一种彩色滤光片基板及其制作方法技术

本发明专利技术提供一种彩色滤光片基板及其制作方法，其中彩色滤光片基板包括：玻璃基板以及形成在所述玻璃基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵边缘形成至少一个第一环状凸起；在形成有所述黑色矩阵的所述玻璃基板上自下而上设置的多个彩色色阻、平坦层和光阻间隔物；所述平坦层对应所述第一环状凸起位置形成第二环状凸起，所述光阻间隔物在所述玻璃基板上的投影位于所述第一环状凸起和所述第二环状凸起内；以及涂布在所述平坦层和所述光阻间隔物上的聚酰亚胺薄膜。本发明专利技术可以一定程度拦截光阻间隔物周边的聚酰亚胺薄膜溶液回流，减小晕环面积，进而增加显示面板的开口率，提升LTPS显示面板的显示效果。

A color filter substrate and its fabrication method

The invention provides a color filter substrate and manufacturing method thereof, wherein the color filter substrate comprises a glass substrate, a black matrix is formed on the glass substrate, the black matrix edge forming at least one first ring bulge; a plurality of color and resistance of the glass substrate in the formation of the black matrix. From setting the planarization layer and the photoresist spacer; the flat layer corresponding to the first ring bulge position form second annular bulge, projecting the photoresist spacer in the glass substrate is positioned on the first ring bulge and the second annular bulge; and coated on the flat layer and the photoresist spacer on the polyimide film. The invention can intercept the reflux of polyimide film around the light resistance spacer to a certain extent, reduce the area of the halo ring, further increase the opening rate of the display panel, and enhance the display effect of the LTPS display panel.

