装载埠的吹净装置及其吹净方法制造方法及图纸

一种装载埠的吹净装置，包含一充气模块、一排气模块、一第一进气模块、一第二进气模块、一进气控制阀及一处理模块。第一进气模块用以提供一第一清洁气体。第二进气模块用以提供一第二清洁气体。进气控制阀设置于第一、第二进气模块与充气模块之间，进气控制阀用以分别控制第一、第二进气模块的流通或阻断。处理模块电连接于进气控制阀，处理模块可选择地驱动进气控制阀控制第一进气模块流通而第二进气模块阻断，使第一清洁气体流通至充气模块，或者是控制第一进气模块阻断而第二进气模块流通，使第二清洁气体流通至充气模块。借此以分别提供不同的清洁气体来清洁不同制程的晶圆盒内部，能增加装载埠使用上的弹性。

Blowing Device of Loading Port and Its Blowing Method

The utility model relates to a blowing device for a loading port, which comprises an inflatable module, an exhaust module, a first intake module, a second intake module, an intake control valve and a processing module. The first intake module is used to provide a first clean gas. The second intake module is used to provide a second clean gas. The intake control valves are arranged between the first and second intake modules and the inflatable modules. The intake control valves are used to control the flow or blocking of the first and second intake modules respectively. The processing module is electrically connected to the intake control valve. The processing module optionally drives the intake control valve to control the flow of the first intake module while the second intake module blockades, so that the first clean gas flow to the inflatable module, or the first intake module blockades and the second intake module flows, so that the second clean gas flow to the inflatable module. By providing different clean gases to clean the wafer boxes of different processes, the elasticity of loading ports can be increased.

