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本发明提供一种基板支撑件及配向膜预烘烤装置。本发明的配向膜预烘烤装置包括支撑架、及安装于所述支撑架上用于对基板进行支撑的多个支撑针;所述支撑架内部设有流体通道,所述支撑架一端连接有流体输入管道,所述流体输入管道与流体通道连通并向其内输入流体...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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