喷嘴及具有该喷嘴的气体充填装置制造方法及图纸

一种喷嘴及具有该喷嘴的气体充填装置，喷嘴包括一外壳、一喷头、一弹性密封件、一挡止件，及一偏压弹簧。外壳具有一上端及一下端，外壳界定出一贯穿孔。喷头穿设于贯穿孔并可相对于外壳上下移动，喷头具有一凸伸出上端的顶面，及一凸伸出下端的底面，喷头界定出一贯穿于顶面与底面的气体流道。弹性密封件设置于喷头邻近于顶面处并环绕于气体流道外周围，弹性密封件用以接触一传送盒。挡止件设置于喷头邻近于底面处且位于下端下方。偏压弹簧设置于贯穿孔内并对喷头朝上偏压，以使挡止件抵接于该下端。借此，能提升弹性密封件与传送盒间的气密性，以防止或减少漏气问题。

Nozzle and gas filling device with the nozzle

A nozzle and a gas filling device with the nozzle include a shell, a sprinkler, an elastic seal, a stop piece, and a partial pressure spring. The outer shell has an upper end and a lower end, and the outer shell defines a consistent perforation. The sprinkler head is arranged on the perforation hole and can move relative to the upper and lower parts of the housing. The sprinkler has a convex top surface extending to the upper end, and a convex bottom extending bottom surface. The nozzle defines a gas passage which is consistently penetrated on the top surface and the bottom surface. The elastic seal is located near the top surface of the nozzle and around the outside of the gas flow channel, and the elastic seal is used to contact a transmission box. The stopper is located near the bottom of the nozzle and below the lower end. The bias spring is set in the perforation and partial pressure on the nozzle to make the stopper against the lower end. In this way, the air tightness between the elastic seal and the transmission box can be improved to prevent or reduce the leakage problem.