【技术实现步骤摘要】
装载埠的吹净装置及其吹净方法
本专利技术涉及一种装载埠，特别是涉及一种用于半导体制程并且具有多重进气模块的装载埠的吹净装置及其吹净方法。
技术介绍
装载埠(Loadport)设置在半导体制造装置一侧，装载埠用以承载前开式晶圆传送盒(FOUP)，使得半导体制造装置能通过装载埠对前开式晶圆传送盒内的晶圆进行存取。由于现有装载埠只能充填一种清洁气体至前开式晶圆传送盒内以对其内部进行清洁，因此，装载埠只能与应用在特定制程且需通过前述清洁气体进行清洁的前开式晶圆传送盒相互配合。现有装载埠无法同时与应用在不同制程的前开式晶圆传送盒相互配合，因此，在应用上较受到局限。
技术实现思路
因此，本专利技术的一目的，在于提供一种装载埠的吹净装置，能依照使用需求提供不同的清洁气体，借以增加使用上的弹性。本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的装载埠的吹净装置包含一充气模块、一排气模块、一第一进气模块、一第二进气模块、一进气控制阀，及一处理模块，该第一进气模块用以提供一第一清洁气体，该第二进气模块用以提供一与该第一清洁气体相异的第二清洁气体，该进气控制阀设置于该第一、第二进气模块与该充气模块之间，该进气控制阀用以分别控制该第一、第二进气模块的流通或阻断，该处理模块电连接于该进气控制阀，该处理模块可选择地驱动该进气控制阀控制该第一进气模块流通而该第二进气模块阻断，使该第一清洁气体流通至该充气模块，或者是控制该第一进气模块阻断而该第二进气模块流通，使该第二清洁气体流通至该充气模块。在一些实施态样中，该第一进气模块包括一用以供应该第一清洁气体的第一清洁气体供应源，及一设置于该第一清洁气体供应源与该进气控制阀之间的第一清洁气体压力调节器，该第一清洁气体压力调节器电连接于该处理模块用以感测及调节该第一清洁气体的压力，该第二进气模块包括一用以供应该第二清洁气体的第二清洁气体供应源，及一设置于该第二清洁气体供应源与该进气控制阀之间的第二清洁气体压力调节器，该第二清洁气体压力调节器电连接于该处理模块用以感测及调节该第二清洁气体的压力。在一些实施态样中，该第一清洁气体压力调节器具有一用以感测该第一清洁气体的压力的第一压力感测元件，及一用以调节该第一清洁气体的压力的第一调压阀件，该第二清洁气体压力调节器具有一用以感测该第二清洁气体的压力的第二压力感测元件，及一用以调节该第二清洁气体的压力的第二调压阀件。在一些实施态样中，该吹净装置还包含一与该处理模块电连接的感测模块，该感测模块包括一用以感测该排气模块所排出的一排出气体的湿度的湿度传感器、一用以感测该排出气体的温度的温度传感器，及一用以感测该排出气体的氧气浓度的氧气传感器。在一些实施态样中，该吹净装置还包含一与该处理模块电连接的排出气体压力调节器，该排出气体压力调节器用以感测及调节该排出气体的压力。在一些实施态样中，该排出气体压力调节器具有一用以感测该排出气体的压力的第三压力感测元件，及一用以调节该排出气体的压力的第三调压阀件。在一些实施态样中，该吹净装置还包含一排出气体处理模块，该排出气体处理模块用以处理并去除经由该排出气体压力调节器调节压力后的该排出气体内的污染物。在一些实施态样中，该吹净装置还包含一排出气体处理模块，该排出气体处理模块用以处理并去除该排出气体内的污染物。在一些实施态样中，该吹净装置还包含一排出气体处理模块，该排出气体处理模块用以处理并去除该排气模块所排出的一排出气体内的污染物。本专利技术的另一目的，在于提供一种装载埠的吹净装置的吹净方法，能依照使用需求提供不同的清洁气体，借以增加使用上的弹性。本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的装载埠的吹净装置的吹净方法，适于吹净一传送盒内部，该传送盒被一承载盘所承载。该吹净方法包含下述步骤：载入吹净步骤，在该承载盘带动该传送盒对接于一对接门之前，通过一处理模块执行一第一吹净工序，该处理模块驱动一进气控制阀控制一第一进气模块流通而一第二进气模块阻断，使该第一进气模块所提供的一第一清洁气体通过一充气模块对该传送盒内部吹净，且该第一清洁气体能经由一排气模块排出该传送盒内部；接续吹净步骤，在该传送盒的一前开门对接于该对接门且被该对接门带动而在开启至关闭的过程中，通过该处理模块执行该第一吹净工序或一第二吹净工序，在该第二吹净工序时，该处理模块驱动该进气控制阀控制该第二进气模块流通而该第一进气模块阻断，使该第二进气模块所提供的一与该第一清洁气体相异的第二清洁气体通过该充气模块对该传送盒内部吹净，且该第二清洁气体能经由该排气模块排出该传送盒内部；及卸除吹净步骤，在该承载盘带动该传送盒移离该对接门之后，通过该处理模块执行该第二吹净工序，使该第二进气模块所提供的该第二清洁气体通过该充气模块对该传送盒内部吹净。在一些实施态样中，在该载入吹净步骤中，当该承载盘在一装卸位置且一卡固机构在一将该传送盒卡固于该承载盘的卡固状态时，该处理模块开始执行该第一吹净工序，当该承载盘带动该传送盒由该装卸位置移动到一对接位置时，该前开门对接于该对接门，该处理模块停止执行该第一吹净工序。在一些实施态样中，在该接续吹净步骤中，当该对接门带动该前开门移动至一开启位置时，该处理模块开始执行该第一吹净工序或该第二吹净工序，当该对接门带动该前开门移动至一关闭位置时，该处理模块停止执行该第一吹净工序或该第二吹净工序。在一些实施态样中，在该卸除吹净步骤中，当该承载盘带动该传送盒由该对接位置移动到该装卸位置时，该处理模块开始执行该第二吹净工序，当该卡固机构由该卡固状态变换至一未卡固该传送盒的非卡固状态时，该处理模块停止执行该第二吹净工序。本专利技术的有益效果在于：借由第一进气模块及第二进气模块的设计，使得处理模块能依照使用需求来执行第一吹净工序或者是执行第二吹净工序，以分别提供不同的清洁气体来清洁不同制程的晶圆盒内部，借此，能增加装载埠使用上的弹性。附图说明图1是本专利技术装载埠的吹净装置及其吹净方法的一实施例的装载埠的立体图；图2是该实施例的装载埠的承载盘俯视图；图3是该实施例的装载埠的承载盘仰视图；图4是该实施例的方块图；图5是该实施例的吹净流程图；图6是该实施例在当站制程中的作动示意图，说明载入吹净步骤开始及停止的时机；图7是该实施例在当站制程中的作动示意图，说明接续吹净步骤开始及停止的时机；及图8是该实施例在当站制程中的作动示意图，说明卸除吹净步骤开始及停止的时机。具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术进行详细说明。在本专利技术被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。参阅图1及图2，是本专利技术装载埠的吹净装置及其吹净方法的一实施例，该装载埠100设置于一半导体制造装置(图未示)一侧并且用以承载一传送盒6(如图6所示)，该传送盒6用以存放例如晶圆或光罩。在本实施例中，该传送盒6为一用以存放晶圆的前开式晶圆传送盒。装载埠100包括一机座1、一承载盘2，及一吹净装置3。机座1包含一座体11、一设置于座体11顶端的平台12、一设置于座体11与平台12前端的框架13，及一可移动地设置于框架13的对接门14。承载盘2设置于平台12顶面用以承载传送盒6，使得传送盒6的一前开门61(如图6所示)能与对接门14的位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装载埠的吹净装置；其特征在于：该吹净装置包含一充气模块、一排气模块、一第一进气模块、一第二进气模块、一进气控制阀，及一处理模块，该第一进气模块用以提供一第一清洁气体，该第二进气模块用以提供一与该第一清洁气体相异的第二清洁气体，该进气控制阀设置于该第一、第二进气模块与该充气模块之间，该进气控制阀用以分别控制该第一、第二进气模块的流通或阻断，该处理模块电连接于该进气控制阀，该处理模块可选择地驱动该进气控制阀控制该第一进气模块流通而该第二进气模块阻断，使该第一清洁气体流通至该充气模块，或者是控制该第一进气模块阻断而该第二进气模块流通，使该第二清洁气体流通至该充气模块。

