一种预抽真空装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示器制造领域的真空溅射机台，在其预抽真空装置中，玻璃基板放置于腔体中，所述腔体一侧腔壁上设置有干泵排风口和低温泵排风口，所述干泵排风口和所述低温泵排风口正对位置均设置长方形挡板，在所述抽真空装置进行大气－真空－大气状态的切换过程中，保持气流不直接作用与所述玻璃基板表面，减缓气体湍流对所述玻璃基板造成的颗粒杂质、气泡等不利影响，提高本工序的成膜品质。

A pre vacuum device

The present invention relates to a display vacuum sputtering machine manufacturing, vacuum pumping device in the pre, glass substrate placed in the cavity, the cavity cavity side wall is provided with a dry pump outlet and cryogenic pump outlet, the pump dry air outlet and the air outlet is arranged on the cryogenic pump are arranged rectangular the switching process of Atmospheric - vacuum baffle, atmosphere state in the vacuum pumping device, keep the air does not directly interact with the surface of the glass substrate, to mitigate the adverse effects of gas turbulence on the glass substrate caused by the impurity particles and bubbles, improve the film quality into the procedure.

【技术实现步骤摘要】
一种预抽真空装置
本专利技术涉及显示器制造领域，尤其涉及真空溅射机台。
技术介绍
在显示器制造领域中，真空溅射机台是在高真空下利用物理磁控溅射原理在玻璃基板上沉积膜层的机台，玻璃基板从机台外部首先进入机台预抽真空装置，待预抽真空装置从大气状态切换到真空状态时，玻璃基板进入到溅射腔室，沉积膜层后玻璃基板送回预抽真空装置，待预抽真空装置从真空状态切换到大气状态后，玻璃基板从机台内排出。由于预抽真空装置在生产过程中处于大气与真空状态下转换，预抽真空装置显得尤其重要，在实现大气－真空－大气的两次转换过程中，预抽真空装置腔体内空气流动方向、速度、玻璃基板表面湍流状况等，都对溅射工序质量产生直接的影响。现有预抽真空装置排气口在腔室侧壁，包括干泵和低温泵的排气口，排气口正面无保护装置，腔室从大气向真空转换时，有明显湍流，当湍流从玻璃基板表面经过时，会在玻璃基板表面残留颗粒或气泡，对成膜品质会有影响；另一方面，在腔室从真空向大气转换时，从排气口充入的气体形成湍流直接从玻璃基板表面经过，气体中的颗粒杂质同样会对沉积膜层造成损害。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构简单，可有效减缓玻璃基板表面湍流的预抽真空装置，提供具体技术方案如下：一种预抽真空装置，包括腔壁，腔壁内放置玻璃基板，所述腔壁一侧内壁同时设有干泵排气口和低温泵排气口，所述干泵排气口外设第一挡板，所述第一挡板与所述腔壁不接触，所述第一挡板遮盖所述干泵排气口；所述低温泵排气口外设第二挡板，所述第二挡板与所述腔壁不接触，所述第二挡板遮盖所述低温泵排气口。其中，所述第一挡板和所述第二挡板表面均采用光滑处理。其中，所述第一挡板和所述第二挡板均为长方形，长方形中较长的一边平行于所述玻璃基板的上平面。其中，所述第一挡板和所述第二挡板均由螺栓连接于所述内壁上，所述螺栓位置靠近所述第一挡板和所述第二挡板的边缘。其中，所述第一挡板和所述第二挡板同时平行于所述腔壁。其中，所述第一挡板和所述第二挡板均设置导引面，所述导引面一端与所述第一挡板或所述第二挡板连接，另一端向所述侧壁的反方向延伸，所述导引面绕所述第一挡板或所述第二挡板边缘连续设置。其中，所述导引面截面为直面。其中，所述导引面截面为圆弧面，所述圆弧面与所述第一挡板或所述第二挡板相切。其中，所述第一挡板在正对所述干泵排气口位置设平滑突起部，所述突起部最高点正对所述干泵排气口中心；所述第二挡板在正对所述低温泵排气口位置设平滑突起部，所述突起部最高点正对所述低温泵排气口中心。其中，所述第一挡板和所述第二挡板的材料均为不锈钢。本专利技术预抽真空装置，通过所述第一挡板和所述第二挡板的设置，将所述干泵排风口和所述低温泵排风口在大气－真空－大气的过程中抽－充的气体进行了一定的引流，使得所述气体没有直接作用在所述玻璃基板上，有效减缓了在所述玻璃基板上形成的湍流，减少了颗粒杂质、气化物等与玻璃基板的接触，玻璃基板上残留颗粒或气泡的概率变小，在加入一系列改进方案后，湍流的发生被进一步减弱，甚至可达到基本消除的状态，成膜品质得到提升。