一种镀膜机的自动抽真空装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及镀膜加工设备技术领域，具体提供了一种镀膜机的自动抽真空装置，包括：与镀膜机真空室连接的真空管；安装在真空管进气口端的高真空气动挡板阀；安装在真空管出气口端的冷阱；安装在冷阱下方的扩散泵；通过抽气管与扩散泵连接的罗茨泵；安装在扩散泵与罗茨泵连接用抽气管上的前级阀；安装在前级阀上端的预抽阀；通过管道与罗茨泵出口端连接的机械泵；安装在罗茨泵与机械泵连接管道上的第二电磁充气阀。本自动抽真空装置抽气能力强，缓冲效果好，并且可以提高真空室内高真空状态的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机的自动抽真空装置
本技术涉及镀膜加工设备
，具体涉及一种镀膜机的自动抽真空装置。
技术介绍
在真空镀膜系统中，对各真空室的抽真空处理，影响着各个工艺工序的效率和镀膜质量。工件进入镀膜室进行镀膜的前后，均需要先送入预抽室、粗抽室、精抽室等进行预处理或缓冲处理。在传统的真空镀膜系统中，每个真空室分别设有独立的抽真空机组，各自独立使用。但在实际生产中，该结构的真空镀膜系统的抽真空效果并不理想，尤其是针对粗抽室的抽真空，由于罗茨泵的前级抽气能力往往较差，粗抽室内难以达到低压强状态，使得工件在粗抽室内难以得到较好的缓冲处理，往往容易影响后续加工工序的加工效果；同时，对粗抽室进行抽真空时，其用时也长，因此也延长了整个真空镀膜系统的镀膜周期，镀膜效率难以得到提高。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种镀膜机的自动抽真空装置，本自动抽真空装置抽气能力强，缓冲效果好，并且可以提高真空室内高真空状态的稳定性。为实现上述技术方案，本技术提供了一种镀膜机的自动抽真空装置，包括：与镀膜机真空室连接的真空管；安装在真空管进气口端的高真空气动挡板阀；安装在真空管出气口端的冷阱；安装在冷阱下方的扩散泵；通过抽气管与扩散泵连接的罗茨泵；安装在扩散泵与罗茨泵连接用抽气管上的前级阀；安装在前级阀上端的预抽阀，所述前级阀的第一出口端与预抽阀连接，所述前级阀的第二出口端直接与罗茨泵连接，所述预抽阀的出口端直接与罗茨泵连接；通过管道与罗茨泵出口端连接的机械泵；安装在罗茨泵与机械泵连接管道上的第二电磁充气阀。在上述技术方案的实际操作过程中，首先打开机械泵和第二电磁充气阀，然后打开扩散泵，为扩散泵进行预热，等扩散泵预热一段时间后，开启罗茨泵和预抽阀，在机械泵、罗茨泵和扩散泵的配合下，通过真空管道可以实现对镀膜机真空室内的快速抽真空，减少整个真空镀膜系统的镀膜周期，并且在高真空的状态下通过高真空气动挡板阀可以有效防止出现管道负压反抽的情况出现。等到镀膜机的真空室达到工作的真空度后，关闭预抽阀，打开前级阀，实现对真空系统的稳定维持。为了防止返油的情况出现，特在扩散泵与气动挡板阀之间安装冷阱，冷阱不但可以有效减少油蒸汽返流，还可以吸附部分的可凝性蒸汽，可以提高真空室内高真空状态的稳定性。优选的，所述真空管的顶部设置有封头，所述封头上安装有第一真空压力表。通过第一真空压力表可以实时检测真空管内的压力变化，操作人员可以根据第一真空压力表上的数值进行相应的控制。优选的，所述高真空气动挡板阀上还安装有第一电磁充气阀。在真空室与高真空气动挡板阀之间的管路上安装第一电磁充气阀，有利于真空室的开启。优选的，所述冷阱为塔式冷阱，所述冷阱上还设置有排气管，通过排气管可以将不凝蒸汽快速排出，从而提高整个真空系统的稳定性。优选的，所述前级阀与预抽阀连接的管道上安装有第二真空压力表，所述前级阀与罗茨泵连接的管道上安装有第三真空压力表。通过第二真空压力表和第三真空压力表可以实时监测真空系统内的压力波动，以便操作人员对相应阀门的切换。相对于现有技术，本技术提供的一种镀膜机的自动抽真空装置的有益效果在于：本镀膜机的自动抽真空装置结构简单，自动化程度高，通过机械泵、罗茨泵和扩散泵的配合，可以实现对镀膜机真空室内的快速抽真空，减少整个真空镀膜系统的镀膜周期，并且在高真空的状态下通过高真空气动挡板阀可以有效防止出现管道负压反抽的情况出现。同时通过安装冷阱不但可以有效减少油蒸汽返流，还可以吸附部分的可凝性蒸汽，可以提高真空室内高真空状态的稳定性。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1、真空管；2、高真空气动挡板阀；3、封头；4、第一电磁充气阀；5、冷阱；6、扩散泵；7、排气管；8、第一真空压力表；9、抽气管；10、前级阀；11、三通接头；12、预抽阀；13、第二真空压力表；14、第三真空压力表；15、第一波纹管；16、罗茨泵；17、第二电磁充气阀；18、机械泵；19、第二波纹管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本领域普通人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本技术的保护范围。