【技术特征摘要】
2017.07.25 TW 1061248161.一种装载埠的吹净装置；其特征在于：该吹净装置包含一充气模块、一排气模块、一第一进气模块、一第二进气模块、一进气控制阀，及一处理模块，该第一进气模块用以提供一第一清洁气体，该第二进气模块用以提供一与该第一清洁气体相异的第二清洁气体，该进气控制阀设置于该第一、第二进气模块与该充气模块之间，该进气控制阀用以分别控制该第一、第二进气模块的流通或阻断，该处理模块电连接于该进气控制阀，该处理模块可选择地驱动该进气控制阀控制该第一进气模块流通而该第二进气模块阻断，使该第一清洁气体流通至该充气模块，或者是控制该第一进气模块阻断而该第二进气模块流通，使该第二清洁气体流通至该充气模块。2.根据权利要求1所述的装载埠的吹净装置，其特征在于：该第一进气模块包括一用以供应该第一清洁气体的第一清洁气体供应源，及一设置于该第一清洁气体供应源与该进气控制阀之间的第一清洁气体压力调节器，该第一清洁气体压力调节器电连接于该处理模块用以感测及调节该第一清洁气体的压力，该第二进气模块包括一用以供应该第二清洁气体的第二清洁气体供应源，及一设置于该第二清洁气体供应源与该进气控制阀之间的第二清洁气体压力调节器，该第二清洁气体压力调节器电连接于该处理模块用以感测及调节该第二清洁气体的压力。3.根据权利要求2所述的装载埠的吹净装置，其特征在于：该第一清洁气体压力调节器具有一用以感测该第一清洁气体的压力的第一压力感测元件，及一用以调节该第一清洁气体的压力的第一调压阀件，该第二清洁气体压力调节器具有一用以感测该第二清洁气体的压力的第二压力感测元件，及一用以调节该第二清洁气体的压力的第二调压阀件。4.根据权利要求1、2或3所述的装载埠的吹净装置，其特征在于：该吹净装置还包含一与该处理模块电连接的感测模块，该感测模块包括一用以感测该排气模块所排出的一排出气体的湿度的湿度传感器、一用以感测该排出气体的温度的温度传感器，及一用以感测该排出气体的氧气浓度的氧气传感器。5.根据权利要求4所述的装载埠的吹净装置，其特征在于：该吹净装置还包含一与该处理模块电连接的排出气体压力调节器，该排出气体压力调节器用以感测及调节该排出气体的压力。6.根据权利要求5所述的装载埠的吹净装置，其特征在于：该排出气体压力调节器具有一用以感测该排出气体的压力的第三压力感测元件，及一用以调节该排出气体的压力的第三调压阀件。7.根据权利要求5所述的装载埠的吹净装置，其特征在于：该吹净装置还包含一排出气体处理模块，该排出气体处理模块用以...

【专利技术属性】
技术研发人员：林冠廷，王万昌，
申请(专利权)人：春田科技顾问股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71