水晶振子及其制造方法技术

本发明专利技术所涉及的水晶振子(1)具备包括AT切割的水晶基板(10)和第一二激励电极及第二激励电极(20、30)的水晶振动元件(100)、基底部件(300)以及盖部件(200)，水晶基板(10)包括振动部(40)和厚度比振动部40薄的周边部(50)，振动部(40)具有设置于第一方向上的第一边侧的锥形侧面(46)，锥形侧面(46)倾斜成以锐角与周边部(50)接触而形成，水晶振动元件(100)经由与第一激励电极(20)电连接的第一导电保持部件(340)和与第二激励电极(30)电连接的第二导电保持部件(342)搭载于基底部件(300)，第一导电保持部件及第二导电保持部件(340、342)在水晶基板(10)的第一边侧保持与锥形侧面(46)邻接的周边部(50)的区域。

Crystal oscillator and its manufacturing method

\u672c\u53d1\u660e\u6240\u6d89\u53ca\u7684\u6c34\u6676\u632f\u5b50(1)\u5177\u5907\u5305\u62ecAT\u5207\u5272\u7684\u6c34\u6676\u57fa\u677f(10)\u548c\u7b2c\u4e00\u4e8c\u6fc0\u52b1\u7535\u6781\u53ca\u7b2c\u4e8c\u6fc0\u52b1\u7535\u6781(20\u300130)\u7684\u6c34\u6676\u632f\u52a8\u5143\u4ef6(100)\u3001\u57fa\u5e95\u90e8\u4ef6(300)\u4ee5\u53ca\u76d6\u90e8\u4ef6(200)\uff0c\u6c34\u6676\u57fa\u677f(10)\u5305\u62ec\u632f\u52a8\u90e8(40)\u548c\u539a\u5ea6\u6bd4\u632f\u52a8\u90e840\u8584\u7684\u5468\u8fb9\u90e8(50)\uff0c\u632f\u52a8\u90e8(40)\u5177\u6709\u8bbe\u7f6e\u4e8e\u7b2c\u4e00\u65b9\u5411\u4e0a\u7684\u7b2c\u4e00\u8fb9\u4fa7\u7684\u9525\u5f62\u4fa7\u9762(46)\uff0c\u9525\u5f62\u4fa7\u9762(46)\u503e\u659c\u6210\u4ee5\u9510\u89d2\u4e0e\u5468\u8fb9\u90e8(50)\u63a5\u89e6\u800c\u5f62\u6210\uff0c\u6c34\u6676\u632f\u52a8\u5143\u4ef6(100)\u7ecf\u7531\u4e0e\u7b2c\u4e00\u6fc0\u52b1\u7535\u6781(20)\u7535\u8fde\u63a5\u7684\u7b2c\u4e00\u5bfc\u7535\u4fdd\u6301\u90e8\u4ef6(340)\u548c\u4e0e\u7b2c\u4e8c\u6fc0\u52b1\u7535\u6781(30)\u7535\u8fde\u63a5\u7684\u7b2c\u4e8c\u5bfc\u7535\u4fdd\u6301\u90e8\u4ef6(342)\u642d\u8f7d\u4e8e\u57fa\u5e95\u90e8\u4ef6(300)\uff0c\u7b2c\u4e00\u5bfc\u7535\u4fdd\u6301\u90e8\u4ef6\u53ca\u7b2c\u4e8c\u5bfc\u7535\u4fdd\u6301\u90e8\u4ef6(340\u3001342)\u5728\u6c34\u6676\u57fa\u677f(10)\u7684\u7b2c\u4e00\u8fb9\u4fa7\u4fdd\u6301\u4e0e\u9525\u5f62\u4fa7\u9762(46)\u90bb\u63a5\u7684 The region of the periphery (50).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】水晶振子及其制造方法
