感光元件及摄像装置制造方法及图纸

本申请提供一种感光元件及摄像装置，用以提高感光效率，进而提高摄像帧率。本申请中，感光元件包括：衬底以及位于衬底上的栅极，该栅极包括：感光门、与感光门相邻的传输门、与传输门相邻的收集门以及与收集门相邻的信号读出点；其中，感光门包括至少两个依次嵌套的感光区，嵌套在内层的感光区上所施加的电压大于嵌套在外层的感光区上所施加的电压；传输门上所施加的电压大于感光门中任意感光区上所施加的电压，收集门上所施加的电压大于传输门上所施加的电压。本申请技术方案，可以提高感光效率，进而提高摄像帧率。

Photosensitive element and image pickup device

The present application provides a photosensitive element and an image pickup device to increase the photosensitive efficiency and thereby improve the frame rate of the camera. In this application, the photosensitive element includes a substrate and a substrate is positioned on the gate, the gate door, and includes a photosensitive photosensitive door adjacent transmission gate, and transmission gate adjacent collection door and door collection adjacent to the signal readout point; the photosensitive door comprises at least two followed by nested photosensitive area, nested voltage imposed in the inner side of the photosensitive area is greater than the voltage applied in nested photosensitive area on the outer layer; the applied voltage is greater than the transmission gate voltage applied to any door on the photosensitive photosensitive area, the applied voltage is greater than the collection gate voltage applied on the transmission gate. The technical proposal of the utility model can improve the photographic efficiency and increase the frame rate of shooting.

【技术实现步骤摘要】
感光元件及摄像装置
本申请涉及半导体
，特别涉及一种感光元件及摄像装置。
技术介绍
随着AR(AugmentedReality，增强现实技术)、VR(VirtualReality，虚拟现实)、手势识别等技术的兴起，对3DTOF(TimeofFlight，飞行时间)摄像装置中测距传感器的光信号接收阵列规模要求越来越高。其中，测距传感器通过计算光线发射和反射相位差，来换算与被拍摄景物之间的距离，以产生深度信息，形成3D成像。但是，如果仅仅提高光信号接收阵列规模，比如，光信号接收阵列规模为QVGA(QuarterVideoGraphicsArray，四分之一的视频图形阵列)的3DTOF摄像装置，帧率会被降低，而太低的帧率不能满足对摄像对象动作的捕捉需求。
技术实现思路
有鉴于此，本申请实施例提供一种感光元件及摄像装置，用以提高感光效率，进而提高摄像帧率。本申请部分实施例提供了一种感光元件，包括：包括衬底以及位于所述衬底上的栅极，所述栅极包括：感光门、与所述感光门相邻的传输门、与所述传输门相邻的收集门以及与所述收集门相邻的信号读出点；其中，所述感光门包括至少两个依次嵌套的感光区，嵌套在内层的感本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光元件，包括衬底以及位于所述衬底上的栅极，其特征在于，所述栅极包括：感光门、与所述感光门相邻的传输门、与所述传输门相邻的收集门以及与所述收集门相邻的信号读出点；其中，所述感光门包括至少两个依次嵌套的感光区，嵌套在内层的感光区上所施加的电压大于嵌套在外层的感光区上所施加的电压；所述传输门上所施加的电压大于所述感光门中任意感光区上所施加的电压，所述收集门上所施加的电压大于所述传输门上所施加的电压。

【技术特征摘要】
1.一种感光元件，包括衬底以及位于所述衬底上的栅极，其特征在于，所述栅极包括：感光门、与所述感光门相邻的传输门、与所述传输门相邻的收集门以及与所述收集门相邻的信号读出点；其中，所述感光门包括至少两个依次嵌套的感光区，嵌套在内层的感光区上所施加的电压大于嵌套在外层的感光区上所施加的电压；所述传输门上所施加的电压大于所述感光门中任意感光区上所施加的电压，所述收集门上所施加的电压大于所述传输门上所施加的电压。2.根据权利要求1所述的感光元件，其特征在于，所述感光门包括第一感光区与第二感光区；所述第二感光区包括脉状部与柄部；所述脉状部嵌套于所述第一感光区内，所述脉状部向所述第一感光区外延伸形成所述柄部；所述传输门包括第一传输门与第二传输门；所述第一传输门与所述第二传输门分别位于所述柄部两侧；所述收集门包括第一收集门与第二收集门；所述第一收集门与所述第一传输门相邻，所述第二收集门与所述第二传输门相邻；所述信号读出点包括第一信号读出点与第二信号读出点；所述第一信号读出点与所述第一收集门相邻；所述第二信号读出点与所述第二收集门相邻。3.根据权利要求2所述的感光元件，其特征在于，所述脉状部的脉序为羽状脉。4.根据权利要求3所述的感光元件，其特征在于，所述脉状部包括主脉、侧脉与细脉；所述主脉沿所述第一感光区的纵向延伸，所述侧脉为所述主脉沿所述第一感光区的横向延伸而成，所述细脉为所述侧脉沿所述第一感光区的纵向延伸而成。5.根据权利要求2所述的感光元件，其特征在于，所述第一感光区、所述第二感光区、所述传输门、所述收集门为P型掺杂，且掺杂浓度依次降低；或者，所述第一感光区、所述第二感光区、所述传输门、所述收集门为N型掺杂，且掺杂浓度依次升高；或者，所述第一感光区、所述第二感光区、所述传输门、所述收集门依次呈P型掺杂浓度降低、N型掺杂浓度升高的趋势。6.根据权利要求1所述的感光元件，其特征在于，所述感光门包括第三感光区以及嵌套于所述第三感光区内的第四感光区；其中，所述第四感光区呈脉状；所述第四感光区包括主脉与侧脉；所述主脉沿所述第三感光区的纵向延伸，所述侧脉为所述主脉沿所述第三感光区的横向延伸而成；所述主脉贯穿所述第三感光区，且所述主脉的第一端的边界与所述第三感光区的第一边界齐平，所述主脉的第二端的边界与所述第三感光区的第二边界齐平，其中所述第一边界与所述第二边界位置相对；所述传输门包括第三传输门与第四传输门；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：东尚清，李碧洲，
申请(专利权)人：艾普柯微电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31