磁控管溅射装置用旋转式阴极单元制造方法及图纸
Rotary cathode unit for magnetron sputtering device
The present invention provides a rotary cathode unit (RC) for magnetron sputtering devices that uniformly erode targets on the full length of the bus direction of the target (Tg). Set in a cylindrical target, leakage from the target surface and the vertical component of the magnetic field through the magnetic field of the zero position along the target line bus extension and closed into a racetrack shaped magnet unit (Mu) is divided into: the first part of the corner in the generatrix direction are formed at both ends of the runway target (5a) in the first part, from the direction of the bus bar target within the first part are respectively disposed adjacent to the second part (5b), and in the second part between the third part (5C). A moving device (6) which is independent of the first part to the third part and is close to the target surface and moves away from the ground is accommodated in the inner space of the target.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁控管溅射装置用旋转式阴极单元
本专利技术涉及一种使用磁控管溅射装置的旋转式阴极单元。
技术介绍
这种旋转式阴极单元例如由专利文献1已知。该以往例的装置具有在真空室内与基板相对配置的圆筒状的靶、配置在靶的内部空间的磁铁单元、使冷媒在靶的内部空间循环的冷媒循环装置，以及旋转驱动靶的驱动装置。作为磁铁单元，使用的是设置有沿靶的母线延长配置在磁性材料制成的与靶的母线长度具有相同长度的轭的一面上的中央磁铁、沿该中央磁铁延长配置在中央磁铁两侧的周边磁铁，以及分别包住在中央磁铁两端并架设在周边磁铁彼此之间的拐角磁铁的磁铁单元。并且，改变中央磁铁和周边磁铁及拐角磁铁的基板侧的极性，在靶和基板之间产生从靶表面泄漏的磁场，且通过磁场的垂直分量为零的位置的线沿靶的母线延伸并封闭成跑道形。再有，在靶的内部空间中，设置可使磁铁单元相对于靶整体接近远离的移动装置。此处，如果在使用上述旋转式阴极单元旋转靶的同时溅射该靶的话，则沿跑道形的线产生等离子体，沿此等离子中的电子根据中央磁铁和周边磁铁及拐角磁铁的基板侧的极性作顺时针旋转或逆时针旋转运动。此时，在跑道的拐角部电子密度容易局部升高。这种情...
【技术保护点】
一种磁控管溅射装置用旋转式阴极单元，其具有圆筒状的靶、配置在该靶的内部空间并产生从靶表面泄漏的磁场且通过磁场的垂直分量为零的位置的线沿靶的母线延伸并封闭成跑道形的磁铁单元、使冷媒在靶的内部空间循环的冷媒循环装置、以及旋转驱动靶的驱动装置，所述磁控管溅射装置用旋转式阴极单元，其特征在于：磁铁单元分为在靶的母线方向两端分别形成跑道的拐角部的第一部分、从第一部分在靶的母线方向内向分别与第一部分相邻配置的第二部分、以及位于第二部分彼此之间的第三部分，使第一部分及第二部分独立并可相对于靶表面接近远离地进退的移动装置收纳在靶的内部空间中。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.24 JP 2015-0342061.一种磁控管溅射装置用旋转式阴极单元，其具有圆筒状的靶、配置在该靶的内部空间并产生从靶表面泄漏的磁场且通过磁场的垂直分量为零的位置的线沿靶的母线延伸并封闭成跑道形的磁铁单元、使冷媒在靶的内部空间循环的冷媒循环装置、以及旋转驱动靶的驱动装置，所述磁控管溅射装置用旋转式阴极单元，其特征在于：...
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