【技术实现步骤摘要】
一种彩色滤光片基板及其制作方法
本专利技术涉及屏幕显示
，尤其涉及一种彩色滤光片基板及其制作方法。
技术介绍
LTPS（LowTemperaturePoly-Silicon，低温多晶硅）显示面板在智能手机、平板电脑上已获得广泛应用。LTPS显示面板制造过程中须将Array（阵列）基板和CF（colorfilter，彩色滤光片）基板进行贴合来组装成TFT盒，以控制不同色彩光线的通过。CF基板上通常设置有控制面板盒厚（cellgap）的PS（PhotoSpacer，即光反应间隔物，通过有机膜层涂布、曝光、蚀刻的方法来制造一定形状及尺寸的间隔物来控制贴合后Array基板和CF基板间的距离），在CF基板贴合前需在基板上涂布PI（polyimide，聚酰亚胺）薄膜来控制液晶配向，PI在PS周边易回流而产生PI晕环。PI晕环区的PI膜厚偏厚，使得晕环区液晶的配向程度不同于其他显示区域，设计CF基板时通常需在PI晕环下部设置BM来遮挡晕环区透过的光。图1和图2所示为目前常见的一种LTPS显示面板CF基板结构示意图，其中图1为CF基板俯视结构示意图，图2为沿图1中AA΄向的截面结构示意图。图1中3΄为一种色阻（可将射入色阻的白光过滤成单色的光），7΄为另一种色阻，5΄为PS（PhotoSpacer），6΄为PS边缘的PI（在PS周边形成晕环）。图2中2΄为玻璃基板，1΄为玻璃基板上的BM（黑色矩阵），3΄为一种色阻，7΄为另一种色阻，4΄为OC平坦层，5΄为PS，6΄为PS边缘的PI。如图1所示，PS在CF基板表面凸出，在涂布PI（polyimide，即聚酰亚胺）薄膜时，PI易在PS边缘回流堆积而形成晕环。PI晕环区的PI膜厚偏厚，使得晕环区液晶的配向不同于其他显示区域，设计CF基板时通常需在PI晕环下部设置黑色矩阵1΄来遮挡晕环区透过的光。因此减小PI晕环的尺寸会有利于减小BM面积，减少PI类mura，并增加显示面板的开口率。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种彩色滤光片基板及其制作方法，以减小光反应间隔物周边产生的晕环尺寸，提高显示效果。为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种彩色滤光片基板，包括：玻璃基板以及形成在所述玻璃基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵边缘形成至少一个第一环状凸起；在形成有所述黑色矩阵的所述玻璃基板上自下而上设置的多个彩色色阻、平坦层和光阻间隔物；所述平坦层对应所述第一环状凸起位置形成第二环状凸起，所述光阻间隔物在所述玻璃基板上的投影位于所述第一环状凸起和所述第二环状凸起内；以及涂布在所述平坦层和所述光阻间隔物上的聚酰亚胺薄膜。其中，所述黑色矩阵边缘形成多个第一环状凸起，多个第一环状凸起为同心圆。其中，所述平坦层对应所述多个第一环状凸起的位置形成多个第二环状凸起，所述多个第二环状凸起为同心圆。本专利技术还提供一种彩色滤光片基板的制作方法，包括：在玻璃基板上制作黑色矩阵，在所述黑色矩阵边缘形成至少一个第一环状凸起；依次制作彩色色阻、平坦层和光阻间隔物，所述平坦层对应所述第一环状凸起位置形成第二环状凸起，所述光阻间隔物在所述玻璃基板上的投影位于所述第一环状凸起和所述第二环状凸起内；在所述平坦层和所述光阻间隔物上涂布聚酰亚胺薄膜。其中，所述在玻璃基板上制作黑色矩阵，在所述黑色矩阵边缘形成至少一个第一环状凸起，具体包括：在所述玻璃基板上涂布用于制作所述黑色矩阵的光阻层；采用具有三种透光率的半色调光罩对涂布有所述光阻层的玻璃基板进行曝光；对曝光后的玻璃基板进行蚀刻，形成图案化的黑色矩阵以及所述黑色矩阵边缘上的至少一个第一环状凸起。其中，所述半色调光罩包括高透光区、半透光区和不透光区，所述高透光区位于所述半色调光罩的两端，其间为所述半透光区，所述不透光区位于所述半透光区的两端。其中，在采用具有三种透光率的半色调光罩对涂布有所述光阻层的玻璃基板进行曝光后，在所述光阻层上形成对应所述高透光区的完全反应区、对应所述半透光区的部分反应区和对应所述不透光区的未反应区。其中，对曝光后的玻璃基板进行蚀刻时，所述完全反应区的光阻被完全去除，所述部分反应区的光阻被部分去除，所述未反应区的光阻被保留形成所述第一环状凸起。其中，所述半色调光罩设置多个不透光区，经过曝光制程后，所述光阻层对应形成多个未反应区，再经蚀刻后，所述多个未反应区的光阻被保留形成多个第一环状凸起，所述多个第一环状凸起为同心圆。其中，在制作所述平坦层时，对应多个第一环状凸起的位置形成多个第二环状凸起，所述多个第二环状凸起为同心圆。