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一种干燥及预钝化装置及方法，其中装置包括气室及分别与气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中：气室用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；抽真空单元用于吸入/排出空气，使气室处于真空/常压状态；钝化气体控制单元用于在气室处于真空状...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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