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一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置制造方法及图纸
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下载一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置的技术资料
文档序号:16922490
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一种激光加热、真空镀膜的电磁屏蔽膜制备装置,真空镀膜室的壁上安装有真空泵系统,使真空镀膜室形成真空,真空镀膜室的壁上还安装有激光发生系统,激光发生系统所发出的激光束穿过真空镀膜室的侧壁孔射在靶材上;靶材放置在靶座上,底盘的靶座圆轨迹上均匀的...
该专利属于湖南深泰虹科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南深泰虹科技有限公司授权不得商用。
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