真空镀膜电源的防直通PWM驱动电路制造技术
Anti through PWM driving circuit for vacuum coating power supply
The present invention provides anti PWM drive circuit power supply through vacuum coating, which comprises a main power supply, the main power supply is connected to at least one PWM drive circuit, the PWM driving circuit is connected with the variable frequency transformer, the inverter transformer is connected to at least one insulated gate bipolar transistor. The present invention adopts the combination of a driver and a transformer to avoid the through phenomenon in the circuit topology, thereby effectively protecting the bridge arm and greatly improving the reliability of the power supply. Connect the frequency transformer through PWM drive circuit, and improve the performance of variable frequency transformer, variable frequency transformer manufacturing using new materials, increase the frequency transformer life, at the same time, the problems are solved through variable frequency transformer.
【技术实现步骤摘要】
真空镀膜电源的防直通PWM驱动电路
本专利技术涉及电源驱动电路
，具体涉及到真空镀膜电源的防直通PWM驱动电路。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。真空镀膜电源在真空镀膜中有着重要的作用，关系到镀膜的附着力，光洁度，色差等参数，所以电源的可靠性尤为重要。真空镀膜电源逆变器过去对全桥的驱动都是一对一驱动，即独立的四个驱动器，这样假如有一个驱动器出现故障，逆变器的桥臂就会出现直通现象，使电源永久性损坏。此问题亟待解决。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足，本专利技...
【技术保护点】
真空镀膜电源的防直通PWM驱动电路，其特征在于：包括主电源，所述主电源连接至少一个PWM驱动电路，所述PWM驱动电路连接变频变压器，所述变频变压器连接至少一个绝缘栅双极晶体管。
【技术特征摘要】
1.真空镀膜电源的防直通PWM驱动电路，其特征在于：包括主电源，所述主电源连接至少一个PWM驱动电路，所述PWM驱动电路连接变频变压器，所述变频变压器连接至少一个绝缘栅双极晶体管。2.如权利要求1所述的真空镀膜电源的防直通PWM驱动电路，其特征在于：所述变频变压器为软磁变压器。3.如权利要求2所述的真空镀膜电源的防直通PWM驱动电路，其特征在于：所述软磁变压器为软磁铁氧体变压器。4.如权利要求2所述的真空镀膜电源的防直通PW...
【专利技术属性】
技术研发人员：武文全，
申请(专利权)人：佛山市佛欣真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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