本专利技术涉及水晶振子及其制造方法。
技术介绍
作为应用于振荡装置、带通滤波器等的压电振子，正在广泛应用以厚度剪切振动(thicknessshearvibration)为主振动的水晶振子。另外，作为水晶振子的一种形式，已知一种为了封住厚度剪切振动的振动能量，而将水晶振动元件的振动部的周边部蚀刻形成为比振动部薄的台面型结构(mesa-structure)(例如参照专利文献1)。在这样的台面型结构等的水晶振子中，抑制不必要的振动的产生及其传播很重要。特别是，由于存在振动能量经由保持水晶振动元件的导电保持部件传播的情况、振动能量被导电保持部件反射而在水晶振动元件内产生不必要的振动的情况，所以要求抑制向该导电保持部件的振动泄漏。专利文献1：日本特开2008－236439号公报
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于抑制向保持水晶振动元件的导电保持部件传播不必要的振动，实现振动特性的提高。本专利技术所涉及的水晶振子具备：水晶振动元件，包括AT切割的水晶基板和设置于水晶基板的第一激励电极及第二激励电极，水晶基板通过在将围绕水晶的结晶轴亦即X轴、Y轴、Z轴中的X轴从Z轴旋转了规定的角度的轴作为Z′轴的情况下，以与由X轴和Z′轴确定的面平行的面为主面而切取而成；基底部件，搭载有水晶振动元件；以及盖部件，与基底部件连接成配置密封水晶振动元件的内部空间。水晶基板包括：振动部，被第一激励电极及第二激励电极激励；以及周边部，设置于振动部的外侧且厚度比振动部薄。在振动部的主面分别设置有第一激励电极及第二激励电极。水晶基板具有第一方向及第二方向，第一方向及第二方向中的一个是长边方向而另一个是短边方向。振动部具有设置于第一方向上的第一边侧的锥形侧面。锥形侧面倾斜成以锐角与周边部接触。水晶振动元件经由与第一激励电极电连接的第一导电保持部件和与第二激励电极电连接的第二导电保持部件搭载于基底部件。第一导电保持部件及第二导电保持部件在水晶基板的第一边侧，保持与锥形侧面邻接的周边部的区域。根据上述结构，与第一激励电极电连接的导电保持部件和与第二激励电极电连接的导电保持部件在水晶基板的第一边侧保持与锥形侧面邻接的周边部的区域。由此，由于设置于接近导电保持部件的位置的锥形侧面倾斜成以锐角与周边部接触，所以能够使不必要的振动在锥形侧面的锐角侧分散。因此，能够抑制不必要的振动传播到导电保持部件。因此，能够抑制共振特性恶化等弊端，并实现振动频率的稳定化等振动特性的提高。在上述水晶振子中，也可以为第一导电保持部件经由第一延伸电极与第一导电保持部件电连接，第二导电保持部件经由第二延伸电极与第二导电保持部件电连接，第一延伸电极及第二延伸电极的至少一个通过设置于振动部且倾斜成以钝角与周边部接触的其他锥形侧面来设置。在上述水晶振子中，也可以为水晶基板的第一方向是长边方向且平行于Z′轴的方向，水晶基板的第二方向是短边方向且平行于X轴的方向，锥形侧面是设置于长边方向上的第一短边侧的短边侧锥形侧面，第一导电保持部件及第二导电保持部件在水晶基板的第一短边侧保持与短边侧锥形侧面邻接的周边部的区域。在上述水晶振子中，也可以为第一激励电极及第二激励电极的任意一个激励电极的第一短边侧的端面设置于在Z′轴方向上同短边侧锥形侧面与周边部的边界一致的位置或者比该边界靠振动部的内侧的位置。在上述水晶振子中，也可以为短边侧锥形侧面是振动部的Z′轴正方向侧的侧面，第一导电保持部件及第二导电保持部件设置于Z′轴正方向侧且Y′轴正方向侧。