一种用于MPCVD设备的分子泵抽气模块制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于MPCVD设备的分子泵抽气模块，所述MPCVD设备包括设备主体、机械泵和水冷系统，分子泵抽气模块包括用于承载各个部件的箱体、分子泵、控制检测单元和平衡稳定装置，分子泵、控制检测单元和平衡稳定装置均安装在箱体内部，分子泵的进气口、出气口分别与设备主体出气口、机械泵的进气口相连接，分子泵冷却进水口、冷却出水口分别与水冷系统的出、进水口相连接，分子泵通过电路与控制检测单元相连接，省去了前级泵和冷却系统，模块整体尺寸大大减少；增加稳定装置，保证本实用新型专利技术可以在更多的工作场合工作；实现了对多台设备的共享，减少了生产成本；接口采用易安装的卡箍卡紧，避免了反复拆装过程中对设备的损害。

A molecular pumping module for MPCVD equipment

The utility model discloses a pumping module for molecular pump MPCVD equipment, the MPCVD equipment including equipment main body, the mechanical pump and cooling system, the molecular pump module includes a box body, molecular pump, control and balance detection unit bearing device of each component, molecular pump, control and balance detection unit the devices are installed in the box body, the molecular pump air inlet and the air outlet respectively with the device body outlet, the mechanical pump is connected with the air inlet of the cooling water inlet, cooling, molecular pump water outlet are respectively and water cooling system, water inlet is connected with the molecular pump is connected by a circuit and detection control unit, eliminating the forepump and the cooling system, the overall size of the module is greatly reduced; increase the stability of device, the utility model can ensure the work in the workplace more; the realization of the multi Taiwan The equipment sharing reduces the production cost; the interface is easy to clamp with the clamp, which avoids the damage to the equipment in the process of repeated disassembly and assembly.