本专利技术实施例的有益效果在于：由于在玻璃基板上制作黑色矩阵时，在黑色矩阵的边缘形成至少一个第一环状凸起，使得后续制作平坦层时，平坦层对应第一环状凸起位置会形成第二环状凸起，而光阻间隔物在玻璃基板上的投影位于第一环状凸起和第二环状凸起内，相当于第二环状凸起位于光阻间隔物周边，当涂布聚酰亚胺薄膜时，可以一定程度拦截光阻间隔物周边的聚酰亚胺薄膜溶液回流，减小晕环面积，进而增加显示面板的开口率，提升LTPS显示面板的显示效果。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是现有彩色滤光片基板的俯视结构示意图。图2是沿图1中AA΄向的截面结构示意图。图3是本专利技术实施例一一种彩色滤光片基板的俯视结构示意图。图4是沿图3中AA΄向的截面结构示意图。图5是本专利技术实施例二一种彩色滤光片基板的制作方法的流程示意图。图6是本专利技术实施例二一种彩色滤光片基板的制作方法的具体流程示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附图，用以示例本专利技术可以用以实施的特定实施例。请同时参照图3和图4所示，本专利技术实施例一提供一种彩色滤光片基板，包括：玻璃基板2以及形成在所述玻璃基板2上的黑色矩阵1，所述黑色矩阵1边缘形成至少一个第一环状凸起100；在形成有所述黑色矩阵1的所述玻璃基板2上自下而上设置的多个彩色色阻、平坦层4和光阻间隔物5；所述平坦层4对应所述第一环状凸起100位置形成第二环状凸起41，所述光阻间隔物5在所述玻璃基板2上的投影位于所述第一环状凸起100和所述第二环状凸起41内；以及涂布在所述平坦层4和所述光阻间隔物5上的聚酰亚胺薄膜6。本实施例的彩色滤光片基板，由于在玻璃基板2上制作黑色矩阵1时，在黑色矩阵1的边缘形成至少一个第一环状凸起100，使得后续制作平坦层4时，平坦层4对应所述第一环状凸起100位置会形成第二环状凸起41，而光阻间隔物5在玻璃基板2上的投影位于第一环状凸起100和第二环状凸起41内，相当于第二环状凸起41位于光阻间隔物5周边，当涂布聚酰亚胺薄膜6时，可以一定程度拦截光阻间隔物5周边的聚酰亚胺薄膜溶液回流，减小PI晕环的面积。需要说明的是，为进一步提高拦截光阻间隔物5周边的聚酰亚胺薄膜溶液回流的效果，黑色矩阵的边缘形成有多个第一环状凸起100，多个第一环状凸起100为同心圆。与此相对应，平坦层4对应多个第一环状凸起100的位置将形成多个第二环状凸起41，同样地，多个第二环状凸起41也为同心圆。此外，位于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种彩色滤光片基板，其特征在于，包括：玻璃基板以及形成在所述玻璃基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵边缘形成至少一个第一环状凸起；在形成有所述黑色矩阵的所述玻璃基板上自下而上设置的多个彩色色阻、平坦层和光阻间隔物；所述平坦层对应所述第一环状凸起位置形成第二环状凸起，所述光阻间隔物在所述玻璃基板上的投影位于所述第一环状凸起和所述第二环状凸起内；以及涂布在所述平坦层和所述光阻间隔物上的聚酰亚胺薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种彩色滤光片基板，其特征在于，包括：玻璃基板以及形成在所述玻璃基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵边缘形成至少一个第一环状凸起；在形成有所述黑色矩阵的所述玻璃基板上自下而上设置的多个彩色色阻、平坦层和光阻间隔物；所述平坦层对应所述第一环状凸起位置形成第二环状凸起，所述光阻间隔物在所述玻璃基板上的投影位于所述第一环状凸起和所述第二环状凸起内；以及涂布在所述平坦层和所述光阻间隔物上的聚酰亚胺薄膜。2.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板，其特征在于，所述黑色矩阵边缘形成多个第一环状凸起，多个第一环状凸起为同心圆。3.根据权利要求2所述的彩色滤光片基板，其特征在于，所述平坦层对应所述多个第一环状凸起的位置形成多个第二环状凸起，所述多个第二环状凸起为同心圆。4.一种彩色滤光片基板的制作方法，包括：在玻璃基板上制作黑色矩阵，在所述黑色矩阵边缘形成至少一个第一环状凸起；依次制作彩色色阻、平坦层和光阻间隔物，所述平坦层对应所述第一环状凸起位置形成第二环状凸起，所述光阻间隔物在所述玻璃基板上的投影位于所述第一环状凸起和所述第二环状凸起内；在所述平坦层和所述光阻间隔物上涂布聚酰亚胺薄膜。5.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述在玻璃基板上制作黑色矩阵，在所述黑色矩阵边缘形成至少一个第一环状凸起，具体包括：在所述玻璃基板上涂布用于制作所...

【专利技术属性】
技术研发人员：虞晓江，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42