一种涡轮分子泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种涡轮分子泵，包括机架、分子泵主体、支架框体、传动块、卡箍、紧固螺栓、传动螺杆和锁母，所述支架框体对称且固定安装在机架的左右两侧，所述传动螺杆的两端分别通过滚珠轴承转动安装在支架框体上，所述传动块螺接传动安装在传动螺杆上，所述锁母螺接安装在传动螺杆上将传动块进行限位固定，所述卡箍后端铰接安装在传动块上，所述分子泵主体置于机架上。卡箍对分子泵主体中部和底部进行同时扣紧固定，可缓解抑制分子泵主体在工作过程中，其中部由于缺少限制力产生的抖动问题，提高了涡轮分子泵在使用过程中的稳定性。提高了涡轮分子泵在使用过程中的稳定性。提高了涡轮分子泵在使用过程中的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种涡轮分子泵


[0001]本技术属于分子泵
，尤其是涉及一种涡轮分子泵。

技术介绍

[0002]涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。涡轮分子泵在工作由于其启动相应块，其工作时产生的振动较大，需要对其进行固定安装，现有的安装方式在涡轮分子泵的底部设置有连接板和连接孔固定安装在工作台上，但是无法对涡轮分子泵上部产生的抖动进行缓解抑制。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种能过对上部抖动进行缓解抑制的涡轮分子泵。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种涡轮分子泵，包括机架、分子泵主体、支架框体、传动块、卡箍、紧固螺栓、传动螺杆和锁母，所述支架框体对称且固定安装在机架的左右两侧，所述传动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涡轮分子泵，其特征在于：包括机架（1）、分子泵主体（2）、支架框体（3）、传动块（4）、卡箍（5）、紧固螺栓（51）、传动螺杆（6）和锁母（61），所述支架框体（3）对称且固定安装在机架（1）的左右两侧，所述传动螺杆（6）的两端分别通过滚珠轴承转动安装在支架框体（3）上，所述传动块（4）螺接传动安装在传动螺杆（6）上，所述锁母（61）螺接安装在传动螺杆（6）上将传动块（4）进行限位固定，所述卡箍（5）后端铰接安装在传动块（4）上，所述分子泵主体（2）置于机架（1）上，并且所述分子泵主体（2）位于卡箍（5）内部，所述分子泵主体（2）的开口处...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘小利，
申请(专利权)人：苏州宝晶新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：