【技术实现步骤摘要】
一种用于MPCVD设备的分子泵抽气模块
：本技术属于抽真空设备领域，特别是涉及一种用于MPCVD设备的抽真空分子泵模块。
技术介绍
：目前的MPCVD设备，设备上安装有包括分子泵的全套抽真空设备，但是在日常实验和制备金刚石薄膜的过程中，只有少数情况是需要用到分子泵的，而分子泵价格昂贵，如果将分子泵分离出来并进行模块化处理，那么即可以实现多台设备共享同一台分子泵，大大减小了生产成本。目前的市面上包括有专利技术专利的分子泵抽气机组或分子泵小车，由于为了适应多种抽气环境，在设备上往往加装了冷却系统、前级泵（如机械泵等设备），而在MPCVD设备中本身就带有这些设备，依靠MPCVD设备提供分子泵运行的一些必要条件，这将大大减小分子泵机组的复杂程度和尺寸。同时，分子泵在安装的过程中有水平度要求，而这些设计往往忽略了这一要求，在实际使用中，可能出现因为装置放置不平稳导致分子泵损坏的情况。除此之外，还可以防止分子泵在运行过程中由于碰撞或其他的原因导致的意外移动，从而保证了连接管道的安全性，避免了因为管路意外脱节或漏气而导致的安全隐患。
技术实现思路
：本技术所要解决的技术问题是：提取出MPCVD设备的分子泵并在模块中保证分子泵的正常运行。为了解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：一种用于MPCVD设备的分子泵抽气模块，所述MPCVD设备包括设备主体、机械泵和水冷系统，分子泵抽气模块包括用于承载各个部件的箱体、分子泵、控制检测单元和平衡稳定装置，所述分子泵、控制检测单元和平衡稳定装置均安装在箱体内部，所述分子泵包括进气口、出气口、冷却进水口和冷却出水口，所述分子泵的进气口、出气口分别与设备主体出气口、机械泵的进气口相连接，所述分子泵冷却进水口、冷却出水口分别与水冷系统的出、进水口相连接，所述分子泵通过电路与控制检测单元相连接，所述控制检测单元可以控制分子泵的运转以及实时监测分子泵的运转状态，所述平衡稳定装置由驱动电机连接伸缩杆组成，所述驱动电机可带动伸缩杆作伸缩运动。作为优选，所述分子泵上还设置有流量复合真空计，所述流量复合真空计与控制检测单元通过电路相连接。作为优选，所述平衡稳定装置的驱动电机与控制检测单元通过电路相连接。作为优选，平衡稳定装置在箱体内部四角对称设置有四个。作为优选，所述平衡稳定装置的伸缩杆底部设置有橡胶垫。作为优选，所述箱体底部四角安装有四个滑轮。作为优选，所述分子泵的进气口安装有防尘装置。作为优选，所述控制检测单元安装在箱体的上部。作为优选，所述分子泵的进气口与设备主体的出气口之间通过法兰连接。作为优选，所述分子泵进气口的气体通道上安装有真空插板阀，所述分子泵出气口的气体通道上安装有真空挡板阀。与现有技术相比，本技术的有益之处是：本分子泵模块结构简单方便，省去了前级泵和冷却系统，分子泵模块整体尺寸大大减少；同时，增加了稳定装置，保证本技术可以在更多的工作场合工作；实现了对多台设备的共享，减少了生产成本；接口采用易安装的卡箍卡紧，避免了反复拆装过程中对设备的损害。附图说明：下面结合附图对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图。图中：1、箱体；2、分子泵；3控制检测单元；4、平衡稳定装置；5、真空插板阀；6、真空挡板阀；7、滑轮。具体实施方式：下面结合附图及具体实施方式对本技术进行详细描述：如图1所示的一种用于MPCVD设备的分子泵抽气模块，所述MPCVD设备包括设备主体、机械泵和水冷系统，分子泵抽气模块包括用于承载各个部件的箱体1、分子泵2、控制检测单元3和平衡稳定装置4，所述分子泵2、控制检测单元3和平衡稳定装置4均安装在箱体1内部，所述分子泵2包括进气口、出气口、冷却进水口和冷却出水口，所述分子泵2的进气口、出气口分别与设备主体出气口、机械泵的进气口相连接，所述分子泵2冷却进水口、冷却出水口分别与水冷系统的出、进水口相连接，所述分子泵2通过电路与控制检测单元3相连接，所述控制检测单元3可以控制分子泵2的运转以及实时监测分子泵2的运转状态，所述平衡稳定装置4由驱动电机连接伸缩杆组成，所述驱动电机可带动伸缩杆作伸缩运动，使箱体稳定固定在地面上。所述分子泵2上还设置有流量复合真空计，所述流量复合真空计与控制检测单元通过电路相连接，进而实现对分子泵2流量真空度的监控。所述平衡稳定装置4的驱动电机与控制检测单元通过电路相连接，这样一来，可实现平衡稳定装置4的自动化控制。为了保证分子泵2工作时的稳定性，平衡稳定装置4在箱体1内部四角对称设置有四个，所述平衡稳定装置4的伸缩杆底部设置有橡胶垫。所述箱体1底部四角安装有四个滑轮7，实现分子泵模块的便捷移动。所述分子泵2的进气口安装有防尘装置，以保护分子泵2。为了便观察与操作，所述控制检测单元3安装在箱体1的上部。所述分子泵2的进气口与设备主体的出气口之间通过法兰连接，具有便于拆装的优点。所述分子泵2进气口的气体通道上安装有真空插板阀5，所述分子泵2出气口的气体通道上安装有真空挡板阀6，所述真空插板阀5和真空挡板阀6能够手动或自动实现模块气路的联通与关闭，实现对所述分子泵2的保护。当所述真空插板阀5和真空挡板阀6选择自动控制时，可用所述控制检测模块2进行控制。本技术结构简单紧凑，将涡轮分子泵运转所必需的一些结构，如控制检测单元集合到箱体内，箱体对于模块起着支撑和保护作用。模块整体尺寸较小，减小了实验设备的占据空间。模块可以对主设备进行完美响应，与主设备之间的管道连接采用卡箍连接的方式，操作简单，稳定可靠；尽量减小了内部各个零件的反复拆卸，避免了反复拆卸对于设备的损害；增加了一些其他的辅助模块工作的单元，如稳定装置，可以使得涡轮分子泵在更好的工作条件下运转。需要强调的是：以上仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于MPCVD设备的分子泵抽气模块，所述MPCVD设备包括设备主体、机械泵和水冷系统，其特征在于：分子泵抽气模块包括用于承载各个部件的箱体（1）、分子泵（2）、控制检测单元（3）和平衡稳定装置（4），所述分子泵（2）、控制检测单元（3）和平衡稳定装置（4）均安装在箱体（1）内部，所述分子泵（2）包括进气口、出气口、冷却进水口和冷却出水口，所述分子泵（2）的进气口、出气口分别与设备主体出气口、机械泵的进气口相连接，所述分子泵（2）冷却进水口、冷却出水口分别与水冷系统的出、进水口相连接，所述分子泵（2）通过电路与控制检测单元（3）相连接，所述控制检测单元（3）可以控制分子泵（2）的运转以及实时监测分子泵（2）的运转状态，所述平衡稳定装置（4）由驱动电机连接伸缩杆组成，所述驱动电机可带动伸缩杆作伸缩运动。

【技术特征摘要】
1.一种用于MPCVD设备的分子泵抽气模块，所述MPCVD设备包括设备主体、机械泵和水冷系统，其特征在于：分子泵抽气模块包括用于承载各个部件的箱体（1）、分子泵（2）、控制检测单元（3）和平衡稳定装置（4），所述分子泵（2）、控制检测单元（3）和平衡稳定装置（4）均安装在箱体（1）内部，所述分子泵（2）包括进气口、出气口、冷却进水口和冷却出水口，所述分子泵（2）的进气口、出气口分别与设备主体出气口、机械泵的进气口相连接，所述分子泵（2）冷却进水口、冷却出水口分别与水冷系统的出、进水口相连接，所述分子泵（2）通过电路与控制检测单元（3）相连接，所述控制检测单元（3）可以控制分子泵（2）的运转以及实时监测分子泵（2）的运转状态，所述平衡稳定装置（4）由驱动电机连接伸缩杆组成，所述驱动电机可带动伸缩杆作伸缩运动。2.根据权利要求1所述的用于MPCVD设备的分子泵抽气模块，其特征在于：所述分子泵（2）上还设置有流量复合真空计，所述流量复合真空计与控制检测单元通过电路相连接。3.根据权利要求1所述的用于MPCVD设备的分子泵抽气模块，其特征在于：所述平衡稳定...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘小利，
申请(专利权)人：苏州宝晶新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32