在上述水晶振子中，也可以为短边侧锥形侧面是振动部的Z′轴负方向侧的侧面，第一导电保持部件及第二导电保持部件设置于Z′轴负方向侧且Y′轴负方向侧。在上述水晶振子中，也可以为水晶基板的第一方向是短边方向且平行于Z′轴的方向，水晶基板的第二方向是长边方向且平行于X轴的方向，锥形侧面是设置于短边方向上的第一长边侧的长边侧锥形侧面，第一导电保持部件及第二导电保持部件在水晶基板的第一长边侧，保持与长边侧锥形侧面邻接的周边部的区域。在上述水晶振子中，也可以为长边侧锥形侧面是振动部的Z′轴正方向侧的侧面，第一导电保持部件及第二导电保持部件设置于Z′轴正方向侧且Y′轴正方向侧。在上述水晶振子中，也可以为长边侧锥形侧面是振动部的Z′轴负方向侧的侧面，第一导电保持部件及第二导电保持部件设置于Z′轴负方向侧且Y′轴负方向侧。本专利技术的一个方面的水晶振子的制造方法包括：(a)形成包括AT切割的水晶基板和第一激励电极及第二激励电极的水晶，水晶基板通过在将围绕作为水晶的结晶轴亦即X轴、Y轴、Z轴中的X轴从Z轴旋转了规定的角度的轴作为Z′轴的情况下，以与由X轴和Z′轴确定的面平行的面为主面而切取而成；(b)将水晶导电保持部件搭载于基底部件；以及(c)将盖部件与基底部件连接成配置密封水晶导电保持部件的内部空间，水晶基板包括振动部和设置于振动部的外侧且厚度比振动部薄的周边部，在振动部的主面分别设置第一激励电极及第二激励电极，水晶基板具有第一方向及第二方向，第一方向及第二方向中的一个是长边方向而另一个是短边方向，(a)包括在振动部形成设置于第一方向上的第一边侧的锥形侧面的工序，锥形侧面倾斜成以锐角与周边部接触，(c)包括将水晶振动元件经由与第一激励电极电连接的第一导电保持部件和与第二激励电极电连接的第二导电保持部件搭载于基底部件的工序，第一导电保持部件及第二导电保持部件在水晶基板的第一边侧，保持与锥形侧面邻接的周边部的区域。根据上述结构，与第一激励电极电连接的导电保持部件和与第二激励电极电连接的导电保持部件在水晶基板的第一边侧，保持与锥形侧面邻接的周边部的区域。由此，由于设置于接近导电保持部件的位置的锥形侧面倾斜成以锐角与周边部接触，所以能够使不必要的振动在锥形侧面的锐角侧分散。因此，能够抑制不必要的振动传播到导电保持部件。因此，能够抑制共振特性恶化等弊端，并实现振动频率的稳定化等振动特性的提高。在上述水晶振子的制造方法中，也可以为第一导电保持部件经由第一延伸电极与第一导电保持部件电连接，第二导电保持部件经由第二延伸电极与第二导电保持部件电连接，(a)包括形成第一延伸电极及第二延伸电极的工序，第一延伸电极及第二延伸电极的至少一个通过设置于振动部且倾斜成以钝角与周边部接触的其他锥形侧面来设置。在上述水晶振子的制造方法中，也可以为(a)包括将水晶板晶圆单片化成多个水晶振子的工序，且包括在经单片化而成的水晶振子形成第一激励电极及第二激励电极的工序。在上述水晶振子的制造方法中，也可以为(a)包括在水晶板晶圆的多个区域分别形成第一激励电极及第二激励电极的工序，且包括在形成了第一激励电极及第二激励电极之后将水晶板晶圆单片化成多个水晶振动元件的工序。根据本专利技术，能够抑制向保持水晶振动元件的导电保持部件传播不必要的振动，并实现振动特性的提高。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的水晶振子的图。图2是图1的II－II线剖视图。图3是图1的III－III线剖视图。图4是用于对本实施方式所涉及的水晶振子进行说明的简要立体图。图5是用于对本实施方式所涉及的水晶振子进行说明的剖视图。图6是表示本实施方式所涉及的水晶振子的制造方法的流程图。图7是表示本实施方式的变形例的图。