一种离子镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种离子镀膜设备，包括真空室、进气管、真空系统、烘烤加热装置、偏压电源、活化电极、活化电极电源、电子枪、坩埚和电子枪电源，进气管的输入端固定有预混合管，预混合管包括管体，管体设有法兰接口和端板，端板上固定有若干气源接口，管体内腔的前部设有若干折流板，后部设有微孔橡胶块，微孔橡胶块的下端与管体固定，上端粘接有压板，压板的上端边部通过伸缩管与管体顶板下端面固定，中部设有与管体顶板螺接的压杆。本实用新型专利技术增设有预混合管，混合反应气体从气源接口进入管体，首先在折流板的作用下进行初步混合，而后进入微孔橡胶块的微孔中进行进一步的混合，保障混合反应气体的作用效果。

An ion plating equipment

The utility model discloses an ion plating device comprises a vacuum chamber, an air inlet pipe, vacuum system, baking heating device, bias power, activating electrode, activated electrode power, electron gun, crucible and electron gun power input end of the intake pipe is fixed with a pre mixing pipe, pre mixing pipe comprises a pipe body, the pipe body a flange interface and end plate, a plurality of air interface fixed on the end plate, the front of the lumen of the tubular body is provided with a plurality of baffles, the back part is provided with a microporous rubber block, microporous rubber block and lower pipe body is fixed, the upper plate is stuck, the upper edge of the plate through the telescopic pipe and the pipe roof face fixed. The middle part is provided with a pressure bar and the tube body roof bolts. The utility model is additionally provided with a pre mixing pipe, and the mixed reaction gas enters the pipe body from the gas source interface. First, the mixture is initially mixed under the action of the baffle plate, and then enters the micropore of the microporous rubber block for further mixing to ensure the effect of the mixed reaction gas.