【技术实现步骤摘要】
喷嘴及具有该喷嘴的气体充填装置
本技术涉及一种喷嘴，特别是涉及一种用以对传送盒进行充气或排气的喷嘴及具有该喷嘴的气体充填装置。
技术介绍
在半导体制程中，气体充填装置用以承载前开式晶圆传送盒(FOUP)，气体充填装置借由喷嘴充填惰性气体至传送盒内，以避免传送盒内所承载的晶圆受到如氧气、水气或微粒的污染。喷嘴易因传送盒放置位置的不准确而导致喷嘴无法紧密地贴合在传送盒底面，因此，喷嘴与传送盒间会因气密性不佳而产生漏气的问题。
技术实现思路
本技术的一目的，在于提供一种喷嘴，能紧密地贴合在传送盒底面以提升与传送盒间的气密性，借以防止或减少漏气问题。本技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本技术提出的喷嘴包括一外壳、一喷头、一弹性密封件、一挡止件，及一偏压弹簧，该外壳具有一上端及一下端，该外壳界定出一贯穿于该上端与该下端的贯穿孔，该喷头穿设于该贯穿孔并可相对于该外壳上下移动，该喷头具有一凸伸出该上端的顶面，及一凸伸出该下端的底面，该喷头界定出一贯穿于该顶面与该底面的气体流道，该弹性密封件设置于该喷头邻近于该顶面处并环绕于该气体流道外周围，该弹性密封件用以接触一传送盒，该挡止件设置于该喷头邻近于该底面处且位于该下端下方，该偏压弹簧设置于该贯穿孔内并对该喷头朝上偏压，以使该挡止件抵接于该下端。该喷头界定出一由该顶面向下凹陷的环形沟槽，该弹性密封件为一O形环，该弹性密封件通过紧配合方式卡掣于该环形沟槽内且部分凸伸出该顶面。该弹性密封件为一套设于该喷头邻近于该顶面处的弹性块，该弹性密封件具有一用以接触该传送盒的上接触平面，该上接触平面以面接触方式与该传送盒接触。该弹性密封件还具有一相反于该上接触平面的下表面，该弹性密封件界定出一贯穿于该上接触平面与该下表面的通孔，该喷头还具有一供该下表面抵接的第一管体，及一形成于该第一管体顶端且卡掣于该通孔内的第二管体。该通孔具有一形成于该下表面的第一小孔径部、一形成于该上接触平面的第二小孔径部，及一连通于该第一小孔径部与该第二小孔径部间的大孔径部，该大孔径部的孔径分别大于该第一小孔径部的孔径及该第二小孔径部的孔径，该第二管体具有一管部，及一由该管部外周面径向朝外凸伸的凸缘，该管部具有该顶面并且穿设于该第一小孔径部、该第二小孔径部及该大孔径部内，该凸缘卡掣于该大孔径部内，该上接触平面高度高于该顶面高度。该弹性密封件由橡胶或硅胶材质所制成，且该弹性密封件的颜色为白色。该喷头还界定出一邻近该底面的环形卡槽，该挡止件为一卡掣于该环形卡槽内的C形扣环。本技术的另一目的，在于提供一种具有喷嘴的气体充填装置，喷嘴能紧密地贴合在传送盒底面以提升与传送盒间的气密性，借以防止或减少漏气问题。本技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本技术提出的气体充填装置包含一承载盘，及一对喷嘴，该承载盘用以承载一传送盒，各该喷嘴包括一外壳、一喷头、一弹性密封件、一挡止件，及一偏压弹簧，该外壳设置于该承载盘并具有一上端及一下端，该外壳界定出一贯穿于该上端与该下端的贯穿孔，该喷头穿设于该贯穿孔并可相对于该外壳上下移动，该喷头具有一凸伸出该上端的顶面，及一凸伸出该下端的底面，该喷头界定出一贯穿于该顶面与该底面的气体流道，该弹性密封件设置于该喷头邻近于该顶面处并环绕于该气体流道外周围，该弹性密封件用以接触该传送盒，该挡止件设置于该喷头邻近于该底面处且位于该下端下方，该偏压弹簧设置于该贯穿孔内并对该喷头朝上偏压，以使该挡止件抵接于该下端。该喷头界定出一由该顶面向下凹陷的环形沟槽，该弹性密封件为一O形环，该弹性密封件通过紧配合方式卡掣于该环形沟槽内且部分凸伸出该顶面。该弹性密封件为一套设于该喷头邻近于该顶面处的弹性块，该弹性密封件具有一用以接触该传送盒的上接触平面，该上接触平面以面接触方式与该传送盒接触。该弹性密封件还具有一相反于该上接触平面的下表面，该弹性密封件界定出一贯穿于该上接触平面与该下表面的通孔，该喷头还具有一供该下表面抵接的第一管体，及一形成于该第一管体顶端且卡掣于该通孔内的第二管体。该通孔具有一形成于该下表面的第一小孔径部、一形成于该上接触平面的第二小孔径部，及一连通于该第一小孔径部与该第二小孔径部间的大孔径部，该大孔径部的孔径分别大于该第一小孔径部的孔径及该第二小孔径部的孔径，该第二管体具有一管部，及一由该管部外周面径向朝外凸伸的凸缘，该管部具有该顶面并且穿设于该第一小孔径部、该第二小孔径部及该大孔径部内，该凸缘卡掣于该大孔径部内，该上接触平面高度高于该顶面高度。该弹性密封件由橡胶或硅胶材质所制成，且该弹性密封件的颜色为白色。该喷头还界定出一邻近该底面的环形卡槽，该挡止件为一卡掣于该环形卡槽内的C形扣环。本技术的有益效果在于：借由偏压弹簧对喷头朝上偏压，使得弹性密封件能紧密地贴合在传送盒的气体传输埠底面，借此，喷头与对应气体传输埠间能保持良好的气密状态，以防止或减少输气管在充气或抽气过程中喷头与对应气体传输埠间产生漏气问题。附图说明图1是本技术具有喷嘴的气体充填装置的第一实施例与传送盒的立体分解图；图2是该第一实施例的喷嘴的立体图；图3是该第一实施例的喷嘴的立体分解图，说明外壳、喷头、弹性密封件、挡止件，及偏压弹簧间的组装关系；图4是沿图2中的S1－S1线所截取的剖视图，说明喷头位在初始位置；图5是类似图4的剖视图，说明喷嘴的弹性密封件紧密地贴合于传送盒的气体埠底面；图6是本技术具有喷嘴的气体充填装置的第二实施例的喷嘴的立体图；图7是该第二实施例的喷嘴的立体分解图，说明外壳、喷头、弹性密封件、挡止件，及偏压弹簧间的组装关系；图8是沿图6中的S2－S2线所截取的剖视图，说明喷头位在初始位置；及图9是类似图8的剖视图，说明喷嘴的弹性密封件紧密地贴合于传送盒的气体传输埠底面。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术进行详细说明。在本技术被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。参阅图1，是本技术具有喷嘴的气体充填装置的第一实施例，气体充填装置200用以承载一传送盒1并可对其进行充气或排气。传送盒1用以存放例如晶圆或光罩。在本实施例中，传送盒1为一用以存放晶圆的前开式晶圆传送盒，传送盒1包含两对设置于底部的气体传输埠11。气体充填装置200包含一承载盘2，及两对喷嘴3。承载盘2用以承载传送盒1并界定出两对螺孔21，两对喷嘴3分别螺锁于两对螺孔21内。参阅图2、图3及图4，各喷嘴3包括一外壳31、一喷头32、一弹性密封件33、一挡止件34，及一偏压弹簧35。外壳31具有一底壁311，及一由底壁311外周缘朝上延伸的围绕壁312。底壁311具有一下端313，围绕壁312具有一上端314，外壳31的底壁311与围绕壁312共同界定出一贯穿于下端313与上端314的贯穿孔315。贯穿孔315具有一位于下端313的下孔部316，及一位于上端314并与下孔部316相连通的上孔部317，上孔部317的孔径大于下孔部316的孔径。外壳31的围绕壁312外壁面形成有一段外螺纹318，外壳31通过围绕壁312的外螺纹318螺锁于对应的螺孔21(如图1所示)内。喷头32穿设于贯穿孔315并可相对于外壳31本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷嘴；其特征在于：该喷嘴包括一外壳、一喷头、一弹性密封件、一挡止件，及一偏压弹簧，该外壳具有一上端及一下端，该外壳界定出一贯穿于该上端与该下端的贯穿孔，该喷头穿设于该贯穿孔并可相对于该外壳上下移动，该喷头具有一凸伸出该上端的顶面，及一凸伸出该下端的底面，该喷头界定出一贯穿于该顶面与该底面的气体流道，该弹性密封件设置于该喷头邻近于该顶面处并环绕于该气体流道外周围，该弹性密封件用以接触一传送盒，该挡止件设置于该喷头邻近于该底面处且位于该下端下方，该偏压弹簧设置于该贯穿孔内并对该喷头朝上偏压，以使该挡止件抵接于该下端。

