阵列基板、制作方法、触控显示面板及触控显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种阵列基板、制作方法、触控显示面板及触控显示装置，制作方法包括在基板上形成薄膜晶体管的栅极；形成覆盖栅极的第一绝缘层；形成薄膜晶体管的有源层以及压力传感器的感应电阻，二者同层制作；形成第一电极层，第一电极层覆盖感应电阻；形成薄膜晶体管的源极和漏极；刻蚀与源极和漏极未交叠部分的第一掺杂层，第一电极层仍覆盖感应电阻；形成覆盖源极和漏极的第二绝缘层；刻蚀与感应电阻交叠部分的第二绝缘层，以露出覆盖感应电阻的第一电极层；形成第二电极层，刻蚀与感应电阻交叠部分的第一电极层和第二电极层，露出感应电阻。通过本发明专利技术的技术方案简化了触控显示面板的制作工艺，降低了触控显示面板的制作成本。

Array substrate, manufacturing method, touch control display panel and touch display device

The invention discloses an array substrate, manufacturing method, touch panel and touch display device, manufacturing method of thin film transistor includes a gate formed on the substrate; forming a first insulating layer covers the gate electrode; forming a thin film transistor active layer and a pressure sensor sensing resistor, with the two layer; a first electrode layer is formed. The first electrode layer covering the sensing resistor; forming a thin film transistor source and drain and source and drain; etching the first doped layer very not overlapped portion of the first electrode layer is formed covering the sensing resistor; covering the source and drain of the second insulating layer; and etching the sensing resistor overlapping the second insulating layer, to expose the first electrode layer covering the induction resistance; forming a second electrode layer, etching and induction resistance overlapping portions of the first and second electrode layers, a sense of Strain resistance. Through the technical scheme of the invention, the manufacturing process of the touch control display panel is simplified, and the manufacturing cost of the touch control display panel is reduced.

【技术实现步骤摘要】
阵列基板、制作方法、触控显示面板及触控显示装置
本专利技术实施例涉及显示
，尤其涉及一种阵列基板、制作方法、触控显示面板及触控显示装置。
技术介绍
目前，带有触控功能的显示面板作为一种信息输入工具被广泛应用于各种电子设备，例如，公共场所大厅的信息查询机，用户在日常生活工作中使用的电脑、手机等。这样，用户只需用手指触摸触控显示屏上的标识就能够实现对该电子设备进行操作，摆脱了用户对其它输入设备，例如键盘和鼠标等的依赖，使人机交互更为直接简便。为了更好地满足用户需求，通常在触控显示屏中设置有用于检测用户在触摸触控显示屏过程中触控压力的压力传感器，压力传感器既能采集触控位置信息，也能够采集触控压力的大小，丰富了触控显示技术的应用范围。阵列基板中一般包括多个薄膜晶体管，每个薄膜晶体管包括栅极、有源层和源漏极，为了简化集成有压力传感器的显示面板的制作工艺，一般将压力传感器中的感应电阻与薄膜晶体管的有源层同层制作，且压力传感器中的感应电阻与薄膜晶体管的有源层均包括本征层和重掺杂层。在阵列基板中薄膜晶体管的制作过程中，形成图案化的源漏极后，为防止有源层紧邻源漏极的重掺杂层导致源极和漏极之间短路，需要对有源层的重掺杂层未与源漏极交叠的部分进行沟刻，以刻蚀掉源极与漏极之间对应有源层的导电沟道。但是在该刻蚀过程中，如果不对压力传感器上的重掺杂层进行刻蚀阻挡，就会导致在刻蚀导电沟道的过程中，将压力传感器中的重掺杂层刻蚀掉，使得压力传感器无法正常工作，即显示面板无法进行压力感测。为了保证在刻蚀导电沟道的过程中保留压力传感器中的重掺杂层，势必要添加一道掩膜工序，这样又使得显示面板的制作工序繁琐，增加了显示面板的制作成本。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种阵列基板、制作方法、触控显示面板及触控显示装置，相对于现有技术，利用第一电极层省掉了显示面板制作时的一道掩膜工艺，在保证显示面板中的压力传感器能够正常工作的同时，简化了触控显示面板的制作工艺，降低了触控显示面板的制作成本。第一方面，本专利技术实施例提供了一种阵列基板的制作方法，包括：提供一基板；在所述基板上形成薄膜晶体管的栅极；形成覆盖所述栅极的第一绝缘层；形成所述薄膜晶体管的有源层以及压力传感器的感应电阻，所述感应电阻和所述有源层同层制作；沿远离所述基板的方向，所述有源层包括第一掺杂层和第一本征层，所述感应电阻包括第二掺杂层和第二本征层；所述第一掺杂层和所述第二掺杂层同层制作，所述第一本征层和所述第二本征层同层制作；形成第一电极层，所述第一电极层覆盖所述感应电阻；形成所述薄膜晶体管的源极和漏极；刻蚀与所述源极和漏极未交叠部分的所述第一掺杂层，且所述第一电极层仍覆盖所述感应电阻；形成覆盖所述源极和漏极的第二绝缘层；刻蚀与所述感应电阻交叠部分的所述第二绝缘层，以露出覆盖所述感应电阻的第一电极层；形成第二电极层，刻蚀与所述感应电阻交叠部分的所述第一电极层和所述第二电极层，露出所述感应电阻。第二方面，本专利技术实施例还提供了一种阵列基板，包括：基板；位于所述基板上的多个薄膜晶体管；沿远离所述基板的方向，每个所述薄膜晶体管包括栅极、第一绝缘层、有源层和同层制作的源极和漏极；覆盖所述源极和漏极的第二绝缘层；位于所述基板上的多个压力传感器，每个压力传感器包括一感应电阻；所述感应电阻和所述有源层同层制作；沿远离所述基板的方向，所述有源层包括第一掺杂层和第一本征层，所述感应电阻包括第二掺杂层和第二本征层；所述第一掺杂层和所述第二掺杂层位于同一层，所述第一本征层和所述第二本征层位于同一层；位于所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间的第一电极层；位于所述第二绝缘层远离所述基板一侧的第二电极层；所述第二绝缘层具有一个通孔，所述感应电阻在所述基板上的垂直投影位于所述通孔在所述基板上的垂直投影内。第三方面，本专利技术实施例还提供了一种触控显示面板，包括第二方面所述的阵列基板。第四方面，本专利技术实施例还提供了一种触控显示装置，包括第三方面所述的触控显示面板。本专利技术实施例提供了一种阵列基板、制作方法、触控显示面板及触控显示装置，设置压力传感器的感应电阻与薄膜晶体管的有源层同层制作，通过在阵列基板的制作过程中，在刻蚀与源极和漏极未交叠部分的第一掺杂层之前，使形成的第一电极层覆盖压力传感器的感应电阻，这样在刻蚀与源极和漏极未交叠部分的第一掺杂层时，第一电极层起到了对压力传感器的感应电阻中的第一掺杂层的刻蚀阻挡作用，且在刻蚀第二电极层时，可以刻蚀掉覆盖压力传感器的感应电阻的第一电极层，在不另外使用掩膜工序的前提下，防止了压力传感器的感应电阻中的第二掺杂层被刻蚀，相对于现有技术，利用第一电极层省掉了显示面板制作时的一道掩膜工艺，在保证显示面板中的压力传感器能够正常工作的同时，简化了触控显示面板的制作工艺，降低了触控显示面板的制作成本。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本专利技术实施例提供的一种阵列基板的制作方法的流程示意图；图2a-图2j为图1中各步骤对应阵列基板的剖面结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的另一种阵列基板的剖面结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的一种阵列基板的俯视结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种压力传感器的感应电阻的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的另一种压力传感器的感应电阻的结构示意图；图7a-图7f为图1中各步骤对应阵列基板的感应电阻的俯视结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的另一种压力传感器的感应电阻的结构示意图；图9为本专利技术实施例提供的另一种压力传感器的感应电阻的结构示意图；图10为本专利技术实施例提供的另一种压力传感器的感应电阻的结构示意图；图11为本专利技术实施例提供的一种阵列基板的俯视结构示意图；图12为本专利技术实施例提供的一种触控显示面板的结构示意图；图13为本专利技术实施例提供的一种触控显示装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。贯穿本说明书中，相同或相似的附图标号代表相同或相似的结构、元件或流程。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。