一种半导体测试机校准装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种半导体测试机校准装置，包括功率探头、安装在功率探头上的第一段射频线、安装在测试机通道上的第二段射频线以及用于支撑和固定射频线的固定装置；所述的固定装置包括固定底座和旋转固定板，所述的固定底座上安装有一铰接座，所述的旋转固定板的一端通过固定销安装在铰接座上，旋转固定板可围绕铰接座旋转固定。本发明专利技术中将功率探头通过挂钩安装在测试机的侧壁上，射频线设置有两段，中间设置一个用于固定射频线的固定装置，使射频线能够完全处于自由悬空状态，不受外力其他外物接触干扰，使功率探头的校准结果更加的准确，而且功率探头和射频线也更加方便拆卸。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体测试机校准装置
本专利技术属于半导体检测设备，具体涉及一种半导体测试机校准装置。
技术介绍
工程师调试半导体测试机程序时有一个校准步骤，用来测量功率在线路中的损耗，然后通过程序对测量出的损耗加以补偿使得测试能顺利完成。在测试通路的损耗时，将功率探头通过射频线与该条的通路末端相连，如图1所示(这是测试其中一条通路的情况)此时射频头与功率探头相连后，射频线部分要处于自由状态，当人为不小心施加外力或者与其他外物接触可能会对测试结果有影响，为此我们需要寻找一个将其固定的方法；而且又因为射频线较硬不易弯折，要使其处于自由状态，功率探头的安装也是一个问题；校准步骤只是在研发和调试时使用，在调试完成后的生产中不会使用，因此我们需要一个在校准时使用，而在生产过程中可以尽量减少其占地空间的校准模块。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术存在的不足，提供一种半导体测试机校准装置。技术方案：本专利技术解决问题所采用的技术方案为：一种半导体测试机校准装置，包括功率探头、安装在功率探头上的第一段射频线、安装在测试机通道上的第二段射频线以及用于支撑和固定射频线的固定装置；所述的固定装置包括固定底座和旋转固定板，所述的固定底座上安装有一铰接座，所述的旋转固定板的一端通过固定销安装在铰接座上，旋转固定板可围绕铰接座旋转固定；所述的旋转固定板的一端还安装有射频头安装板，所述的射频头安装板上安装有射频接头，所述的第一射频线和第二射频线分别对应连接到射频接头上。作为优选，所述的旋转固定板的端部设置有射频孔，该射频孔的四周以及射频头安装板上设置有对应的安装孔，所述的射频头安装板通过设置的固定件以及相配合的安装孔安装在旋转固定板的端部，并且使一侧的射频接头穿过射频孔，以使得两个射频接头分别位于旋转固定板的两侧。作为优选，所述的旋转固定板前端的射频孔共设置有两个，两个射频孔上均安装有射频头安装板。作为优选，所述的固定底座上还设置有安装孔，安装孔内安装有固定件，通过固定件和安装孔将固定底座固定。作为优选，所述的铰接座的两侧均设置有螺纹孔，该螺纹孔的方向横向设置，通向旋转固定板的铰接端，所述的螺纹孔内安装有用于固定旋转固定板的波珠螺丝；波珠螺丝内设置有弹簧和钉珠，通过往里拧紧可将旋转固定板固定住，而往外放松又可以使旋转固定板恢复旋转。作为优选，所述的功率探头上还设置有挂钩。有益效果：本专利技术具有以下有益效果：(1)本专利技术中将功率探头通过挂钩安装在测试机的侧壁上，射频线设置有两段，中间设置一个用于固定射频线的固定装置，使射频线能够完全处于自由悬空状态，不受外力其他外物接触干扰，使功率探头的校准结果更加的准确，而且功率探头和射频线也更加方便拆卸；(2)本专利技术中射频线的固定装置采用铰接座和旋转固定板来固定射频线，使用时旋转固定板竖直放置或者斜向放置，再通过波珠螺丝固定位置，第一射频线和第二射频线分别连接至两侧的射频接头上即可，不用的时候将两条射频线拆下，旋转固定板水平放置，整体结构易拆卸，射频线的安装和拆卸很方便，而且不占用较大的空间。附图说明图1为现有的半导体测试机校准装置使用图；图2为本专利技术的使用图；图3为本专利技术中固定装置结构分解图；图4为本专利技术中固定装置组装图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本专利技术，本实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施，应理解这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。