一种阵列基板及该阵列基板的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种阵列基板及该阵列基板的制备方法，该阵列基板包括：衬底基板；设置在衬底基板上的薄膜晶体管、与薄膜晶体管的源极电连接的数据线、与薄膜晶体管的漏极电连接的像素电极；其中，数据线与像素电极分别设置在不同层中，数据线与像素电极所在层之间进一步设有导电透明层，数据线、导电透明层、像素电极层叠设置且相互之间绝缘。通过本发明专利技术的阵列基板，能够减少阵列基板中像素电极受到数据线电场的干扰。

An array substrate and the preparation method of the array substrate

The invention discloses a preparation method of an array substrate and the array substrate, the array substrate comprises a substrate; the pixel electric drain electrode, a thin film transistor is arranged on a substrate and a source electrode of thin film transistor electrically connected with the data line, a thin film transistor connected to the data line and the pole; the pixel electrodes are respectively arranged in different layers, between the data line and the pixel electrode layer is further provided with a transparent conductive layer, data line, transparent conductive layer and a pixel electrode are stacked and mutually insulated. The array substrate of the invention can reduce the interference of the pixel electrode in the array substrate by the electric field of the data line.

【技术实现步骤摘要】
一种阵列基板及该阵列基板的制备方法
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种阵列基板及该阵列基板的制备方法。
技术介绍
随着显示技术的发展，液晶显示器等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。目前，随着液晶显示器分辨率的不断提高，单个像素的尺寸越来越小，这就使得像素电极与数据线之间的距离越来越小，甚至对于超高解析度的面板来说，为了保证足够的开口率以及液晶电容的大小，像素电极只能与数据线交叠或者部分重叠。本申请的专利技术人在长期的研究中发现，目前的显示面板结构，像素电极容易受到数据线产生的电场耦合影响，从而显示面板显示的画面容易发生串扰(Crosstalk)现象。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种阵列基板及该阵列基板的制备方法，能够减少阵列基板中像素电极受到数据线电场的干扰。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种阵列基板，该阵列基板包括：衬底基板；设置在衬底基板上的薄膜晶体管、与所述薄膜晶体管的源极电连接的数据线、与所述薄膜晶体管的漏极电连接的像素电极；其中，所述数据线与所述像素电极分别设置在不同层中，所述数据线与所述像素电极所在层之间进一步设有导电透明层，所述数据线、所述导电透明层、所述像素电极层叠设置且相互之间绝缘。为解决上述技术问题，本专利技术采用的另一个技术方案是：提供一种阵列基板的制备方法，该方法包括：提供一衬底基板；在所述衬底基板上形成薄膜晶体管、与所述薄膜晶体管的源极电连接的数据线、导电透明层、与所述薄膜晶体管的漏极电连接的像素电极；其中，所述数据线与所述像素电极分别设置在不同层中，所述导电透明层位于所述数据线与所述像素电极所在层之间，所述数据线、所述导电透明层、所述像素电极层叠设置且相互之间绝缘。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术中的阵列基板通过在数据线与像素电极所在层之间设置导电透明层，导电透明层起到金属屏蔽作用，能够减轻数据线对像素电极产生的电场干扰。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：图1是本专利技术阵列基板一实施方式的俯面结构示意图；图2是图1中阵列基板沿A-B方向的部分剖面结构示意图；图3是图1中阵列基板在一应用场景下沿图1中A-B方向的部分剖面结构示意图；图4是本专利技术阵列基板另一实施方式沿图1中A-B方向的部分剖面结构示意图。图5是本专利技术阵列基板的制备方法一实施方式的流程示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。参阅图1和图2，图1是本专利技术阵列基板一实施方式的俯面结构示意图，图2是图1中阵列基板沿A-B方向的部分剖面结构示意图。该阵列基板包括：衬底基板100、薄膜晶体管200、数据线300、像素电极400以及导电透明层500。