.根据权利要求1所述在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄寓洋，
申请(专利权)人：苏州苏纳光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32