【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机自动转架
本技术涉及镀膜加工设备
,具体涉及一种镀膜机自动转架。
技术介绍
磁控溅射是物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。现大部分的磁控溅射离子镀膜机为较大型的工件镀膜所提供,镀膜机占地面积较大,对于小批量生产的镀膜工件所采用的镀膜技术往往是传统的手工镀膜,而减少镀膜机占地面积的最关键因素是要在减少工件转架体积的同时保证镀膜的均匀性,目前市面上还没有针对镀膜工件的镀膜转架出现。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了一种镀膜机自动转架,采用多支点多平台自转加升降的结构设计,不仅使支撑面积大大减少,而且可以确保镀膜的均匀性。为实现上述技术方案,本技术提供了一种镀膜机自动转架,包括:竖直向上设置的第一电 ...
【技术保护点】
一种镀膜机自动转架,其特征在于包括:竖直向上设置的第一电机(1);安装在第一电机(1)顶部的主动轮(3);安装在主动轮(3)一侧且与主动轮(3)啮合的从动轮(4);安装在从动轮(4)正上方的升降轮(5),所述升降轮(5)与从动轮(4)之间通过传动销(6)连接;固定在升降轮(5)上的工件夹具(7),镀膜工件(19)固定在工件夹具(7)上;并排固定在升降轮(5)上的第一支撑轮(8)和第四支撑轮(17);安装在升降轮(5)正下方的升降底座(10),所述第一支撑轮(8)和第四支撑轮(17)分别通过升降导柱(9)和第二连接柱(18)与升降底座(10)连接;安装在从动轮(4)下方的传动 ...
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机自动转架,其特征在于包括:竖直向上设置的第一电机(1);安装在第一电机(1)顶部的主动轮(3);安装在主动轮(3)一侧且与主动轮(3)啮合的从动轮(4);安装在从动轮(4)正上方的升降轮(5),所述升降轮(5)与从动轮(4)之间通过传动销(6)连接;固定在升降轮(5)上的工件夹具(7),镀膜工件(19)固定在工件夹具(7)上;并排固定在升降轮(5)上的第一支撑轮(8)和第四支撑轮(17);安装在升降轮(5)正下方的升降底座(10),所述第一支撑轮(8)和第四支撑轮(17)分别通过升降导柱(9)和第二连接柱(18)与升降底座(10)连接;安...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘林峰,黄少鸿,
申请(专利权)人:广州市靓渡塑料镀膜有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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