衬底基板100具有优良的光学性能，较高的透明度和较低的反射率例如，可采用玻璃材料制成。薄膜晶体管200的源极201与数据线300电连接、薄膜晶体管200的漏极202与像素电极400电连接。当薄膜晶体管200被打开时，数据线300输入数据信号至源极201，并经过漏极201输入像素电极400。数据线300与像素电极400分别设置在不同层中，一般而言，数据线300与薄膜晶体管200的源极201位于同一层，采用相同的金属材料制成。导电透明层500位于数据线300与像素电极400所在层之间，由于导电透明层500对像素电极400产生屏蔽作用，因此，其可减少数据线300对像素电极400产生的电场干扰。数据线300、导电透明层500、像素电极400层叠设置且相互之间绝缘，即数据线300、导电透明层500、像素电极400均不在同一层。需要说明的是，在本实施方式中以数据线300设置在像素电极400的下面进行示意说明，即数据线300设置在相对靠近衬底基板100的一侧，像素电极400设置在相对远离衬底基板100的同一侧，但本专利技术实施方式并不限制于此，数据线300也可根据设计的需要而设置在像素电极400的上方。上述实施方式中，通过在像素电极400所在层与数据线300所在层之间设置导电透明层500，由于导电透明层500对像素电极400的屏蔽作用，可减少数据线300的电场效应对像素电极400的影响，减轻数据线300对像素电极400产生的电场干扰，当阵列基板应用于显示装置的情况下，可减少画面出现图像串扰和闪烁现象，提高显示画面质量。在上述实施方式的一个应用场景中，导电透明层500的材料为铟锡氧化物(ITO)。当然，在其他应用场景中，导电透明层500的材料也可以为其他导电透明材料，如：铟锌氧化物(TZO)、氧化铟(In2O3)等，在此对导电透明层500的材料不做限制。参阅图3，在上述实施例的另一个应用场景中，数据线300与像素电极400在同一平面的垂直投影有重叠。对于超高解析度的面板，例如目前正在开发的39”16K8KHVA(HighVerticalAlignment，高垂直排列)液晶模式的面板来说，其像素宽度只有18.75μm，为了保证足够的开口率，数据线300与像素电极400在同一平面的垂直投影有重叠。可以理解的是，在此对数据线300与像素电极400之间重叠面积的大小不做任何限制，数据线300既可以与像素电极400完全重叠，也可以只重叠一部分。其中，在本实施方式中，导电透明层500上设有过孔(图未示)，像素电极400通过该过孔与薄膜晶体管200的漏极201电连接。其中，在本实施方式中，阵列基板进一步还包括公共电极(图未示)，导电透明层500与公共电极电连接，具有和公共电极一样的电位，也就是说，导电透明层500与公共电极一样具有零电位，因此其能够对像素电极400产生屏蔽作用，且能避免电荷聚集在导电透明层500上。此外，本领域的技术人员也可以理解的是，公共电极也可以设置在与阵列基板相对的彩色滤光片基板上，而阵列基板上设有公共电极线，导电透明层500可通过公共电极线而与公共电极电连接，从而具有和公共电极一样的电位。可选地，在本实施方式中，当阵列基板包括多个薄膜晶体管200时，不同像素电极400对应的导电透明层500既可以是同一个导电透明层，也可以不是同一个导电透明层。其中，不同像素电极400对应的导电透明层500是同一个导电透明层指的是：不同像素电极400对应的导电透明层500在同一层，且不同像素电极400对应的导电透明层500之间连续不间断，即导电透明层400的垂直投影覆盖阵列基板的一整面；不同像素电极400对应的导电透明层500不是同一个导电透明层指的是：不同像素电极400对应的导电透明层500之间被间隔断开，不是连续的一个整层。当不同像素电极400对应的导电透明层500不是同本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板；设置在衬底基板上的薄膜晶体管、与所述薄膜晶体管的源极电连接的数据线、与所述薄膜晶体管的漏极电连接的像素电极；其中，所述数据线与所述像素电极分别设置在不同层中，所述数据线与所述像素电极所在层之间进一步设有导电透明层，所述数据线、所述导电透明层、所述像素电极层叠设置且相互之间绝缘。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板；设置在衬底基板上的薄膜晶体管、与所述薄膜晶体管的源极电连接的数据线、与所述薄膜晶体管的漏极电连接的像素电极；其中，所述数据线与所述像素电极分别设置在不同层中，所述数据线与所述像素电极所在层之间进一步设有导电透明层，所述数据线、所述导电透明层、所述像素电极层叠设置且相互之间绝缘。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述数据线与所述像素电极在同一平面的垂直投影有重叠。3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述导电透明层上设有过孔，所述像素电极通过所述过孔与所述薄膜晶体管的漏极电连接。4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板进一步还包括公共电极，所述导电透明层与所述公共电极电连接。5.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述导电透明层与所述像素电极所在层之间还包括彩色光阻层以及覆盖所述光阻层的平坦保护层，所述彩色光阻层位于所述导电透明层远离所述数据线的一侧，所述平坦保护层位于所述彩色光阻层远离所述导电...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵阳，陈剑鸿，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44