一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置制造方法及图纸

一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置，真空镀膜室的壁上安装有真空泵系统，使真空镀膜室形成真空，真空镀膜室的壁上还安装有激光发生系统，激光发生系统所发出的激光束穿过真空镀膜室的侧壁孔射在靶材上；靶材放置在靶座上，底盘的靶座圆轨迹上均匀的布置有3‑4个靶座，分别放置绝缘材料、金属材料和保护材料，底盘下部安装有底盘转动装置，基板架上安装有基板转动装置和基板升降装置。底盘转动装置可以将不同材料的靶座转动到激光接受位置，基板转动装置可使基板上的靶材镀的更均匀，基板升降装置可以调节靶材和基板之间的距离。本实用新型专利技术一套设备，一个工序即可将电磁屏蔽膜制备完成。

A device for preparing electromagnetic shielding film by laser heating and vacuum coating

Electromagnetic shielding film preparation device for laser heating, vacuum coating, vacuum pump system is installed on the wall of the vacuum coating chamber, the vacuum coating chamber to form a vacuum, vacuum coating chamber wall is installed on the side wall of the laser system, laser beam emitted by the laser hole system through vacuum coating chamber shoot at the target; the target placed on a target seat, the chassis of the target seat circular uniform arrangement of 3 4 target seat, placed insulation materials, metal materials and protective material, the chassis is arranged on the lower part of the chassis rotation device, substrate frame is provided with a base plate rotating device and substrate lifting device. The chassis rotation device can rotate the target of different materials to the laser receiving position. The substrate rotation device can make the target material of the substrate more uniform, and the lifting device of the substrate can adjust the distance between the target and the substrate. The utility model is a set of equipment, and an electromagnetic shielding film can be prepared by a process.

【技术实现步骤摘要】
一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置
本技术涉及电子元器件，即一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置。
技术介绍
于PCB板或FPC板上直接沉积树脂绝缘层，再于该绝缘层上电镀或化学镀金属层，可实现电磁屏蔽。但是，为了保证该树脂绝缘层与PCB板或FPC板之间有良好的结合力，避免绝缘层发生剥落或龟裂等现象，对所使用的树脂的粘度值有严格的限制。而能满足上述粘度要求的树脂只限于某些特殊的有机树脂，这些特殊的有机树脂成分多、结构复杂、难以制造。此外，该绝缘层的厚度较大,因而对电子元件的散热存在不良影响。另外，电镀或化学镀金属层对环境的污染较大。专利号2011103373113，提出了一种电磁屏蔽方法及制品，通过所述方法形成的绝缘层及导电层在平面处、凹处及折缝处沉积均匀，且可以做到与基体无缝结合，可提高基体的电磁屏蔽性能。所述防护层具有较高的硬度，另外，通过上述方法形成的所述绝缘层、导电层及防护层的膜厚较小，可使电子元件产生的热量快速的散发出去。该专利以真空镀膜方法形成的绝缘层、导电层及防护层与基体、电子元件之间具有良好的结合力，可避免在使用过程中该绝缘层和/或导电层发生剥落或龟裂而降本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置，包括一个真空镀膜室，真空镀膜室的壁上安装有真空泵系统，使真空镀膜室形成真空，其特征在于，真空镀膜室的壁上还安装有激光发生系统，激光发生系统所发出的激光束穿过真空镀膜室的侧壁孔射在靶材上；靶材放置在靶座上，靶座安装在底盘上，底盘的靶座圆轨迹上均匀的布置有3‑4个靶座，分别放置绝缘材料、金属材料和保护材料，底盘下部安装有底盘转动装置，真空镀膜室上部有基板架，基板架上安装有基板转动装置和基板升降装置。

【技术特征摘要】
1.一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置，包括一个真空镀膜室，真空镀膜室的壁上安装有真空泵系统，使真空镀膜室形成真空，其特征在于，真空镀膜室的壁上还安装有激光发生系统，激光发生系统所发出的激光束穿过真空镀膜室的侧壁孔射在靶材上；靶材放置在靶座上，靶座安装在底盘上，底盘的靶座圆轨迹上均匀的布置有3-4个靶座，分别放置绝缘材料、金属材料和保护材料，底盘下部安装有底盘转动装置，真空镀膜室上部有基板架，基板架上安装有基板转动装置和基板升降装置。2.根据权利要求1所述的一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置，其特征在于，底盘转动装置包括底盘轴，底盘轴通过传动齿轮和步进电机相连。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：刘夕岩，刘波，刘华，
申请(专利权)人：湖南深泰虹科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南,43