附图说明图1是本专利技术预抽真空装置的俯视示意图；图2是本专利技术预抽真空装置的内部正视示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，本预抽真空装置，包括腔壁1，腔壁1内放置了玻璃基板2，所述腔壁1一侧内壁11上同时设有干泵排气口3和低温泵排气口4，所述干泵排气口3和所述低温泵排气口4并排设置，所述干泵排气口3外设第一挡板5，所述第一挡板5与所述腔壁1不接触，留出一定的气体流过空间，所述第一挡板5遮盖所述干泵排气口3；所述低温泵排气口2外设第二挡板6，所述第二挡板6与所述腔壁1不接触，留出一定的气体流过空间所述第二挡板6遮盖所述低温泵排气口4。通过这样的设置，在所述干泵排气口3和所述低温排气口4的前方一定距离，都设定了挡板，在长度方向上与所述玻璃基板2平行，对出入两个排气口的气流都造成了一定的阻隔，使得气流不会直接通过两个排气口流到所述玻璃基板2的表面，使得也因此减弱了气流带来的湍流影响。优选的，所述第一挡板5和所述第二挡板6表面都采用光滑处理，气体在经过光滑处理的挡板表面可以更顺滑的流动。优选的，见图2，所述第一挡板5和所述第二挡板6均为长方形，长方形中较长的一边平行于所述玻璃基板2的上平面。如所述第一挡板5和所述第二挡板6的外形尺寸一致，均为长600mm，宽320mm，厚2mm的挡板，则长600mm的边设置在平行于所述玻璃基板上表面的位置，沿所述玻璃基板2方向设置的挡板距离越长，越有利于阻隔气体直接作用于所述玻璃基板2的面积。优选的，所述第一挡板5和所述第二挡板6均由螺栓7连接于所述内壁11上，所述螺栓7均设置于两个挡板靠近边缘的位置，这样设置可以增强挡板边缘的刚性，防止因为螺栓设置太靠近挡板内部，导致边缘部分形成悬臂梁，在刚性不足的情况下气流通过时造成较大振动甚至共振，加重气流紊乱等现象。优选的，所述第一挡板5和所述第二挡板6平行，二者又同时平行于所述内壁11，所述第一挡板5和所述第二挡板6与所述侧壁11的距离优选为50mm，此时的气流通过空间足够满足工作需要，也尽量缩小了挡板所占用的空间。优选的，所述第一挡板5和所述第二挡板6均设置导引面8，所述导引面8一端与所述第一挡板5的边缘连接，另一端向所述内壁11的反方向延伸，对气流形成一个导引角，更有利于气体的平稳流通。所述导引面8绕所述第一挡板5边缘一周连续设置，可以使气体的流动尽量平稳，不受干扰，所述导引面8对所述第二挡板6也是同样的原理和效果。所述导引面8的截面可以为直面，也可以为圆弧面81，当截面为所述圆弧面81时，与所述第一挡板5或所述第二挡板6的边缘均与所述圆弧面81相切。进一步的，所述第一挡板5在正对所述干泵排气口位置设突起部52，所述突起部52从四周向最高点平滑过渡，例如半球形，所述突起部52最高点正对所述干泵排气口3中心；所述第二挡板6在正对所述低温泵排气口位置设突起部62，所述突起部62也从四周向最高点平滑过渡，例如半球形，所述突起部62最高点正对所述低温泵排气口4中心。平滑的突起部可以对气体进行疏导，让气体更顺畅的流入所述排气口，同时在充气时也能平滑的进入所述腔壁1。优选的，所述第一挡板5和所述第二挡板6的材料均为不锈钢，刚度更好，更不易变形。本专利技术预抽真空装置，具备结构简单、支撑稳固、可靠性高的特点，通过所述第一挡板和所述第二挡板的设置，将所述干泵排风口和所述低温泵排风口的气体与所述玻璃基板进行了一定的隔阻，使得气体没有直接作用在所述玻璃基板上，有效减缓了在所述玻璃基板上形成的湍流，减少了颗粒杂质、气化物等与玻璃基板的接触，玻璃基板上残留颗粒或气泡的概率变小，在挡板边缘和正对排气口位置加入引流等改进方案后，湍流的发生被进一步减弱，甚至可达到基本消除的状态，成膜品质得到提升。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种预抽真空装置，包括腔壁，腔壁内放置玻璃基板，其特征在于：所述腔壁一侧内壁同时设有干泵排气口和低温泵排气口，所述干泵排气口外设第一挡板，所述第一挡板与所述腔壁不接触，所述第一挡板遮盖所述干泵排气口；所述低温泵排气口外设第二挡板，所述第二挡板与所述腔壁不接触，所述第二挡板遮盖所述低温泵排气口。

【技术特征摘要】
1.一种预抽真空装置，包括腔壁，腔壁内放置玻璃基板，其特征在于：所述腔壁一侧内壁同时设有干泵排气口和低温泵排气口，所述干泵排气口外设第一挡板，所述第一挡板与所述腔壁不接触，所述第一挡板遮盖所述干泵排气口；所述低温泵排气口外设第二挡板，所述第二挡板与所述腔壁不接触，所述第二挡板遮盖所述低温泵排气口。2.如权利要求1所述预抽真空装置，其特征在于：所述第一挡板和所述第二挡板表面均采用光滑处理。3.如权利要求2所述预抽真空装置，其特征在于：所述第一挡板和所述第二挡板均为长方形，长方形中较长的一边平行于所述玻璃基板的上平面。4.如权利要求1所述预抽真空装置，其特征在于：所述第一挡板和所述第二挡板均由螺栓连接于所述内壁上，所述螺栓位置靠近所述第一挡板和所述第二挡板的边缘。5.如权利要求1所述预抽真空装置，其特征在于：所述第一挡板和所述第二挡板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张毅，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42