一种带防静电托架的真空等离子腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带防静电托架的真空等离子腔体，包括真空箱体，在真空箱体内部沿竖直方向设置若干层相互平行的电极板，相邻的两层电极板的极性相反；在相邻的两层电极板之间设有防静电托架，防静电托架安装在真空箱体内两侧的托架滑槽上，在防静电托架的两侧设有托架动滑轮，本实用新型专利技术能批量处理对静电敏感的产品，同时能够极大限度减少托架与腔体内壁或定位立板摩擦形成的碎屑，防止二次污染，保证产品处理效果，操作简单，提高了产能和良率。

A vacuum plasma cavity with antistatic bracket

The utility model discloses a bracket with anti-static vacuum plasma cavity, including the vacuum box, is provided with a plurality of layers of parallel plate electrode in a vacuum inside the box body along the vertical direction, the two polar plate electrode layer adjacent the opposite; between two adjacent electrode plates with anti-static anti-static bracket, mounting bracket in a vacuum box on both sides of the chute bracket, a bracket is arranged on both sides of the movable pulley anti-static brackets, the utility model can batch processing of electrostatic sensitive products, and can greatly reduce the bracket and the inner wall of the cavity or positioning vertical plate friction with the formation of debris, preventing two pollution, ensure product processing effect, simple operation. To improve the productivity and yield.

【技术实现步骤摘要】
一种带防静电托架的真空等离子腔体
本技术属于光电等离子清洗
，尤其涉及一种带防静电托架的真空等离子腔体。
技术介绍
目前，业界常见的真空等离子清洗机采用的托架为水平式，多层，金属或塑胶材质，不带滑轮和挡块；这种材质和结构在处理晶圆（Wafer）、电路板（PCB/FPC）、触摸屏（TouchPanel）等产品时，通常会出现因为拉动摩擦产生静电，形成碎屑造成二次污染和托架拉出的情况。无法保证产品处理效果，一致性比较差，良率偏低。
技术实现思路
针对现有的水平式托架不适合对静电敏感和对微粒要求苛刻，良率偏低，本技术提供一种防静电托架，该材料和结构能批量处理对静电敏感的产品，同时能够极大限度减少托架与腔体内壁或定位立板摩擦形成的碎屑，防止二次污染，保证产品处理效果，操作简单，提高了产能和良率。本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：本技术的一种带防静电托架的真空等离子腔体，包括真空箱体，在真空箱体内部沿竖直方向设置若干层相互平行的电极板，相邻的两层电极板的极性相反；在相邻的两层电极板之间设有防静电托架，防静电托架安装在真空箱体内两侧的托架滑槽上，在防静电托架的两侧设有托架动滑轮。进一步的，所述防静电托架包括金属框架，在金属框架的两侧包裹有防静电绝缘块。进一步的，在防静电托架的下方还设有限位定滑轮和托架限位块。进一步的，在托架滑槽的近门端安装有托架滑槽限位块。进一步的，所述防静电绝缘块采用防静电合成石或防静电陶瓷。进一步的，在防静电托架的两侧还设有金属支架，托架动滑轮安装在金属支架的侧面。进一步的，在真空箱体内两侧还设有定位立板，托架滑槽设在真空箱体（1）或者定位立板上。进一步的，在防静电托架的两侧还设有金属支架，托架限位块安装在金属支架的下方，限位定滑轮固定在真空箱体的侧壁上。本技术的有益效果是：本技术能批量处理对静电敏感的产品，同时能够极大限度减少托架与腔体内壁或定位立板摩擦形成的碎屑，防止二次污染，保证产品处理效果，操作简单，提高了产能和良率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的防静电托架示意图；图3为本技术内部的安装结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术的优选实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图1至图3所示，一种带防静电托架的真空等离子腔体，包括铝制真空箱体1，在真空箱体1内部的竖直方向上设置平行的多层铝制电极板3，一层作为阴极，另一层作为阳极，即相邻的两层电极板3的极性相反；在对应的两层铝制电极板3中间的真空箱体1内壁或定位立板2（定位立板2紧贴真空箱体1内侧壁安装，为选装）上开上托架滑槽5，装上一层防静电托架4，在防静电托架4的两侧设有托架动滑轮10，托架动滑轮10（相对于真空箱体1是运动的），卡在托架滑槽5内，能在托架滑槽5来回滚动。所述防静电托架4包括金属框架7，在金属框架7的两侧包裹有防静电绝缘块8（采用防静电合成石或防静电陶瓷等其他防静电材料），在防静电托架4的下方设有一组限位定滑轮6，该定滑轮6（相对于真空箱体1是固定的）固定安装在真空箱体1的两侧，该定滑轮可以方便防静电托架4的抽拉，在防静电托架4的远门端（离门较远的一端）下方装有托架限位块11（为绝缘材质），当防静电托架4被向外拉的时候，快到尽头的时候托架限位块11会和限位定滑轮6接触，能有效防止防静电托架4的意外脱落。在托架滑槽5的近门端还安装有托架滑槽限位块12，因为防静电托架4只有托架动滑轮10是在托架滑槽5内的，防静电托架4到托架滑槽5内的间距比较大，左右晃动的幅度自然就会比较大。在使用时，如果操作人员拉动防静电托架4时有倾斜，那么两个托架动滑轮10容易在托架滑槽5内卡住，加上托架滑槽限位块12后防静电托架4的左右晃动幅度会受到限制，且不因为晃动幅度大而卡住托架动滑轮10。在防静电托架4的两侧还设有金属支架9，托架动滑轮10安装在金属支架9的侧面。使用的时候，插在铝制真空箱体1内壁或定位立板2两层铝制电极3中间的托架滑槽5内的防静电托架4，由于下面有限位定滑轮6，防静电托架4由金属框架7，防静电绝缘块8、托架动滑轮10、托架限位块11和金属支架9组成，拉动非常方便，几乎没有什么摩擦，不会产生碎屑，放置产品处理后拉出托架产生的静电也不会传递到产品上造成破坏。以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带防静电托架的真空等离子腔体，其特征在于：包括真空箱体（1），在真空箱体（1）内部沿竖直方向设置若干层相互平行的电极板（3），相邻的两层电极板（3）的极性相反；在相邻的两层电极板之间设有防静电托架（4），防静电托架（4）安装在真空箱体（1）内两侧的托架滑槽（5）上，在防静电托架（4）的两侧设有托架动滑轮（10）。

【技术特征摘要】
1.一种带防静电托架的真空等离子腔体，其特征在于：包括真空箱体（1），在真空箱体（1）内部沿竖直方向设置若干层相互平行的电极板（3），相邻的两层电极板（3）的极性相反；在相邻的两层电极板之间设有防静电托架（4），防静电托架（4）安装在真空箱体（1）内两侧的托架滑槽（5）上，在防静电托架（4）的两侧设有托架动滑轮（10）。2.根据权利要求1所述的一种带防静电托架的真空等离子腔体，其特征在于：所述防静电托架（4）包括金属框架（7），在金属框架（7）的两侧包裹有防静电绝缘块（8）。3.根据权利要求1所述的一种带防静电托架的真空等离子腔体，其特征在于：在防静电托架（4）的下方还设有限位定滑轮（6）和托架限位块（11）。4.根据权利要求1所述的一种带防静电托架的真空等离子腔体，其特征在于：在托架滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭峰，国际瑞，刘善石，牛峰，
申请(专利权)人：昆山普乐斯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32