The utility model relates to a high purity silane quality analysis device, including analyzer and support, both sides of the lower surface of the analyzer is fixedly provided with a slide block, wherein the bracket comprises a support plate and support legs are arranged on the upper surface of the support plate is matched with the slide structure, the lower surface is provided on both sides of the baffle, the baffle is positioned at a bracket legs, legs and baffle bracket are respectively provided with through holes with the same structure, the outer baffle board are respectively provided with a limited a and B limit plate, limiting plate are fixedly connected with the supporting plate a, limit plate B and support leg is fixedly connected with the center position limit plate A and limiting plate B are respectively provided with a circular groove and a screw hole with the same diameter, support legs, a limiting plate and a limiting plate between the a B and the baffle are connected through the screw connection, not set screw through hole, a circular groove and a screw hole is arranged on the surface and even The lower end of the bracket leg is equipped with a height adjusting device, and the utility model has the advantages of convenient operation and stable and reliable connection.
【技术实现步骤摘要】
一种高纯硅烷的质量分析装置
本技术属于化工设备
,具体涉及一种高纯硅烷的质量分析装置。
技术介绍
目前,硅烷是一种电子气体,同其他硅源化合物相比,硅烷因其独具的特性而被优先使用,广泛应用于电子、信息、能源、材料等领域,是许多未来新兴产业所必不可少的一种气体,硅烷在使用的过程中,其纯度和质量直接影响了后续产品的质量,现有的硅烷质量分析装置大多是采用质量分析仪器,首先,利用与吸气泵连接的采样手柄进行硅烷的采样,然后,通过其内部的分析模块和检测模块对其质量进行分析,但是现有的质量分析仪器其下端连接的支架调节范围有限且调节很不方便,若接触面凹凸不平时,很容易产生晃动,进而带动分析仪晃动,影响分析结果,并且质量分析仪器属于精密仪器,晃动时若产生碰撞,很容易造成仪器的损坏;为解决上述问题,开发一种操作便捷且连接稳固可靠的高纯硅烷质量分析装置很有必要。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种操作便捷且连接稳固可靠的高纯硅烷质量分析装置。本技术的目的是这样实现的:一种高纯硅烷的质量分析装置,包括分析仪和支架,所述分析仪其内部设置有检测模块、分析模块、显示装置、吸气泵、电源和控制装置,所述分析仪表面设置有液晶显示屏、控制按键、进气口和出气口,所述进气口一端与所述吸气泵连接,另一端外接有采样手柄,所述分析仪下表面的两侧固定设置有滑块,所述支架包括支撑板和支架腿,所述支撑板上表面设置有与所述滑块结构相配合的滑槽,下表面设置挡板,所述挡板位于所述支架腿上端的两侧,所述挡板的中心处和所述支架腿的上端设置有结构相同的通孔,所述挡板的外侧分别设置有限位板a和限位板 ...
【技术保护点】
一种高纯硅烷的质量分析装置,包括分析仪(1)和支架(2),所述分析仪(1)其内部设置有检测模块、分析模块、显示装置、吸气泵、电源和控制装置,所述分析仪(1)表面设置有液晶显示屏(11)、控制按键(12)、进气口(13)和出气口(14),所述进气口(13)一端与吸气泵连接,另一端外接有采样手柄,其特征在于:所述分析仪(1)下表面的两侧固定设置有滑块(15),所述支架(2)包括支撑板(21)和支架腿(22),所述支撑板(21)上表面设置有与所述滑块(15)结构相配合的滑槽(211),下表面设置挡板(23),所述挡板(23)位于所述支架腿(22)上端的两侧,所述挡板(23)的中心处和所述支架腿(22)的上端设置有结构相同的通孔(231),所述挡板(23)的外侧分别设置有限位板a(24)和限位板b(25),所述限位板a(24)与所述支撑板(21)下表面固定连接,所述限位板b(25)与所述支架腿(22)固定连接,所述限位板a(24)和所述限位板b(25)的中心位置分别设置有与所述通孔(231)直径相同的圆形凹槽(241)和螺孔(251),所述支架腿(22)、所述限位板a(24)、所述限位板b(2 ...
【技术特征摘要】
1.一种高纯硅烷的质量分析装置,包括分析仪(1)和支架(2),所述分析仪(1)其内部设置有检测模块、分析模块、显示装置、吸气泵、电源和控制装置,所述分析仪(1)表面设置有液晶显示屏(11)、控制按键(12)、进气口(13)和出气口(14),所述进气口(13)一端与吸气泵连接,另一端外接有采样手柄,其特征在于:所述分析仪(1)下表面的两侧固定设置有滑块(15),所述支架(2)包括支撑板(21)和支架腿(22),所述支撑板(21)上表面设置有与所述滑块(15)结构相配合的滑槽(211),下表面设置挡板(23),所述挡板(23)位于所述支架腿(22)上端的两侧,所述挡板(23)的中心处和所述支架腿(22)的上端设置有结构相同的通孔(231),所述挡板(23)的外侧分别设置有限位板a(24)和限位板b(25),所述限位板a(24)与所述支撑板(21)下表面固定连接,所述限位板b(25)与所述支架腿(22)固定连接,所述限位板a(24)和所述限位板b(25)的中心位置分别设置有与所述通孔(231)直径相同的圆形凹槽(241)和螺孔(251),所述支架腿(22)、所述限位板a(24)、所述限位板b(25)和所述挡板(23)之间通过连接螺丝(26)连接,所述通孔(231)内未设置螺纹,所述圆形凹槽(241)和所述螺孔(251)内表面设置有与所述连接螺丝(26)相配合的螺纹,所述支架腿...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡前进,孟国均,梁涌涛,
申请(专利权)人:河南硅烷科技发展股份有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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