镀覆装置及镀覆方法制造方法及图纸

本发明专利技术的课题是提供一种镀覆装置及镀覆方法，其等即使在作为被镀覆材料的长条状薄片的电阻较大的情形，亦能适当地进行镀覆处理，进一步，使铜等金属薄膜对长条状薄片表面的密着性提升，同时能获得经施以高质量镀覆处理的已生成镍金属皮膜的长条状薄片。本发明专利技术的解决方案是一种镀覆装置10，其在卷出侧辊12与卷取侧辊14之间，通过半空中的阴极辊16而维持搬送作为被镀覆材料的长条状薄片18，且同时一边使长条状薄片18以浸入镀覆液20中的状态于设有阳极22的镀覆槽24中搬送，一边由阴极辊16对长条状薄片18进行供电，借此对长条状薄片18进行电镀处理，再者，阴极辊16相对于镀覆槽24位于长条状薄片18搬送方向的上游侧，且与镀覆槽24的上游侧入口的距离设为150mm以下的范围。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】镀覆装置及镀覆方法
本专利技术是关于一种镀覆装置及使用该镀覆装置的镀覆方法，其一边使作为被镀覆材料的长条状薄片材料于预定处理液中搬送一边进行电镀处理，尤其是即使在长条状薄片材料的电阻较大的情形，亦可施以适当的电镀的镀覆装置及使用该镀覆装置的镀覆方法。
技术介绍
既往已知通过与供电辊接触而对长条状薄片材料进行供电，并对此长条状薄片材料进行电镀处理的镀覆装置及镀覆方法。例如，专利文献1及专利文献2的技术是对于镀覆槽内的镀覆液中的被镀覆材料，由设置于镀覆槽的搬送方向前方的半空中的供电辊，在沿着被镀覆材料搬送方向的方向进行供电并施以电镀。又，作为既有技术范例，如图6所示的镀覆装置，将作为被镀覆材料的长条状薄片在卷出侧辊(未图示)与卷取侧辊(未图示)之间通过半空中的阴极辊54进行搬送，此长条状薄片通过多个设置的各镀覆槽50时，由阴极辊54对长条状薄片进行供电，借此进行电镀覆处理。此镀覆装置设有搬送用辊、阴极辊54，各旋转轴在与长条状薄片搬送方向垂直的方向上延长，并一边与长条状薄片的表面抵接一边使长条状薄片往搬送方向搬送。再者，此镀覆装置的各阴极辊54是与相连至整流器的一根导体棒52(阴极)连接，而各阳极56是与对应的各整流器连接。现有技术文献专利文献专利文献1：日本开昭53-87941号公报专利文献2：日本开昭63-183192号公报专利技术欲解决的课题然而，于上述专利文献1、2所揭示的技术，被指出在被镀覆材料的电阻较大的情形中，有所谓容易发生镀覆不良的问题(例如，国际公开公报WO2016/143714)。又，上述既有的镀覆装置是在各镀覆槽中阴极辊54连接至一根导电棒52(阴极)的结构，因此由各整流器送至各镀覆槽阳极的电力容易往下游侧电阻低的部分流动，产生电力不均，例如铜等金属薄膜对已生成镍金属皮膜的长条状薄片的密着性会产生问题。本专利技术是用于解决上述课题，并提供一种镀覆装置及镀覆方法，其等即使在作为被镀覆材料的长条状薄片的电阻较大的情形，亦能适当地进行镀覆处理，进一步，使铜等金属薄膜对长条状薄片表面的密着性提升，且同时能获得经施以高质量镀覆处理的已生成镍或镍合金皮膜的长条状薄片。
技术实现思路
根据本专利技术，提供一种镀覆装置，其特征在于，在卷出侧辊与卷取侧辊之间，通过受轴承支撑的阴极辊而维持搬送作为被镀覆材料的长条状薄片，且同时一边使所述长条状薄片以浸入镀覆液中的状态于设有阳极的镀覆槽中搬送，一边由所述阴极辊对所述长条状薄片进行供电，借此对该长条状薄片进行电镀处理，设有2个以上的所述镀覆槽，各镀覆槽分别设有与所述阴极辊的回流导线及所述阳极相连的电源。根据本专利技术，即使在被镀覆材料的电阻较大的情形，亦能适当地进行镀覆处理。又，可使金属薄膜对已生成镍或镍合金皮膜的长条状薄片表面的密着性提升。进一步，可获得经施以高质量镀覆处理的被镀覆材料。优选为一种镀覆装置，其中所述阴极辊相对于所述镀覆槽位于所述长条状薄片搬送方向的上游侧，且与所述镀覆槽的上游侧入口的距离设为150mm以下的范围。优选为一种镀覆装置，其中所述阴极辊具有弹性。优选为，所述阴极辊是在其两端部的预定范围中对所述长条状薄片进行供电。优选为一种设有按压机构的镀覆装置，该按压机构是通过将所述长条状薄片对所述阴极辊进行按压，而使该长条状薄片与该阴极辊的接触面积增大。又，优选为一种镀覆装置，其中所述按压机构具有用于将所述长条状薄片对所述阴极辊进行按压的按压辊，且该按压辊具有弹性。优选为一种镀覆装置，其中所述阴极辊在不赋予旋转驱动力下通过与所述长条状薄片的阻力而随着该长条状薄片的搬送进行旋转。又，优选为一种镀覆方法，使用本专利技术的镀覆装置，对已形成薄膜电阻值在1Ω/sq以上的种子层的长条状薄片进行镀覆处理。优选为一种镀覆方法，使用本专利技术的镀覆装置，对已形成200nm以下的镍或镍合金皮膜的长条状薄片进行镀覆处理。