一种用于化学机械抛光的二氧化铈细颗粒浓缩物及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种用于化学机械抛光的二氧化铈细颗粒浓缩物及其制备方法。该方法包括将含ｉ）水、ｉｉ）水溶性铈盐化合物水溶液和ｉｉｉ）氨或铵盐的反应混合物在２５０－７００℃的反应温度、１８０－５５０巴的反应压力下，在连续反应器中反应０．０１秒到１０分钟，得到含二氧化铈细颗粒的溶液，其中，铈盐化合物在反应混合物中的含量为０．０１－２０重量％；并且在装有孔径为０．０１－１０微米的过滤器的浓缩器中将所述含二氧化铈细颗粒的溶液浓缩。该浓缩物的优点在于，通过稀释和添加添加剂工艺，易于得到化学机械抛光浆料和分散液。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于一种用于化学机械抛光(CMP)的二氧化铈细颗粒浓缩物及其制备方法。更进一步是关于这样，该方法是将水溶性铈盐化合物的水溶液与氨或者铵盐在超临界水状态或近似超临界水状态下连续反应，并将反应产物浓缩。得到的浓缩物可以用作半导体平面化所需的CMP浆料，以及光学玻璃品的研磨材料。此外，该浓缩物还可以应用于固体氧化物燃料电池、涂料领域和铈基催化剂领域。
技术介绍
通常，制备相对高纯度的二氧化铈细颗粒浓缩物的方法包括提供相对高纯度的细小、干燥的二氧化铈颗粒，并将所述颗粒高浓度地分散在介质如水中，或者在介质如水中直接合成相对高浓度的二氧化铈细颗粒浓缩物。制备二氧化铈细颗粒的工艺可依据颗粒形成时的物相分为气相法、液相法和固相法。气相法是指先将铈金属或铈金属前体气化，然后与氧气等反应。根据气化方式和反应方式，气相法可分为火焰煅烧热分解法、激光气化法、等离子气化法和喷雾热分解法。虽然气相法具有生产过程简单和产品颗粒度均匀的优点，但是气相法的局限性在于能耗高、设备成本高、生产能力低。因此，采用气相法制备细二氧化铈颗粒生产成本偏高。作为固相法中的典型方法的煅烧法是制备金属氧化物颗粒的常规方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二氧化铈细颗粒浓缩物的制备方法，该方法包括以下步骤：ａ）将含有ｉ）水、ｉｉ）水溶性铈盐化合物水溶液和ｉｉｉ）氨或铵盐的反应物混合物在连续式反应器中，在２５０－７００℃的反应温度、１８０－５５０巴的反应压力下反应０．０１秒到１０分 钟，得到含二氧化铈细颗粒的溶液，所述铈盐化合物在反应物混合物中的含量为０．０１－２０重量％；并且ｂ）将所述含二氧化铈细颗粒的溶液在浓缩器中浓缩，所述浓缩器装有孔径为０．１０－１０微米的过滤器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴世雄，明岏在，白珍洙，郑畅模，宋圭镐，
申请(专利权)人：韩华石油化学株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]