实施例：一种镀膜机的自动抽真空装置。参照图1所示，一种镀膜机的自动抽真空装置，包括：与镀膜机真空室连接的真空管1；安装在真空管1进气口端的高真空气动挡板阀2；安装在真空管1出气口端的冷阱5；安装在冷阱5下方的扩散泵6；通过抽气管9与扩散泵6连接的罗茨泵16；安装在扩散泵6与罗茨泵16连接用抽气管9上的前级阀10；安装在前级阀10上端的预抽阀12，所述前级阀10的第一出口端与预抽阀12连接，所述前级阀10的第二出口端通过三通接头11直接与罗茨泵16连接，所述预抽阀12的出口端直接与罗茨泵16连接；通过管道与罗茨泵16出口端连接的机械泵18；安装在罗茨泵16与机械泵18连接管道上的第二电磁充气阀17。本技术的工作原理为：首先打开机械泵18和第二电磁充气阀17，然后打开扩散泵6，为扩散泵6进行预热，等扩散泵6预热一段时间后，开启罗茨泵16和预抽阀12，在机械泵18、罗茨泵16和扩散泵6的配合下，通过真空管道1可以实现对镀膜机真空室内的快速抽真空，减少整个真空镀膜系统的镀膜周期，并且在高真空的状态下通过高真空气动挡板阀2可以有效防止出现管道负压反抽的情况出现。等到镀膜机的真空室达到工作的真空度后，关闭预抽阀12，打开前级阀10，实现对真空系统的稳定维持。为了防止返油的情况出现，特在扩散泵6与气动挡板阀之间安装冷阱5，冷阱5不但可以有效减少油蒸汽返流，还可以吸附部分的可凝性蒸汽，可以提高真空室内高真空状态的稳定性。参照图1所示，所述真空管1的顶部设置有封头3，所述封头3上安装有第一真空压力表8。通过第一真空压力表8可以实时检测真空管1内的压力变化，操作人员可以根据第一真空压力表8上的数值进行相应的控制。参照图1所示，所述高真空气动挡板阀2上还安装有第一电磁充气阀4，在镀膜机真空室与高真空气动挡板阀2之间的管路上安装第一电磁充气阀4，有利于真空室的开启。参照图1所示，所述冷阱5为塔式冷阱，所述冷阱5上还设置有排气管7，通过排气管7可以将不凝蒸汽快速排出，从而提高整个真空系统的稳定性。参照图1所示，所述前级阀10与预抽阀12连接的管道上安装有第二真空压力表13，所述前级阀10与罗茨泵16连接的管道上安装有第三真空压力表14。通过第二真空压力表13和第三真空压力表14可以实时监测真空系统内的压力波动，以便操作人员对相应阀门的切换。参照图1所示，罗茨泵16的接口端设置有第一波纹管15，第二电磁充气阀17通过第二波纹管19与罗茨泵16连接。考虑到机械泵18和罗茨泵16在运行的时候会发生振动，因此在设计前级管路时，应选用波纹管管道，以保证整个真空系统的稳定性。以上所述为本技术的较佳实施例而已，但本技术不应局限于该实施例和附图所公开的内容，所以凡是不脱离本技术所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本技术保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜机的自动抽真空装置，其特征在于包括：与镀膜机真空室连接的真空管(1)；安装在真空管(1)进气口端的高真空气动挡板阀(2)；安装在真空管(1)出气口端的冷阱(5)；安装在冷阱(5)下方的扩散泵(6)；通过抽气管(9)与扩散泵(6)连接的罗茨泵(16)；安装在扩散泵(6)与罗茨泵(16)连接用抽气管(9)上的前级阀(10)；安装在前级阀(10)上端的预抽阀(12)，所述前级阀(10)的第一出口端与预抽阀(12)连接，所述前级阀(10)的第二出口端直接与罗茨泵(16)连接，所述预抽阀(12)的出口端直接与罗茨泵(16)连接；通过管道与罗茨泵(16)出口端连接的机械泵(18)；安装在罗茨泵(16)与机械泵(18)连接管道上的第二电磁充气阀(17)。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机的自动抽真空装置，其特征在于包括：与镀膜机真空室连接的真空管(1)；安装在真空管(1)进气口端的高真空气动挡板阀(2)；安装在真空管(1)出气口端的冷阱(5)；安装在冷阱(5)下方的扩散泵(6)；通过抽气管(9)与扩散泵(6)连接的罗茨泵(16)；安装在扩散泵(6)与罗茨泵(16)连接用抽气管(9)上的前级阀(10)；安装在前级阀(10)上端的预抽阀(12)，所述前级阀(10)的第一出口端与预抽阀(12)连接，所述前级阀(10)的第二出口端直接与罗茨泵(16)连接，所述预抽阀(12)的出口端直接与罗茨泵(16)连接；通过管道与罗茨泵(16)出口端连接的机械泵(18)；安装在罗茨泵(16)与机械泵(18)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘林峰，黄少鸿，
申请(专利权)人：广州市靓渡塑料镀膜有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44