附图说明图1是揭示本专利技术的镀覆装置的实施方式的主视简图。图2是揭示本专利技术的镀覆装置的实施方式的图，(a)是揭示施以铜触击镀覆处理的镀覆槽附近的包含阴极辊等结构的主视简图，(b)是揭示施以后制程的铜镀覆处理的镀覆槽附近的包含阴极辊等结构的主视简图。图3是揭示本专利技术的镀覆装置的实施方式中的阴极辊的俯视简图。图4是表示通过阴极辊进行供电时的针孔出现状态的图，(a)是表示通过一般的阴极辊进行供电时的针孔出现状态，(b)是表示通过本专利技术的镀覆装置的实施方式中的阴极辊进行供电时的针孔出现状态。图5是揭示本专利技术的镀覆装置的其他实施方式，是揭示施以铜触击镀覆处理的镀覆槽附近的包含阴极辊等结构的主视简图。图6是揭示既有的镀覆装置的俯视简图。具体实施方式针对本专利技术的镀覆装置及镀覆方法的实施方式，一边参照附图一边进行说明。图1是揭示本专利技术的镀覆装置的实施方式的主视简图。图2是揭示本专利技术的镀覆装置的实施方式的图，(a)是揭示施以铜触击镀覆处理的镀覆槽附近的包含阴极辊等结构的主视简图，(b)是揭示施以后制程的铜镀覆处理的镀覆槽附近的包含阴极辊等结构的主视简图。并且，图3是揭示本专利技术的镀覆装置的实施方式中的阴极辊的俯视简图。又，图4是表示通过阴极辊进行供电时的针孔出现状态的图，(a)是表示通过一般的阴极辊进行供电时的针孔出现状态，(b)是表示通过本专利技术的镀覆装置的实施方式中的阴极辊进行供电时的针孔出现状态。再者，图5是揭示本专利技术的镀覆装置的其他实施方式，是揭示施以铜触击镀覆处理的镀覆槽附近的包含阴极辊等结构的主视简图。并且关于符号，10表示镀覆装置，12表示卷出侧辊，14表示卷取侧辊，16表示阴极辊，18表示长条状薄片，20表示镀覆液，22表示阳极，24表示镀覆槽(触击)，26表示电源，28表示供电范围，30表示按压机构，32表示驱动型阴极辊，34表示后制程镀覆槽，50表示镀覆槽，52表示导电棒，54表示阴极辊，56表示阳极，58表示汽缸，60表示按压辊。首先，如图1所示，本实施方式中的镀覆装置10是在卷出侧辊12与卷取侧辊14之间，通过经受轴承支撑的阴极辊16而维持搬送作为被镀覆材料的长条状薄片18，且同时一边将长条状薄片18以浸入镀覆液20中的状态于设有阳极22的镀覆槽(触击)24中搬送，一边由阴极辊16对长条状薄片18进行供电，借此对长条状薄片18进行电镀处理，再者，阴极辊16相对于镀覆槽(触击)24位在长条状薄片18搬送方向的上游侧，且与镀覆槽(触击)24的上游侧入口的距离设在150mm以下的范围。接着，针对本实施方式进行详细地说明。本实施方式中，通过无电镀覆，预先对长条状被镀覆材料的表面施以作为导电性金属的镍或镍合金的镀覆，制作已生成作为导电性金属种子层的镍或镍合金皮膜的长条状薄片18。此外，无电镀镍处理或无电镀镍合金处理中，一般会形成10～300nm左右具导电性的镍或镍合金的种子层，但优选为200nm以下的镍或镍合金的薄膜。又，种子层优选为薄膜电阻值在1Ω/sq以上。接着，本实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀覆装置，其特征在于，在卷出侧辊与卷取侧辊之间，通过受轴承支撑的阴极辊而维持搬送作为被镀覆材料的长条状薄片，且同时一边使所述长条状薄片以浸入镀覆液中的状态于设有阳极的镀覆槽中搬送，一边由所述阴极辊对所述长条状薄片进行供电，借此对该长条状薄片进行电镀处理，/n设有2个以上的所述镀覆槽，各镀覆槽分别设有与所述阴极辊的回流导线及所述阳极相连的电源。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种镀覆装置，其特征在于，在卷出侧辊与卷取侧辊之间，通过受轴承支撑的阴极辊而维持搬送作为被镀覆材料的长条状薄片，且同时一边使所述长条状薄片以浸入镀覆液中的状态于设有阳极的镀覆槽中搬送，一边由所述阴极辊对所述长条状薄片进行供电，借此对该长条状薄片进行电镀处理，
设有2个以上的所述镀覆槽，各镀覆槽分别设有与所述阴极辊的回流导线及所述阳极相连的电源。


2.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，所述阴极辊相对于所述镀覆槽位于所述长条状薄片搬送方向的上游侧，且与所述镀覆槽的上游侧入口的距离设为150mm以下的范围。


3.根据权利要求1或2所述的镀覆装置，其特征在于，所述阴极辊具有弹性。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的镀覆装置，其特征在于，所述阴极辊在其两端部...

【专利技术属性】
技术研发人员：高德诚，江田哲朗，村山隆史，
申请(专利权)人：株式会社杰希优，
类型：发明
国别省市：日本;JP