蓝宝石衬底清洗方法技术

本发明专利技术涉及一种蓝宝石衬底清洗方法，包括以下步骤：在正常室温下，有机溶剂超声清洗；以及在加热条件下，丙酮浸泡。实施本发明专利技术的蓝宝石衬底清洗方法，取消了传统清洗方法中使用的三氯乙烯试剂，减少了环境污染，避免人员中毒；在清洗过程中，使用超声波和加热清洗，可节省清洗时间，提高清洗效率和清洗质量；工艺简单，操作方便，满足环保要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：在正常室温下，有机溶剂超声清洗；以及在加热条件下，丙酮浸泡。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢雄略，
申请(专利权)人：深圳市方大国科光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]