【技术实现步骤摘要】
一种离子镀膜设备
本技术涉及镀膜
，具体涉及一种离子镀膜设备。
技术介绍
真空离子镀膜是一种利用物理气相沉积的方法，通过等离子体促进化学合成反应，在产品表面做改性的技术。随着真空离子镀膜产品的精度、镜面级别、颜色Lab值的要求越来越高甚至苛刻，除了离化源、电源、真空抽气系统、自动控制外，送气系统也同样严重的影响了产品的稳定性和均匀性。真空镀膜装置中设置有气管，用以输送工作气体和反应气体于镀膜室中。氮化钛等硬质涂层常采用活性反应离子镀技术进行镀膜。传统离子镀膜设备在使用过程中存在不足之处，其对于气体的输送大多采用单独的阀门和管道进行控制，使得进气没有进行预混和，导致其作用效果较差。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，提供一种离子镀膜设备。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术是通过以下技术方案实现：一种离子镀膜设备，包括真空室、进气管、真空系统、烘烤加热装置、偏压电源、活化电极、活化电极电源、电子枪、坩埚和电子枪电源，所述进气管、真空系统分别设于真空室的两侧，所述烘烤加热装置的下端面为用于对工件进行加热的工作面，所述上端连接有偏压电源，所述活化电极位于烘烤加热装置和电子枪之间，外接有活化电极电源，所述电子枪接通电子枪电源后产生电子束，电子束达到所述坩埚后，其动能转为热能将金属加热、蒸发，所述进气管的输入端固定有预混合管，所述预混合管包括横截面为矩形的管体，所述管体的一侧设有法兰接口，另一侧设有端板，所述端板上固定有若干内置单向阀的气源接口，所述管体内腔的前部设有若干折流板，后部设有提高混合度的微孔橡胶块，所述微孔橡胶块的下端与管体底板上端面固定，上端粘接有压板，所述压板的上端边部通过伸缩管与管体顶板下端面固定，所述压板的上端中部设有与其相抵的压杆，所述压杆的杆体外侧设有螺纹部，相应地所述管体顶板开设有螺纹孔。进一步地，所述进气管上设有开度调节阀。进一步地，所述折流板上下交错分布。进一步地，所述微孔橡胶块的宽度与管体内腔宽度相等。进一步地，所述压杆的外端固定有便于手动旋转的旋钮。本技术的有益效果是：本技术离子镀膜设备增设有预混合管，混合反应气体从气源接口进入管体，首先在折流板的作用下进行初步混合，而后进入微孔橡胶块的微孔中进行进一步的混合，微孔橡胶块受到上方压杆的挤压时，其微孔孔径发生变化，使得混合效果得到调整，满足不同工艺的需求，保障混合反应气体的作用效果。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中预混合管的结构示意图；附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-真空室，2-进气管，3-真空系统，4-预混合管，401-管体，402-法兰接口，403-端板，404-气源接口，405-折流板，406-微孔橡胶块，407-压板，408-伸缩管，409-压杆，410-旋钮，5-烘烤加热装置，6-工件，7-偏压电源，8-活化电极，9-电极电源，10-电子束，11-电子枪，12-坩埚，13-电子枪电源。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2所示，本实施例为一种离子镀膜设备，包括真空室1、进气管2、真空系统3、烘烤加热装置5、偏压电源7、活化电极8、活化电极电源9、电子枪11、坩埚12和电子枪电源13。进气管2、真空系统3分别设于真空室1的两侧。烘烤加热装置5的下端面为用于对工件6进行加热的工作面，上端连接有偏压电源7。活化电极8位于烘烤加热装置5和电子枪11之间，外接有活化电极电源9。电子枪11接通电子枪电源13后产生电子束10，电子束10达到坩埚12后，其动能转为热能将金属加热、蒸发。进气管2上设有开度调节阀，其输入端固定有预混合管4。预混合管4包括横截面为矩形的管体401，管体401的一侧设有法兰接口402，另一侧设有端板403，端板403上固定有若干内置单向阀的气源接口404，管体401内腔的前部设有若干上下交错分布的折流板405，后部设有提高混合度的微孔橡胶块406，微孔橡胶块406的宽度与管体401内腔宽度相等，下端与管体401底板上端面固定，上端粘接有压板407，压板407的上端边部通过伸缩管408与管体401顶板下端面固定，压板407的上端中部设有与其相抵的压杆409，压杆409的杆体外侧设有螺纹部，相应地管体401顶板开设有螺纹孔，压杆409的外端固定有便于手动旋转的旋钮410。活性反应离子镀工艺过程：工件6经清洗入炉后抽真空。当真空度达到6×10-3Pa后，开启烘烤加热电源，对工件进行加热。达到一定温度后通入氩气，真空度降至2～3Pa，接通工件偏压电源7，电压调至1000V。此时产生辉光放电，获得氩离子。氩离子在负偏压电场的作用下，对工件6进行轰击净化。开启活化电极电源9、关闭氩气，通入混合反应气体，真空度调至(2～5)×10-2Pa。工作偏压仍为1000V。最后接通电子枪电源13。一般枪电压10kV，束流0.3～1A。电子束10达到坩埚12后，其动能转为热能将金属加热、蒸发，此时工件6和活化电极8上都产生辉光。随着电子束10电流的增加和活化极电压的升高，辉光强度增大、活化极电流增大、工件偏流增大。活化极电流可达15～40A，活化极电压50～80V。调整适当的参数，可以获得优质的氮化钛等硬质涂层。混合反应气体从气源接口404进入管体401，首先在折流板405的作用下进行初步混合，而后进入微孔橡胶块406的微孔中进行进一步的混合，微孔橡胶块406受到上方压杆409的挤压时，其微孔孔径发生变化，使得混合效果得到调整，满足不同工艺的需求。微孔橡胶块406受压时，侧部与管体401抵触密封，上部由伸缩管408实现密封，使得气流主要经微孔橡胶块406的微孔排出，通过这种方式实现混合气体的预混合，保障作用效果。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本技术的原理和实际应用，从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本技术。本技术仅受本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子镀膜设备，包括真空室、进气管、真空系统、烘烤加热装置、偏压电源、活化电极、活化电极电源、电子枪、坩埚和电子枪电源，所述进气管、真空系统分别设于真空室的两侧，所述烘烤加热装置的下端面为用于对工件进行加热的工作面，所述上端连接有偏压电源，所述活化电极位于烘烤加热装置和电子枪之间，外接有活化电极电源，所述电子枪接通电子枪电源后产生电子束，电子束达到所述坩埚后，其动能转为热能将金属加热、蒸发，其特征在于：所述进气管的输入端固定有预混合管，所述预混合管包括横截面为矩形的管体，所述管体的一侧设有法兰接口，另一侧设有端板，所述端板上固定有若干内置单向阀的气源接口，所述预混合管位于管体内腔的前部设有若干折流板，后部设有提高混合度的微孔橡胶块，所述微孔橡胶块的下端与管体底板上端面固定，上端粘接有压板，所述压板的上端边部通过伸缩管与管体顶板下端面固定，所述压板的上端中部设有与其相抵的压杆，所述压杆的杆体外侧设有螺纹部，相应地所述管体顶板开设有螺纹孔。

【技术特征摘要】
1.一种离子镀膜设备，包括真空室、进气管、真空系统、烘烤加热装置、偏压电源、活化电极、活化电极电源、电子枪、坩埚和电子枪电源，所述进气管、真空系统分别设于真空室的两侧，所述烘烤加热装置的下端面为用于对工件进行加热的工作面，所述上端连接有偏压电源，所述活化电极位于烘烤加热装置和电子枪之间，外接有活化电极电源，所述电子枪接通电子枪电源后产生电子束，电子束达到所述坩埚后，其动能转为热能将金属加热、蒸发，其特征在于：所述进气管的输入端固定有预混合管，所述预混合管包括横截面为矩形的管体，所述管体的一侧设有法兰接口，另一侧设有端板，所述端板上固定有若干内置单向阀的气源接口，所述预混合管位于管体内腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳一民，王静辉，
申请(专利权)人：桑尼光电技术安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34