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴；其特征在于：该喷嘴包括一外壳、一喷头、一弹性密封件、一挡止件，及一偏压弹簧，该外壳具有一上端及一下端，该外壳界定出一贯穿于该上端与该下端的贯穿孔，该喷头穿设于该贯穿孔并可相对于该外壳上下移动，该喷头具有一凸伸出该上端的顶面，及一凸伸出该下端的底面，该喷头界定出一贯穿于该顶面与该底面的气体流道，该弹性密封件设置于该喷头邻近于该顶面处并环绕于该气体流道外周围，该弹性密封件用以接触一传送盒，该挡止件设置于该喷头邻近于该底面处且位于该下端下方，该偏压弹簧设置于该贯穿孔内并对该喷头朝上偏压，以使该挡止件抵接于该下端。2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于：该喷头界定出一由该顶面向下凹陷的环形沟槽，该弹性密封件为一O形环，该弹性密封件通过紧配合方式卡掣于该环形沟槽内且部分凸伸出该顶面。3.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于：该弹性密封件为一套设于该喷头邻近于该顶面处的弹性块，该弹性密封件具有一用以接触该传送盒的上接触平面，该上接触平面以面接触方式与该传送盒接触。4.根据权利要求3所述的喷嘴，其特征在于：该弹性密封件还具有一相反于该上接触平面的下表面，该弹性密封件界定出一贯穿于该上接触平面与该下表面的通孔，该喷头还具有一供该下表面抵接的第一管体，及一形成于该第一管体顶端且卡掣于该通孔内的第二管体。5.根据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于：该通孔具有一形成于该下表面的第一小孔径部、一形成于该上接触平面的第二小孔径部，及一连通于该第一小孔径部与该第二小孔径部间的大孔径部，该大孔径部的孔径分别大于该第一小孔径部的孔径及该第二小孔径部的孔径，该第二管体具有一管部，及一由该管部外周面径向朝外凸伸的凸缘，该管部具有该顶面并且穿设于该第一小孔径部、该第二小孔径部及该大孔径部内，该凸缘卡掣于该大孔径部内，该上接触平面高度高于该顶面高度。6.根据权利要求1至5其中任一权利要求所述的喷嘴，其特征在于：该弹性密封件由橡胶或硅胶材质所制成，且该弹性密封件的颜色为白色。7.根据权利要求1至5其中任一权利要求所述的喷嘴，其特征在于：该喷头还界定出一邻近该底面的环形卡槽，该挡止件为一卡掣于该环形卡槽内的C形扣环。8.一种具有喷嘴的气体充填装置；其特征在于：该气体充填装置包含一承载盘，及一对喷嘴，该承载盘用以承载一传送盒，各该...

【专利技术属性】
技术研发人员：王万昌，林冠廷，
申请(专利权)人：春田科技顾问股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71