The embodiment of the utility model provides a thin film transistor, an array substrate and a display device, which relates to the field of semiconductor technology, and can reduce the probability of defects in the semiconductor active layer in the process of making TFT. The thin film transistor comprises a bottom grid and a bottom gate insulating layer, a semiconductor active layer and a first insulating layer which are arranged on the bottom gate in turn. The thin film transistor also includes a source and a drain electrode disposed from the bottom gate side of the first insulating layer. The first insulating layer is provided with a through hole at the position of the corresponding source and drain. An ohmic contact layer covering the semiconductor active layer is arranged on the semiconductor active layer at the position corresponding to the through hole. The source and drain contacts with the ohmic contact layer respectively through different vias. The thin film transistor is used to switch or drive the load in the circuit.
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置
本技术涉及半导体
,尤其涉及一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置。
技术介绍
液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay,LCD)或者有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode,OLED)显示装置的阵列基板上设置有多个薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)用于对上述显示装置的亚像素进行驱动。现有技术在TFT的制作过程中,受到制作工艺影响,会使得TFT的半导体有源层产生较多的缺陷,从而导致TFT在导通时,沟道中产生的载流子在传输过程中容易被上述缺陷捕获,从而降低了载流子迁移率,对TFT的性能造成影响。
技术实现思路
本技术的实施例提供一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置,在TFT的制作过程中,能够减小半导体有源层中缺陷产生的几率。为达到上述目的,本技术的实施例采用如下技术方案:本技术实施例的一方面,提供一种薄膜晶体管,包括底栅极,以及依次设置于所述底栅极上的底栅绝缘层、半导体有源层、第一绝缘层;所述薄膜晶体管还包括设置于所述第一绝缘层背离所述底栅极一侧的源极和漏极;所述第一绝缘层在对应所述源极和所述漏极的位置分别设置有过孔;所述半导体有源层上在对应上述过孔的位置设置有覆盖所述半导体有源层的欧姆接触层;所述源极、所述漏极分别通过不同的过孔与所述欧姆接触层相接触。优选的,还包括位于所述第一绝缘层背离所述底栅极一侧的顶栅极;所述第一绝缘层为顶栅绝缘层。优选的,所述顶栅极与所述源极、漏极同层同材料。优选的,所述底栅极与所述顶栅极非电连接。优选的,构成所述半导体有源层的材料包括氢化非 ...
【技术保护点】
一种薄膜晶体管,其特征在于,包括底栅极,以及依次设置于所述底栅极上的底栅绝缘层、半导体有源层、第一绝缘层;所述薄膜晶体管还包括设置于所述第一绝缘层背离所述底栅极一侧的源极和漏极;所述第一绝缘层在对应所述源极和所述漏极的位置分别设置有过孔;所述半导体有源层上在对应上述过孔的位置设置有覆盖所述半导体有源层的欧姆接触层;所述源极、所述漏极分别通过不同的过孔与所述欧姆接触层相接触。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶体管,其特征在于,包括底栅极,以及依次设置于所述底栅极上的底栅绝缘层、半导体有源层、第一绝缘层;所述薄膜晶体管还包括设置于所述第一绝缘层背离所述底栅极一侧的源极和漏极;所述第一绝缘层在对应所述源极和所述漏极的位置分别设置有过孔;所述半导体有源层上在对应上述过孔的位置设置有覆盖所述半导体有源层的欧姆接触层;所述源极、所述漏极分别通过不同的过孔与所述欧姆接触层相接触。2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管,其特征在于,还包括位于所述第一绝缘层背离所述底栅极一侧的顶栅极;所述第一绝缘层为顶栅绝缘层。3.根据权利要求2所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述顶栅极与所述源极、漏...
【专利技术属性】
技术研发人员:贵炳强,曲连杰,齐永莲,赵合彬,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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