干燥及预钝化装置及方法制造方法及图纸

一种干燥及预钝化装置及方法，其中装置包括气室及分别与气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中：气室用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；抽真空单元用于吸入/排出空气，使气室处于真空/常压状态；钝化气体控制单元用于在气室处于真空状态时，向气室内注入钝化气体以对零部件进行预钝化，还用于在预钝化完成后，气室处于常压状态时将钝化气体排出；总控制单元，在气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，用于根据气室内的温度信息，向气室提供热量。由于在真空条件下同时进行干燥和预钝化处理，使零部件表面生成稳定保护层，防止在后续加工和使用过程中被碳、氢、氧及其他元素污染，从而提高零部件的抗腐蚀能力和可靠性。

Drying and pre passivation device and method

A dry and prepassive device and method, wherein the device comprises a gas chamber and the control unit are respectively connected with the gas chamber, the vacuum pumping unit and passivation gas control unit, the air chamber used for drying and pre passivation parts; the vacuum pumping unit for suction / discharge air, the gas chamber in vacuum / atmospheric pressure; passivation gas control unit for a vacuum in the chamber, the gas injection to indoor passivation gas pre passivation on components, is also used in the pre passivation is completed, the gas chamber in atmospheric pressure gas discharge passivation; total control unit, gas injection in indoor gas pre passivation of passivation parts, according to the temperature information of the indoor air, to provide heat to the gas chamber. At the same time as in the condition of vacuum drying and pre passivation to generate stable component surface protective layer to prevent carbon hydrogen and oxygen and other pollution elements in the subsequent processing and use of the process, so as to improve the corrosion resistance and reliability of parts.

【技术实现步骤摘要】
干燥及预钝化装置及方法
本专利技术属于零部件处理领域，更具体地涉及一种干燥及预钝化装置及方法。
技术介绍
准分子激光器是紫外波段重要的激光器件，依靠受激混合气体形成的分子向基态跃迁产生激光，受激混合气体一般是由惰性气体和卤素气体组成，如氩气(Ar)和氟气(F2)、氪气(Kr)和氟气、氙气(Xe)和氯气(Cl2)等。准分子激光器的放电腔为气体放电提供了空间，放电腔由多种零部件组成的，如电极、腔壁、风机、导流结构、散热器等，包含了金属、陶瓷、橡胶等多种材料，而氟、氯等卤素介质对大多数材料都具有极强的腐蚀性，会使得放电腔内的零部件在使用过程中消耗卤素介质发生腐蚀，生成有害产物，从而降低激光器的输出能量及稳定性，限制准分子激光器的使用性能及应用范围。为了减少有害成分的引入、降低准分子激光器运行过程中腐蚀反应的程度，放电腔中各零部件在装配前需要进行超声波清洗、干燥处理，装配后需要进行钝化处理。超声波清洗处理是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进/流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离，达到去除零部件表面的附着物和碳氧化反应层的目的；干燥处理是为了彻底去除零部件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干燥及预钝化装置，包括气室及分别与所述气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中：气室，用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；抽真空单元，用于吸入/排出空气，使所述气室处于真空/常压状态；钝化气体控制单元，用于在所述气室处于真空状态时，向所述气室内注入钝化气体以对零部件进行预钝化，还用于在预钝化完成后，所述气室处于常压状态时将所述钝化气体排出；总控制单元，在所述气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，用于根据所述气室内的温度信息，向所述气室提供热量。

【技术特征摘要】
1.一种干燥及预钝化装置，包括气室及分别与所述气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中：气室，用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；抽真空单元，用于吸入/排出空气，使所述气室处于真空/常压状态；钝化气体控制单元，用于在所述气室处于真空状态时，向所述气室内注入钝化气体以对零部件进行预钝化，还用于在预钝化完成后，所述气室处于常压状态时将所述钝化气体排出；总控制单元，在所述气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，用于根据所述气室内的温度信息，向所述气室提供热量。2.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述干燥及预钝化装置用于干燥及预钝化放电腔中的零部件。3.如权利要求2所述的干燥及预钝化装置，其中，所述钝化气体为惰性气体和卤素气体的混合气体，以使所述放电腔中的零部件表面形成卤化反应层。4.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述总控制单元包括温度传感器、信号处理及控制器件及加热元件，其中：温度传感器，用于检测所述气室内的温度信息，并将检测得到的所述温度信息传输至信号处理及控制器件；信号处理及控制器件，与所述加热元件连接，用于根据所述温度信息，向所述加热元件发送控制信号以向所述气室提供热量，以使所述气室内的温度恒定。5.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述抽真空单元包括：抽真空器件，用于吸入/排出空气，以使所述气室处于真空/常压状态；真空检测器件，用于实时监测所述气室的真空度；所述抽真空器件包括真空泵或真空阀。6.如权利要求1所述的干燥及预钝化装置，其中，所述钝化气体控制单元包括：进气阀，用于在所述气室...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭馨，丁金滨，刘斌，张立佳，周翔，王宇，赵江山，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：发明
国别省市：北京,11