处理液的脱气判定方法技术
Determination method of degassing of treatment liquid
Regardless of the type of gas, the degree of degassing is determined reliably for processing the processing liquid on the surface with the fine pattern of slot and hole. Processing liquid of the invention of the determination method for degassing degassing tank in the gas handling liquid contains objects with a fine pattern composed of grooves and holes on the surface of the degassing, impregnation was used to simulate the objects and determine the degree of gas degassing the treatment liquid in the tank fine pattern with the needs on the surface of the concave convex surface, according to the state of the simulation object time change, determine the processing liquid degassing degree.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】处理液的脱气判定方法
本专利技术涉及在处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物时，判定对处理液的脱气程度的处理液的脱气判定方法。
技术介绍
在半导体电路装置、多层结构的电路基板等的加工中，进行使用电镀、蚀刻等的处理液的处理，为了提高精细加工的精度，进行除去溶存于这些处理液的液体中的溶存气体。作为用于除去溶存气体的装置，使用在液体供给线插入脱气模块，并在该脱气模块连接与真空泵连接的真空吸引线，并使真空泵工作的脱气装置。脱气模块例如具有使使用了中空纤维的气体分离膜的外侧为真空状态而进行规定的脱气的结构(例如，参照专利文献1、2)。专利文献1：日本专利第4043192号公报专利文献2：日本特开平9－85012号公报在这样的具备脱气装置的装置中，已知有具有在处理液的循环路径配置溶氧浓度传感器，并根据该溶氧浓度传感器指示的值测定溶存于处理液的氧浓度作为脱气程度的机构的装置。然而，例如，在专利文献1所记载的脱气装置中，溶氧浓度传感器的位置在循环的处理液的路径上，在脱气模块的紧前面，不是测定在处理槽循环并且滞留的处理液本身的溶氧浓度，而测定溢出槽本身的来自捕集槽的处理液...
【技术保护点】
一种处理液的脱气判定方法，其特征在于，在进行用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液所包含的气体的脱气的脱气处理槽内，浸渍用于判定该脱气处理槽内的上述处理液的脱气程度的在表面具备具有需要的凹凸的精细图案的模拟作业对象物，根据该模拟作业对象物的表面状态的时间变化，判定上述处理液的脱气程度。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种处理液的脱气判定方法，其特征在于，在进行用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液所包含的气体的脱气的脱气处理槽内，浸渍用于判定该脱气处理槽内的上述处理液的脱气程度的在表面具备具有需要的凹凸的精细图案的模拟作业对象物，根据该模拟作业对象物的表面状态的时间变化，判定上述处理液的脱气程度。2.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，上述处理液是电镀的预处理用或者电镀处理用的液体。3.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，上述模拟作业对象物具有由多孔质材料构成的表面部。4.根据权利要求3所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，上述模拟作业对象物具有由发泡树脂材料构成的上述表面部。5.根据权利要求3所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，上述模拟作业对象物具有保持上述表面部的保持部件，在脱气处理槽内浸渍上述模拟作业对象物时，被上述保持部件保持的上述表面部与上述保持部件一起浸渍。6.根据权利要求4所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，构成上述表面部的发泡树脂材料的形成的微小的空隙的直径在0.01mm～2.0mm的范围。7.根据权利要求1所述的处理液的脱气判定方法，其特征在于，上述模拟作业对象物的表面状态的时间变化是测...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。