轴承组件及基板卸载模组制造技术

本实用新型专利技术涉及一种轴承组件，其包括轴承、轴承座、传动轴、设置在轴承座上且套设于传动轴外的静套块、固定于传动轴上且罩设于静套块外的动罩；在动罩与静套块之间形成曲折狭缝；在曲折狭缝上设有用于捕捉尘粒的陷阱。上述轴承组件，第一，动罩随传动轴旋转形成的离心力作用，粉尘等被甩离动罩，从而形成第一道防尘屏障；第二，动罩与静套块之间形成曲折狭缝，以延长了粉尘接触到轴承的路径，形成第二道防尘屏障；第三，在曲折狭缝上设有陷阱，陷阱可以捕捉尘粒，形成第三道防尘屏障；通过上述三道防尘屏障，可以有效避免尘粒进入轴承中，从而有效保证轴承转动顺畅、同时避免轴承卡滞失效的问题。本实用新型专利技术还提供了一种基板卸载模组。

【技术实现步骤摘要】
轴承组件及基板卸载模组
本技术涉及面板制作领域，特别是涉及一种轴承组件及基板卸载模组。
技术介绍
有机发光装置在生产过程中的镀膜工艺线上，基板先从自动线传来，依次经过第一门阀、基板装载模组(LoadingModule)、第二门阀、第一缓冲腔体、镀膜腔体、第二缓冲腔体、第三门阀、基板卸载模组(UnloadingModule)、第四门阀，最后再从自动线传走。基板卸载模块需要频繁切换真空与大气状态，当该腔体真空度达到低真空时(如5pa)，该腔体与第二缓冲腔体(高真空侧)的第三门阀开启，基板进入基板卸载模块并关闭第三门阀。此时基板卸载模块的腔体将执行破真空动作，在基板卸载模块的腔体从低真空(如5pa)到形成一个标准大气压(101325pa)。在此过程中，掉落于基板上的靶材mask沉积物及基板附着不良的膜层，被紊乱的气流卷起，污染整个基板卸载模块。故而基板卸载模块在运行一段时间后，会导致轴承转动不顺畅、卡滞失效，进而导致真空腔体传动线中断、基板撞片、停机等现象。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有技术中轴承转动不顺畅、卡滞失效的问题，提供一种轴承转动顺畅、防止轴承卡滞失效的轴承组件。一种轴承组件，包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种轴承组件，其特征在于，包括：轴承；轴承座，用于承载所述轴承；传动轴，支承于所述轴承上；静套块，设置在所述轴承座上，且套设于所述传动轴的外围；以及动罩，固定于所述传动轴上，且罩设于所述静套块外；在所述动罩与所述静套块之间形成曲折狭缝。

【技术特征摘要】
1.一种轴承组件，其特征在于，包括：轴承；轴承座，用于承载所述轴承；传动轴，支承于所述轴承上；静套块，设置在所述轴承座上，且套设于所述传动轴的外围；以及动罩，固定于所述传动轴上，且罩设于所述静套块外；在所述动罩与所述静套块之间形成曲折狭缝。2.根据权利要求1所述的轴承组件，其特征在于，所述静套块远离所述轴承座的一端半包围于所述动罩中。3.根据权利要求2所述的轴承组件，其特征在于，所述动罩包括紧贴所述传动轴的内筒壁、与所述内筒壁平行设置的外筒壁、以及位于所述内筒壁与所述外筒壁之间的盖壁。4.根据权利要求1所述的轴承组件，其特征在于，在所述曲折狭缝上设有用于捕捉尘粒的陷阱。5.根据权利要求4所述的轴承组件，其特征在于，所述陷阱设置于所述静套块上。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖善春，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32