沉积装置及沉积方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及沉积装置和沉积方法。根据本发明专利技术一实施方式的沉积装置包括对衬底执行沉积工艺的沉积单元、包括固定所述衬底的载体以及传送所述载体的传送部件的传送单元、以及布置成与所述沉积单元相邻并且对所述载体执行维修的维护单元，并且所述传送部件包括维护传送部件，该维护传送部件布置于所述沉积单元与所述维护单元之间以将所述载体从所述沉积单元传送至所述维护单元。

Deposition device and deposition method

The present invention relates to a deposition device and a deposition method. According to one embodiment of the invention deposition apparatus includes a deposition unit, to perform substrate deposition process the substrate comprises a fixed carrier and transmits the carrier transmission unit, and a transmission part arranged adjacent to the sedimentary unit and the carrier to perform maintenance unit maintenance, and the transmission part includes maintenance delivery components, the maintenance delivery member disposed between the sedimentary unit and the maintenance unit to the carrier transmitted from the sedimentary unit to the maintenance unit.

【技术实现步骤摘要】
沉积装置及沉积方法
本专利技术涉及沉积装置和沉积方法。
技术介绍
最近，具有低电耗、高亮度以及快速的响应速度的有机发光显示装置(OrganicLightEmittingDiodeDisplay；OLED)作为下一代平板显示装置而备受瞩目。通常，有机发光显示装置包括自发光的自发光型有机发光元件，并且由于不需要额外的光源而可制造为轻量型和薄型。作为在这种有机发光元件上形成有机物薄膜的沉积装置，主要使用真空热沉积装置(Thermalevaporationapparatus)。真空热沉积装置由在高真空状态下进行沉积的多个真空腔构成。在沉积装置的真空腔内部，在衬底固定至载体(carrier)上并在坩埚的上方移动的期间对衬底实施有机物沉积。
技术实现思路
对于这种载体，将载体取出到沉积装置的外部，并通过作业人员手动更换防沉积部件或去除静电卡盘的颗粒(particle)等来进行维护(maintenance)。然而，随着衬底的尺寸由于最近技术的发展而增加，传送衬底的载体也变得大型且高荷重。因此，为在沉积工艺线上对大型化载体进行维护而将高荷重的载体取出到沉积装置的外部的操作会导致作业人员的安全问题以及作业本文档来自技高网...

【技术保护点】
沉积装置，包括：沉积单元，对衬底执行沉积工艺；传送单元，包括固定所述衬底的载体和传送所述载体的传送部件；维护单元，布置成与所述沉积单元相邻，并且对所述载体执行维修，其中，所述传送部件包括维护传送部件，所述维护传送部件布置于所述沉积单元与所述维护单元之间以将所述载体从所述沉积单元传送至所述维护单元。

【技术特征摘要】
2016.04.12 KR 10-2016-00445231.沉积装置，包括：沉积单元，对衬底执行沉积工艺；传送单元，包括固定所述衬底的载体和传送所述载体的传送部件；维护单元，布置成与所述沉积单元相邻，并且对所述载体执行维修，其中，所述传送部件包括维护传送部件，所述维护传送部件布置于所述沉积单元与所述维护单元之间以将所述载体从所述沉积单元传送至所述维护单元。2.如权利要求1所述的沉积装置，其中，所述沉积单元包括：沉积腔；沉积组件，布置于所述沉积腔内，并且向所述衬底提供沉积物质；返回腔，布置于所述沉积腔的下方，并且连接至所述维护单元；衬底供给腔，布置于所述沉积腔和所述返回腔的一侧；以及衬底回收腔，布置于所述沉积腔和所述返回腔的另一侧，其中，所述传送部件还包括：第一传送部件，布置于所述沉积腔内；以及第二传送部件，布置于所述返回腔内，其中，所述维护传送部件从所述第二传送部件分支出，并且布置于所述返回腔与所述维护单元之间。3.如权利要求1所述的沉积装置，其中，所述载体包括：本体部；静电卡盘，布置于所述本体部的一个表面上，并且将所述衬底固定至所述本体部上；至少一个第一结合部件，布置于所述本体部的一个表面上，并且将防沉积部件结合至所述本体部上；以及凸轮从动件，布置于所述本体部的外侧，并且使所述本体部随着所述传送部件移动，其中，所述传送部件包括：至少一个支承面，支承所述凸轮从动件的表面；以及引导面，引导所述凸轮从动件的侧面。4.如权利要求1所述的沉积装置，其中，所述维护单元包括：载体维护部，对所述载体执行维修；以及防沉积部件维护部，更换结合至所述载体上的防沉积部件。5.如权利要求4所述的沉积装置，其中，所述载体维护部包括：载体积载部，积载并固定有所述载体；颗粒去除部，布置于所述载体积载部的两侧侧壁上，并且去除附着至所述载体的颗粒；以及注油部，向所述载体供给润滑油，其中，所述防沉积部件维护部包括：防沉积部件积载部，供额外的所述防沉积部件在所述防沉积部件积载部上堆叠为多层；以及防沉积部件更换部，执行所述防沉积部件从所述载体的更换，其中，所述防沉积部件更换部布置于所述载体积载部与所述防沉积部件积载部之间。6.如权利要求1所述的沉积装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：林钟熙，金圭范，金兑龙，朴宰奭，朴镇翰，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR