用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多层，并且能够调节相邻两层匀流隔热板上通气孔错位情况的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置。该匀流隔热装置，包括至少两层匀流隔热板，所述匀流隔热板上设置有通气孔；所述匀流隔热板下表面设置有环形凸台，所述匀流隔热板由上之下依次分布；所述相邻两层匀流隔热板中上层环形凸台与下层匀流隔热板的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板中最下层的匀流隔热板的环形凸台底部设置有凸缘；所述最下层的匀流隔热板上方的各个匀流隔热板的环形凸台上均设置有延伸到凸缘的转动板；所述凸缘上设置有锁紧转动板的锁紧装置。采用该匀流隔热装置，能够使得气体能够充分的均匀的分布在工艺腔内，提高产品品质。

Uniform flow heat insulation device for graphene film growth equipment

The utility model discloses a multi-layer heat insulation device for multilayer graphene film growth equipment, which can adjust the gap of the air holes on the adjacent two layers of uniform flow heat insulation plates. The uniform flow heat insulation device, which comprises at least two layers of uniform flow insulation board, the uniform insulation board is provided with a through hole; the uniform flow insulation board is arranged on the lower surface of the annular lug from the top plate of the heat flow are distributed evenly; the two adjacent layers of uniform flow in the upper insulating plate the annular lug boss and the lower uniform insulation outer circumferential surface of the rotating; the uniform flow insulation board bottom insulation plate in a uniform flow annular lug is arranged at the bottom flange; the annular lug boss all the uniform bottom plate flow uniform flow heat insulation plate is arranged on the extension the rotating plate flange; the flange is provided with a locking device for locking and rotating plate. Using the uniform flow heat insulation device, the gas can be evenly distributed in the process cavity, and the product quality can be improved.

【技术实现步骤摘要】
用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置
本技术涉及一种匀流隔热装置，尤其是一种用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置。
技术介绍
众所周知的：石墨烯薄膜的生长需要在保护气体和相应工艺气体的环境中进行。保护气体以及工艺气体的分布能够直接影响到石墨烯薄膜生长的品质。因此需要在石墨烯生长工艺腔内通入均匀的气流。常见的使得气流均匀的装置有匀流隔热板，现有匀流隔热板均为在隔热板上设置均匀分布的通气孔，从而实现对经过隔热板气流的均匀分布。然而通过单层的匀流隔热板并不能使得气流均匀的进入到工艺腔内，对于卷对卷特殊生长工艺，石墨烯生长基料需要从匀流隔热板的中心位置穿过。因此，现有的匀流隔热板无法满足石墨烯薄膜生长的要求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种多层，并且能够调节相邻两层匀流隔热板上通气孔错位情况，从而使得气体能够充分的均匀的分布在工艺腔内的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术提供了一种用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，包括至少两层匀流隔热板，所述匀流隔热板上设置有通气孔；所述匀流隔热板下表面设置有环形凸台，所述环形凸台具有的内圈与匀流隔热板具有的外圆周面匹配；所述匀流隔热板由上至下依次分布；所述相邻两层匀流隔热板中上层匀流隔热板上的环形凸台与下层匀流隔热板的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板中最下层的匀流隔热板的环形凸台底部设置有凸缘；所述最下层的匀流隔热板上方的各个匀流隔热板的环形凸台上均设置有延伸到凸缘的转动板；所述凸缘上设置有锁紧转动板的锁紧装置。进一步的，所述匀流隔热板上设置有中心通孔，且所有匀流隔热板的中心通孔的中心线共线。优选的，所述凸缘上设置有环形凹槽，所述转动板的下端延伸到环形凹槽内，所述凸缘上设置有由凸缘外圆周面延伸到环形凹槽内的弧形滑槽；所述锁紧装置采用锁紧螺栓，所述锁紧螺栓具有的螺纹端穿过环形凹槽且与转动板螺纹连接。进一步的，所述中心通孔位于匀流隔热板中心位置五分之一的面积区域内。进一步的，每层匀流隔热板上的通气孔，由最下层匀流隔热板到最顶层的匀流隔热板依次减小。进一步的，所述匀流隔热板的半径为R，相邻两层匀流隔热板之间的间距为0.5R至2R。优选的，所述转动板采用铝合金制造。优选的，所述环形凸台采用隔热材料制造。本技术的有益效果是：本技术所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置由于设置有至少两层匀流隔热板，同时两层匀流隔热板之间可以相对转动，因此可以通过调节相邻两层匀流隔热板上通气孔的错位角度，使得通入工艺腔内的气体均匀分布；从而保证石墨烯薄膜的生产品质，在减少工艺气体的用量的同时提高产品质量。同时由于匀流隔热板的外围设置有环形凸台，因此能够保证所有气体均经过该匀流隔热板均匀分散到工艺腔中。防止气体遇阻后再向双边扩散，进而沿工艺腔管壁与匀流隔热板之间的间隙流动，导致气体分散不均匀。附图说明图1是本技术实施例中用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置的爆炸示意图；图2是本技术实施例中用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置的立体图；图3是本技术实施例中用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置的主视图；图4是本技术实施例中用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置的俯视图；图5是图4中的A-A剖视图；图中标示：1-匀流隔热板，2-环形凸台，3-通气孔，4-中心通孔。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。如图1至图5所示，本技术所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，包括至少两层圆形的匀流隔热板1，所述匀流隔热板1上设置有通气孔3；所述匀流隔热板1下表面设置有环形凸台2，所述环形凸台2具有的内圈与匀流隔热板1具有外圆周面匹配；所述匀流隔热板1由上至下依次分布；所述相邻两层匀流隔热板1中上层匀流隔热板1上的环形凸台2与下层匀流隔热板1的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板1中最下层的匀流隔热板1的环形凸台2底部设置有凸缘5；所述最下层的匀流隔热板1上方的各个匀流隔热板1的环形凸台2上均设置延伸到凸缘5的有转动板7；所述凸缘5上设置有锁紧转动板7的锁紧装置9。在使用的过程中：首先将匀流隔热装置安装在工艺腔的气体入口处，然后将气体从入口处通入最下层的匀流隔热板1的环形凸台2的内腔内，气体经过最下层的匀流隔热板1的分流匀流后进入到最下层的匀流隔热板1上一层的匀流隔热板1的环形凸台2的再经过上层匀流隔热板1的匀流，以此类推，最后经过最上层的匀流隔热板1分流，从而使得气流由整个匀流板的端面均匀的通入到工艺腔内；实现气体在工艺腔内的匀流。在通入气体的过程中可以通过调节相邻两层匀流板1上通气孔之间的错位角度，从而提高匀流效果，使得从每个通气孔经过的气体气流均匀。综上所述，本技术所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置由于设置有至少两层匀流隔热板1，同时两层匀流隔热板1之间可以相对转动，因此可以通过调节相邻两层匀流隔热板1上通气孔3的错位角度，使得通入工艺腔内的气体均匀分布；从而保证石墨烯薄膜的生产品质，在减少工艺气体的用量的同时提高产品质量。同时由于匀流隔热板1的外围设置有环形凸台2，因此能够保证所有气体均经过该匀流隔热板均匀分散到工艺腔中。防止气体遇阻后再向双边扩散，进而沿工艺腔管壁与匀流隔热板1之间的间隙流动，导致气体分散不均匀。所述匀流隔热板1上可以设置中心通孔4，也可以不设置中心通孔4，为了使得匀流隔热装置适应石墨烯卷对卷生长时，石墨烯生长基穿过匀流隔热板1进行石墨烯生长，优选的，所述匀流隔热板1上设置有中心通孔4，且所有匀流隔热板1的中心通孔4的中心线共线。所述锁紧装置的主要作用是当均匀隔热板1转动到相应角度后锁紧转动板7，从而固定匀流隔热板1。为了简化结构，降低制造成本，优选的，所述凸缘5上设置有环形凹槽6，所述转动板7的下端延伸到环形凹槽6内，所述凸缘5上设置有由凸缘5外圆周面延伸到环形凹槽6内的弧形滑槽8；所述锁紧装置9采用锁紧螺栓，所述锁紧螺栓具有的螺纹端穿过环形凹槽6且与转动板7螺纹连接。为了避免中心通孔4过大，气流直接从中心通孔4流过，从而造成匀流效果较差，进一步的，所述中心通孔4位于匀流隔热板1中心位置五分之一的面积区域内。每层匀流隔热板1上的通气孔3的大小可以根据相应的通气情况进行设置，为了使得气体通过匀流隔热装置后，能够充分的均匀的分布在工艺腔内，提高匀流效果，进一步的，每层匀流隔热板1上的通气孔3，由最下层匀流隔热板1到最顶层的匀流隔热板1依次减小。为了减小匀流隔热板1在匀流过程中对气流的阻力，进一步的，所述匀流隔热板1的半径为R，相邻两层匀流隔热板1之间的间距为0.5R至2R。所述转动板7可以采用多种材质制造，如石墨；为了保证刚度，同时减轻整个设备的重量，便于安装维护以及更换，具体的，所述转动板7采用铝合金制造。为了避免环形凸台2导热，造成工艺腔内的热量流失，具体的，所述环形凸台2采用隔热材料制造。本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：包括至少两层匀流隔热板(1)，所述匀流隔热板(1)上设置有通气孔(3)；所述匀流隔热板(1)下表面设置有环形凸台(2)，所述环形凸台(2)具有的内圈与匀流隔热板(1)具有的外圆周面匹配；所述匀流隔热板(1)由上至下依次分布；所述相邻两层匀流隔热板(1)中上层匀流隔热板(1)上的环形凸台(2)与下层匀流隔热板(1)的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板(1)中最下层的匀流隔热板(1)的环形凸台(2)底部设置有凸缘(5)；所述最下层的匀流隔热板(1)上方的各个匀流隔热板(1)的环形凸台(2)上均设置有延伸到凸缘(5)的转动板(7)；所述凸缘(5)上设置有锁紧转动板(7)的锁紧装置(9)。

【技术特征摘要】
1.用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：包括至少两层匀流隔热板(1)，所述匀流隔热板(1)上设置有通气孔(3)；所述匀流隔热板(1)下表面设置有环形凸台(2)，所述环形凸台(2)具有的内圈与匀流隔热板(1)具有的外圆周面匹配；所述匀流隔热板(1)由上至下依次分布；所述相邻两层匀流隔热板(1)中上层匀流隔热板(1)上的环形凸台(2)与下层匀流隔热板(1)的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板(1)中最下层的匀流隔热板(1)的环形凸台(2)底部设置有凸缘(5)；所述最下层的匀流隔热板(1)上方的各个匀流隔热板(1)的环形凸台(2)上均设置有延伸到凸缘(5)的转动板(7)；所述凸缘(5)上设置有锁紧转动板(7)的锁紧装置(9)。2.如权利要求1所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：所述匀流隔热板(1)上设置有中心通孔(4)，且所有匀流隔热板(1)的中心通孔(4)的中心线共线。3.如权利要求1所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：所述凸缘(5)上设置有环形凹槽(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李占成，史浩飞，伍俊，李昕，黄德萍，段银武，张永娜，余杰，
申请(专利权)人：重庆墨希科技有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆,50