The utility model relates to the technical field of the semiconductor device structure and preparation, and particularly relates to a multi chamber atmosphere isolation device, comprising a first reaction chamber and the reaction chamber second, isolation chamber is arranged between the first reaction chamber and a second reaction chamber, the isolation between the wall and the room is equipped with a second wall; the first wall and the second the wall is surrounded by an air inlet chamber, an inlet cavity formed on both sides of the first isolation chamber and second isolation chamber; first wall top and second wall top are respectively provided with an air inlet chamber and an isolation chamber corresponding to the first and second intake inlet slit slit; the bottom of the side wall of the first reaction chamber and a second reaction chamber are respectively arranged on the reaction the chamber and an isolation chamber connected with corresponding first exhaust slot and second exhaust slot; the first isolation chamber and second isolation chamber are arranged at the bottom The intake chamber is connected with an air inlet. The gas seal between the two chambers is realized while the process gas in the two reaction chambers will not contact.
【技术实现步骤摘要】
一种多腔室间气氛隔离装置
本技术涉及半导体器件及结构制备
,尤其涉及一种多腔室间气氛隔离装置。
技术介绍
对于多腔室的半导体器件结构及制作工艺,物理气相沉积及化学气相沉积工艺可实现多步沉积工艺的连续进行。对于不同材料生长沉积的工艺,需要保证腔室之间的气体不相互渗透干扰,影响沉积的膜层组分。传统的气体隔离技术主要有气密封和差分隔离两种技术。气密封技术是利用充气口吹入气体,气体沿着细缝进入到两边的腔室,从而隔离两个腔室之间的工艺气体,但是采用单一的气体密封技术,需要非常大的流量才能确保不互相干扰,不仅浪费了大量的气体,同时过大的流量也对反应工艺腔室的气氛造成冲击,形成湍流及影响气体的均匀性,从而影响镀膜质量。采用差分隔离技术,是在两个反应腔室之间设置隔离室,或者设置多个隔离室,利用抽气系统,将两侧反应腔室中沿狭缝进入到隔离室的气体抽走,从而避免了相邻两个腔室间工艺气体的互相渗透,但是利用单个差分或者多个差分,不仅需要增加隔离室的数量及抽气泵的数量,而且设备结构复杂,成本较高,并且,在隔离室中两个反应腔室的工艺气体会接触混合,可能会产生次生反应类型,在隔离腔室中沉积膜,若反应剧烈,甚至有危险的发生。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是解决现有技术中隔离室密封两个反应腔室时,隔离室中的工艺气体会接触混合产生次生反应的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题,本技术提供了一种多腔室间气氛隔离装置,包括第一反应腔室和第二反应腔室,所述第一反应腔室与所述第二反应腔室之间设有隔离间室,所述隔离间室内设有第一隔离墙和第二隔离墙;所述第一隔离墙和第二隔 ...
【技术保护点】
一种多腔室间气氛隔离装置,其特征在于:包括第一反应腔室和第二反应腔室,所述第一反应腔室与所述第二反应腔室之间设有隔离间室,所述隔离间室内设有第一隔离墙和第二隔离墙;所述第一隔离墙和第二隔离墙共同围成进气腔,所述第一隔离墙与所述第一反应腔室的侧壁共同形成第一隔离腔,所述第二隔离墙与所述第二反应腔室的侧壁共同形成第二隔离腔;所述第一隔离墙的顶部设有连通所述进气腔和所述第一隔离腔的第一进气狭缝,所述第二隔离墙的顶部设有连通所述进气腔和所述第二隔离腔的第二进气狭缝;所述第一反应腔室的侧壁底部设有连通所述第一反应腔室和第一隔离腔的第一排气狭缝,所述第二反应腔室的侧壁底部设有连通所述第二反应腔室和第二隔离腔的第二排气狭缝;所述第一隔离腔和第二隔离腔的底部分别设有第一出气口和第二出气口,用于连接抽气装置;所述进气腔连接有进气口,用于连接充气装置。
【技术特征摘要】
1.一种多腔室间气氛隔离装置,其特征在于:包括第一反应腔室和第二反应腔室,所述第一反应腔室与所述第二反应腔室之间设有隔离间室,所述隔离间室内设有第一隔离墙和第二隔离墙;所述第一隔离墙和第二隔离墙共同围成进气腔,所述第一隔离墙与所述第一反应腔室的侧壁共同形成第一隔离腔,所述第二隔离墙与所述第二反应腔室的侧壁共同形成第二隔离腔;所述第一隔离墙的顶部设有连通所述进气腔和所述第一隔离腔的第一进气狭缝,所述第二隔离墙的顶部设有连通所述进气腔和所述第二隔离腔的第二进气狭缝;所述第一反应腔室的侧壁底部设有连通所述第一反应腔室和第一隔离腔的第一排气狭缝,所述第二反应腔室的侧壁底部设有连通所述第二反应腔室和第二隔离腔的第二排气狭缝;所述第一隔离腔和第二隔离腔的底部分别设有第一出气口和第二出气口,用于连接抽气装置;所述进气腔连接有进气口,用...
【专利技术属性】
技术研发人员:兰立广,
申请(专利权)人:北京创昱科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。