基板支撑件及配向膜预烘烤装置制造方法及图纸

技术编号:16872562 阅读:85 留言:0更新日期:2017-12-23 10:51
本发明专利技术提供一种基板支撑件及配向膜预烘烤装置。本发明专利技术的配向膜预烘烤装置包括支撑架、及安装于所述支撑架上用于对基板进行支撑的多个支撑针;所述支撑架内部设有流体通道,所述支撑架一端连接有流体输入管道,所述流体输入管道与流体通道连通并向其内输入流体以对安装在所述支撑架上的多个支撑针进行温度调节,本发明专利技术通过向支撑架内通入流体而对支撑针进行温度调节,从而在配向膜预烘烤制程中,不会因为支撑针温度过高,在基板与支撑针接触时造成支撑针所支撑位置处配向液提前固化而形成点状的膜面凸起,从而从源头上解决了Pin Mura的问题。

Pre baking device for base plate support and matching film

The present invention provides a base plate support and a matching film pre baking device. The invention of the alignment film pre baking device comprises a support frame, and a plurality of supporting pins mounted on the supporting frame for supporting the substrate; the support frame is arranged inside the fluid channel, wherein the support frame is connected with a fluid inlet pipeline, the fluid input pipeline and fluid channel is connected to the input to the installation of fluid temperature adjustment on the support frame of the plurality of support pins, the fluid to pass into the interior of the support frame and temperature regulation for supporting needle, thereby to film in the pre baking process, not because of the support pin high temperature of the substrate and the support pin contact by supporting needle supporting position alignment and the formation of liquid curing in advance punctate membrane surface bulge, thus from the source to solve the problem of Mura Pin.

【技术实现步骤摘要】
基板支撑件及配向膜预烘烤装置
本专利技术涉及显示
,尤其涉及一种基板支撑件及配向膜预烘烤装置。
技术介绍
液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay,LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置,其包括液晶显示面板及背光模组。通常液晶显示面板由彩膜(ColorFilter,CF)基板、薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)基板、夹于彩膜基板与TFT基板之间的液晶(LiquidCrystal,LC)及密封框胶(Sealant)组成。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子,通过玻璃基板通电与否来控制液晶分子改变方向,将背光模组的光线折射出来产生画面。通常,TFT基板及CF基板上分别具有一层配向膜,该配向膜与LC接触后,能够使得LC产生一定方向的预倾角,从而给液晶分子提供一个承载的角度(预倾角的大小对LCD的驱动电压、对比度、响应时间、视角等具有重要影响),配向膜的材料通常选用聚酰亚胺(Polyimide,PI)材料,由PI液涂布于基板上所形成。目前常用的配向膜制本文档来自技高网...
基板支撑件及配向膜预烘烤装置

【技术保护点】
一种基板支撑件,其特征在于,包括支撑架(10)、及安装于所述支撑架(10)上用于对基板进行支撑的多个支撑针(20);所述支撑架(10)内部设有流体通道(15),所述支撑架(10)一端连接有流体输入管道(30),所述流体输入管道(30)与流体通道(15)连通并向其内输入流体以对安装在所述支撑架(10)上的多个支撑针(20)进行温度调节。

【技术特征摘要】
1.一种基板支撑件,其特征在于,包括支撑架(10)、及安装于所述支撑架(10)上用于对基板进行支撑的多个支撑针(20);所述支撑架(10)内部设有流体通道(15),所述支撑架(10)一端连接有流体输入管道(30),所述流体输入管道(30)与流体通道(15)连通并向其内输入流体以对安装在所述支撑架(10)上的多个支撑针(20)进行温度调节。2.如权利要求1所述的基板支撑件,其特征在于,还包括对所述多个支撑针(20)进行温度控制的温控系统(40);所述温控系统(40)包括安装在支撑架(10)上以测试支撑架(10)温度的温度传感器(41)、安装在流体输入管道(30)上以调节其内流体温度和流量的温度流量调节器(42)、及与所述温度传感器(41)和温度流量调节器(42)均相连接的温度控制器(43);其中,所述温度控制器(43)根据所述温度传感器(41)的反馈,控制所述温度流量调节器(42)对流体输入管道(30)内流体的温度和流量进行调节,进而控制所述多个支撑针(20)的温度。3.如权利要求1所述的基板支撑件,其特征在于,每一所述支撑针(20)均包括支撑柱(21)和支撑针头(22),所述支撑柱(22)位于所述支撑针头(22)的下方用于支撑所述支撑针头(22)并与所述支撑架(10)连接而安装在支撑架(10)上;其中,所述支撑柱(21)为圆柱型,所述支撑针头(22)为圆锥...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖凯
申请(专利权)人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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