如图2、图3和图4所示，一种半导体测试机校准装置，包括功率探头1、安装在功率探头1上的第一段射频线2、安装在测试机通道上的第二段射频线3以及用于支撑和固定射频线的固定装置；所述的固定装置包括固定底座4和旋转固定板5，所述的固定底座4上安装有一铰接座6，所述的旋转固定板5的一端通过固定销7安装在铰接座6上，旋转固定板5可围绕铰接座6旋转固定；所述的旋转固定板5的一端还安装有射频头安装板8，所述的射频头安装板8上安装有射频接头9，所述的第一射频线2和第二射频线3分别对应连接到射频接头9上。所述的旋转固定板5的端部设置有射频孔10，该射频孔10的四周以及射频头安装板8上设置有对应的安装孔11，所述的射频头安装板8通过设置的固定件12以及相配合的安装孔11安装在旋转固定板5的端部，并且使一侧的射频接头9穿过射频孔10，以使得两个射频接头分别位于旋转固定板5的两侧。所述的旋转固定板5前端的射频孔10共设置有两个，两个射频孔10上均安装有射频头安装板8；所述的固定底座4上还设置有安装孔11，安装孔11内安装有固定件12，通过固定件12和安装孔11将固定底座4固定。所述的铰接座6的两侧均设置有螺纹孔13，该螺纹孔13的方向横向设置，通向旋转固定板5的铰接端，所述的螺纹孔13内安装有用于固定旋转固定板5的波珠螺丝14；波珠螺丝14内设置有弹簧和钉珠，通过往里拧紧可将旋转固定板5固定住，而往外放松又可以使旋转固定板5恢复旋转；所述的功率探头1上还设置有挂钩15。本专利技术中将功率探头通过挂钩安装在测试机的侧壁上，射频线设置有两段，中间设置一个用于固定射频线的固定装置，使射频线能够完全处于自由悬空状态，不受外力其他外物接触干扰，使功率探头的校准结果更加的准确，而且功率探头和射频线也更加方便拆卸；本专利技术中射频线的固定装置采用铰接座和旋转固定板来固定射频线，使用时旋转固定板竖直放置或者斜向放置，再通过波珠螺丝固定位置，第一射频线和第二射频线分别连接至两侧的射频接头上即可，不用的时候将两条射频线拆下，旋转固定板水平放置，整体结构易拆卸，射频线的安装和拆卸很方便，而且不占用较大的空间。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体测试机校准装置，其特征在于：包括功率探头(1)、安装在功率探头(1)上的第一射频线(2)、安装在测试机通道上的第二射频线(3)以及用于支撑和固定射频线的固定装置；所述的固定装置包括固定底座(4)和旋转固定板(5)，所述的固定底座(4)上安装有一铰接座(6)，所述的旋转固定板(5)的一端通过固定销(7)安装在铰接座(6)上，旋转固定板(5)可围绕铰接座(6)旋转固定；所述的旋转固定板(5)的一端还安装有射频头安装板(8)，所述的射频头安装板(8)上安装有射频接头(9)，所述的第一射频线(2)和第二射频线(3)分别对应连接到射频接头(9)上。

【技术特征摘要】
1.一种半导体测试机校准装置，其特征在于：包括功率探头(1)、安装在功率探头(1)上的第一射频线(2)、安装在测试机通道上的第二射频线(3)以及用于支撑和固定射频线的固定装置；所述的固定装置包括固定底座(4)和旋转固定板(5)，所述的固定底座(4)上安装有一铰接座(6)，所述的旋转固定板(5)的一端通过固定销(7)安装在铰接座(6)上，旋转固定板(5)可围绕铰接座(6)旋转固定；所述的旋转固定板(5)的一端还安装有射频头安装板(8)，所述的射频头安装板(8)上安装有射频接头(9)，所述的第一射频线(2)和第二射频线(3)分别对应连接到射频接头(9)上。2.根据权利要求1所述的一种半导体测试机校准装置，其特征在于：所述的旋转固定板(5)的端部设置有射频孔(10)，该射频孔(10)的四周以及射频头安装板(8)上设置有对应的安装孔(11)，所述的射频头安装板(8)通过设置的固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，王刚，程尧，张伟，
申请(专利权)人：上海旻艾信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31