本专利技术实施例提供了一种阵列基板的制作方法，包括提供一基板；在基板上形成薄膜晶体管的栅极；形成覆盖栅极的第一绝缘层；形成薄膜晶体管的有源层以及压力传感器的感应电阻，感应电阻和有源层同层制作；沿远离基板的方向，有源层包括第一掺杂层和第一本征层，感应电阻包括第二掺杂层和第二本征层；第一掺杂层和第二掺杂层同层制作，第一本征层和第二本征层同层制作；形成第一电极层，第一电极层覆盖感应电阻；形成薄膜晶体管的源极和漏极；刻蚀与源极和漏极未交叠部分的第一掺杂层，且第一电极层仍覆盖感应电阻；形成覆盖源极和漏极的第二绝缘层；刻蚀与感应电阻交叠部分的第二绝缘层，以露出覆盖感应电阻的第一电极层；形成第二电极层，刻蚀与感应电阻交叠部分的第一电极层和第二电极层，露出感应电阻。将压力传感器中的感应电阻与薄膜晶体管的有源层同层制作时，由于在阵列基板中薄膜晶体管的制作过程中，形成图案化的源本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板；在所述基板上形成薄膜晶体管的栅极；形成覆盖所述栅极的第一绝缘层；形成所述薄膜晶体管的有源层以及压力传感器的感应电阻，所述感应电阻和所述有源层同层制作；沿远离所述基板的方向，所述有源层包括第一掺杂层和第一本征层，所述感应电阻包括第二掺杂层和第二本征层；所述第一掺杂层和所述第二掺杂层同层制作，所述第一本征层和所述第二本征层同层制作；形成第一电极层，所述第一电极层覆盖所述感应电阻；形成所述薄膜晶体管的源极和漏极；刻蚀与所述源极和漏极未交叠部分的所述第一掺杂层，且所述第一电极层仍覆盖所述感应电阻；形成覆盖所述源极和漏极的第二绝缘层；刻蚀与所述感应电阻交叠部分的所述第二绝缘层，以露出覆盖所述感应电阻的第一电极层；形成第二电极层，刻蚀与所述感应电阻交叠部分的所述第一电极层和所述第二电极层，露出所述感应电阻。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板；在所述基板上形成薄膜晶体管的栅极；形成覆盖所述栅极的第一绝缘层；形成所述薄膜晶体管的有源层以及压力传感器的感应电阻，所述感应电阻和所述有源层同层制作；沿远离所述基板的方向，所述有源层包括第一掺杂层和第一本征层，所述感应电阻包括第二掺杂层和第二本征层；所述第一掺杂层和所述第二掺杂层同层制作，所述第一本征层和所述第二本征层同层制作；形成第一电极层，所述第一电极层覆盖所述感应电阻；形成所述薄膜晶体管的源极和漏极；刻蚀与所述源极和漏极未交叠部分的所述第一掺杂层，且所述第一电极层仍覆盖所述感应电阻；形成覆盖所述源极和漏极的第二绝缘层；刻蚀与所述感应电阻交叠部分的所述第二绝缘层，以露出覆盖所述感应电阻的第一电极层；形成第二电极层，刻蚀与所述感应电阻交叠部分的所述第一电极层和所述第二电极层，露出所述感应电阻。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，采用干刻工艺刻蚀与所述源极和漏极未交叠部分的所述第一掺杂层。3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，采用湿刻工艺刻蚀与所述感应电阻交叠部分的所述第一电极层和所述第二电极层。4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第二绝缘层刻蚀掉的部分在所述基板上的垂直投影覆盖所述感应电阻在所述基板上的垂直投影。5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，构成所述感应电阻和所述薄膜晶体管的有源层的材料包括非晶硅材料。6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一掺杂层和所述第二掺杂层均为N型半导体层。7.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述基板包括显示区和围绕显示区的周边电路区；所述阵列基板包括多个薄膜晶体管和至少一个压力传感器；所述薄膜晶体管位于所述显示区或所述周边电路区；所述压力传感器位于所述周边电路区。8.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一电极层为像素电极层，包括多个第一电极，每个所述第一电极与对应的所述薄膜晶体管的漏极直接电连接。9.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第二电极层为像素电极层，包括多个第二电极，每个所述第二电极通过贯穿所述第二绝缘层的过孔与对应的所述薄膜晶体管的漏极电连接。10.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述感应电阻包括：第一感应子电阻、第二感应子电阻、第三感应子电阻和第四子感应电阻；所述第一感应子电阻的第一端以及所述第四感应子电阻的第一端与第一电源输入端电连接，所述第一感应子电阻的第二端以及所述第二感应子电阻的第一端与第一感应信号测量端电连接，所述第四感应子电阻的第二端以及所述第三感应子电阻的第一端与第二感应信号测量端电连接，所述第二感应子电阻的第二端以及所述第三感应子电阻的第二端与第二电源输入端电连接。11.根据权利要求10所述的制作方法，其特征在于，所述第一感应子电阻由第一端到第二端的延伸长度在第一延伸方向上的分量大...

【专利技术属性】
技术研发人员：敦栋梁，夏志强，刘金娥，秦锋，
申请(专利权)人：上海中航光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31