（甲基）丙烯酸酯化合物及其聚合物制造技术

一种下述通式(iii)表示的化合物，

(methyl) acrylate compounds and their polymers

A compound expressed by the underlying general formula (III),

【技术实现步骤摘要】
(甲基)丙烯酸酯化合物及其聚合物本专利技术专利申请是针对申请日为2012年06月14日、申请号为201280028977.3、专利技术名称为“醇化合物、(甲基)丙烯酸酯、聚合物及它们的制造方法、抗蚀剂组合物及基板的制造方法”的申请的分案申请(申请号：201510477309.4)提出的分案申请
本专利技术涉及作为聚合性单体有用的(甲基)丙烯酸酯及其制造方法，作为(甲基)丙烯酸酯的中间体有用的内酯化合物、醇化合物及其制造方法，使用了该(甲基)丙烯酸酯的聚合物及其制造方法，含有该聚合物的抗蚀剂组合物，使用了该抗蚀剂组合物的基板的制造方法，以及新型的(甲基)丙烯酸酯及利用其的聚合物。本申请基于2011年6月14日在日本申请的日本特愿2011-132183号和2011年9月27日在日本申请的日本特愿2011-210667号要求优先权，并将其内容援引于此。
技术介绍
近年来，在半导体元件、液晶元件的制造中的微细加工的领域中，随着光刻技术的进步，微细化正在迅速发展。作为该微细化的方法，一般采用照射光的短波长化，具体而言，照射光从以往的以g射线(波长：438nm)、i射线(波长：365nm)为代表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种下述通式(iii)表示的化合物，

【技术特征摘要】
2011.06.14 JP 2011-132183;2011.09.27 JP 2011-210661.一种下述通式(...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐久间谕，芹泽昌史，安田敦，矢田信久，前田晋一，
申请(专利权)人：三菱化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP