水平多关节机器人制造技术

水平多关节机器人（1）具备：第一连杆（41）；基端部与第一连杆（41）的梢端部的上下一方连结的第二连杆（42）；基端部与第二连杆（42）的梢端部的上下另一方连结的第三连杆（43）；以及间隔件（49），配置于第一连杆（41）及第三连杆（43）中一方的连杆与第二连杆（42）的连结部，以第三连杆（43）的动作轨迹不与第一连杆（41）发生干涉的形式，使第二连杆（42）和上述一方的连杆上下隔开。

Horizontal multi joint robot

The level of multi joint robot (1) includes a first connecting rod (41); the proximal end and the first connecting rod (41) of the second link tip on the end of the next party link (42); the proximal end and the second connecting rod (42) of the tip of the end part of the other side link third link (43); and the spacer (49), arranged on the first connecting rod (41) and three (43) connecting rod connecting rod and the second connecting rod in one side of the connecting part (42), third (43) to link action trajectory and the first connecting rod (41) interference forms, the second link (42) and the connecting rod on one side of the upper and lower separated.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】水平多关节机器人
本专利技术涉及一种具备三根连杆的水平多关节机器人的结构。
技术介绍
以往以来，已知对作为半导体元件制造材料的半导体基板（以下有时简称为“基板”）进行元件形成等制程处理的基板处理设备。一般而言，基板处理设备中设置有制程（process）装置、配置于制程装置的前表面的基板移载装置等。基板移载装置具备基板移载机器人，该基板移载机器人进行基板对制程装置的装载及卸载、容纳于步骤间搬送用密闭载体的基板的收纳及取出等。例如，专利文献1中记载的基板移载装置（前端（frontend））具备深度浅且宽度宽的细长壳体、以及在壳体内在沿宽度方向（长边方向）延伸的轨道上行进的基板移载机器人。基板移载装置的前表面设置有在宽度方向上排列的多个装载埠（loadport），一台基板移载装置上可连结多个载体。为了藉由一个基板移载装置将多个（例如四个）载体连结而提高工作量（throughput），基板移载装置的宽度变宽。另一方面，为了实现基板移载装置的小型化，基板移载装置的深度受到限制。因此，对基板移载机器人要求具有处于基板移载装置的受限深度范围内且在基板移载装置的宽度方向上较宽的作业区域。为了响应上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水平多关节机器人，具备：第一连杆；基端部与上述第一连杆的梢端部的上下一方连结的第二连杆；基端部与上述第二连杆的梢端部的上下另一方连结的第三连杆；以及间隔件，上述间隔件配置于上述第一连杆及上述第三连杆中一方的连杆与上述第二连杆的连结部，以上述第三连杆的动作轨迹不与上述第一连杆发生干涉的形式，使上述第二连杆和上述一方的连杆上下隔开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种水平多关节机器人，具备：第一连杆；基端部与上述第一连杆的梢端部的上下一方连结的第二连杆；基端部与上述第二连杆的梢端部的上下另一方连结的第三连杆；以及间隔件，上述间隔件配置于上述第一连杆及上述第三连杆中一方的连杆与上述第二连杆的连结部，以上述第三连杆的动作轨迹不与上述第一连杆发生干涉的形式，使上述第二连杆和上述一方的连杆上下隔开。2.根据权利要求1所述的水平多关节机器人，其特征在于，上述间隔件具有中空轴形状。3.根据权利要求1或2所述的水平多关节机器人，其特征在于，还具备基端部与上述第三连杆的梢端部的上述上下另一方连结的末端效应器。4.根据权利要求1～3中任一项所述的水平多关节机器人，其特征在于，上述第三连杆、上述第一连杆、及上述第二连杆按照该顺...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤博彦，加藤烈，龟田昌史，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP