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本实用新型公开了一种在涂胶工艺中使圆片于载片吸盘上居中的装置及涂胶设备。所述装置具有由两个以上的组件沿径向拼接形成的筒状结构，所述筒状结构包括沿轴向设置且相互连通的第一腔室和第二腔室，并且在所述装置工作时，圆片被夹持固定于第一腔室内，载片吸...
该专利属于苏州苏纳光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏纳光电有限公司授权不得商用。

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