图8是表示本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水晶振子，具备：水晶振动元件，包括AT切割的水晶基板和设置于所述水晶基板的第一激励电极及第二激励电极，所述水晶基板通过在将围绕水晶的结晶轴亦即X轴、Y轴、Z轴中的所述X轴从所述Z轴旋转了规定的角度的轴作为Z′轴的情况下，以与由所述X轴和所述Z′轴确定的面平行的面为主面切取而成；基底部件，搭载有所述水晶振动元件；以及盖部件，与基底部件连接成配置密封所述水晶振动元件的内部空间，所述水晶基板包括由所述第一激励电极及所述第二激励电极激励的振动部和设置于该振动部的外侧且厚度比该振动部薄的周边部，在所述振动部的主面分别设置所述第一激励电极及第二激励电极，所述水晶基板具有第一方向及第二方向，所述第一方向及第二方向中的一个是长边方向而另一个是短边方向，所述振动部具有设置于所述第一方向上的第一边侧的锥形侧面，该锥形侧面倾斜成以锐角与所述周边部接触，所述水晶振动元件经由与所述第一激励电极电连接的第一导电保持部件和与所述第二激励电极电连接的第二导电保持部件搭载于所述基底部件，所述第一导电保持部件及第二导电保持部件在所述水晶基板的所述第一边侧，保持与所述锥形侧面邻接的所述周边部的区域。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.08 JP 2015-0957841.一种水晶振子，具备：水晶振动元件，包括AT切割的水晶基板和设置于所述水晶基板的第一激励电极及第二激励电极，所述水晶基板通过在将围绕水晶的结晶轴亦即X轴、Y轴、Z轴中的所述X轴从所述Z轴旋转了规定的角度的轴作为Z′轴的情况下，以与由所述X轴和所述Z′轴确定的面平行的面为主面切取而成；基底部件，搭载有所述水晶振动元件；以及盖部件，与基底部件连接成配置密封所述水晶振动元件的内部空间，所述水晶基板包括由所述第一激励电极及所述第二激励电极激励的振动部和设置于该振动部的外侧且厚度比该振动部薄的周边部，在所述振动部的主面分别设置所述第一激励电极及第二激励电极，所述水晶基板具有第一方向及第二方向，所述第一方向及第二方向中的一个是长边方向而另一个是短边方向，所述振动部具有设置于所述第一方向上的第一边侧的锥形侧面，该锥形侧面倾斜成以锐角与所述周边部接触，所述水晶振动元件经由与所述第一激励电极电连接的第一导电保持部件和与所述第二激励电极电连接的第二导电保持部件搭载于所述基底部件，所述第一导电保持部件及第二导电保持部件在所述水晶基板的所述第一边侧，保持与所述锥形侧面邻接的所述周边部的区域。2.根据权利要求1所述的水晶振子，其中，所述第一导电保持部件经由第一延伸电极与所述第一导电保持部件电连接，所述第二导电保持部件经由第二延伸电极与所述第二导电保持部件电连接，所述第一延伸电极及第二延伸电极的至少一个通过设置于所述振动部且倾斜成以钝角与所述周边部接触的其他锥形侧面来设置。3.根据权利要求1或2所述的水晶振子，其中，所述水晶基板的所述第一方向是所述长边方向且平行于所述Z′轴的方向，所述水晶基板的所述第二方向是所述短边方向且平行于所述X轴的方向，所述锥形侧面是设置于所述长边方向上的第一短边侧的短边侧锥形侧面，所述第一导电保持部件及第二导电保持部件在所述水晶基板的所述第一短边侧，保持与所述短边侧锥形侧面邻接的所述周边部的区域。4.根据权利要求3所述的水晶振子，其中，所述第一激励电极及第二激励电极的任意一个激励电极的所述第一短边侧的端面设置于在所述Z′轴方向上同所述短边侧锥形侧面与所述周边部的边界一致的位置或者比该边界靠所述振动部的内侧的位置。5.根据权利要求3或4所述的水晶振子，其中，所述短边侧锥形侧面是所述振动部的Z′轴正方向侧的侧面，所述第一导电保持部件及第二导电保持部件设置于Z′轴正方向侧且Y′轴正方向侧。6.根据权利要求3或4所述的水晶振子，其中，所述短边侧锥形侧面是所述振动部的Z′轴负方向侧的侧面，所述第一导电保持部件及第二导电保持部件设置于Z′轴负方向侧且Y′轴负方向侧。7.根据权利要求1或2所述的水晶振子，其中，所述水晶基板的所述第一方向是所述短边方向且平行于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：开田弘明，上庆一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP