The present invention describes an apparatus and method for positioning an electronic component to be transferred relative to a discharge device. The discharge device has a slider for at least one electronic component and a housing disposed around the slider having a first half transparent region. The first carrier having an electronic component to be transferred includes a first side facing the discharge device and a second side facing toward the far from the discharge device, and the electronic element is disposed on the second side. At least one image data acquisition device captures image data of a region through the first translucent region of the housing, where the slider interacts with at least one of the electronic components. The controller determines the position data of electronic components be transferred according to the image data captured, according to the position data generating control instructions; at least one driver according to the offset between the control command to drive the first carrier and discharging device relative to each other so as to change the motion and the longitudinal axis of the electronic components of the central axis of the slider.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术描述一种用于使电子元件和/或载体相对排料装置定位的设备和方法，尤其描述一种用于在电子元件转移到载体之前对该电子元件和/或载体进行定位的设备和方法。
技术介绍
在转移电子元件尤其是晶片（die）时，特别是在转移单一（singularized）电子元件时，一般就会存在这样的问题：电子元件正在不断地微型化，所以在转移电子元件时对精度相关的要求变得越来越高。例如，DE102006027663A1公开了一种用于测量电子元件的光学检测系统，该光学检测系统允许在仪器头取得电子元件之前对无外壳封装元件进行检测。JP2009016455A公开了一种用于捕捉基底位置的方法和设备。DE102011017218A1公开一种用于将电子元件从第一载体转移至第二载体的转移装置的实例。例如，DE10349847B3公开了一种用于转移电子元件的定位设备和定位方法。在该文件中，设置在载体膜上的半导体晶圆设置在带状基底上方并与该带状基底相平行。首先，该晶圆可以通过晶圆夹持器预先放置在晶圆平面内，该晶圆还可以绕垂直于该晶圆平面的旋转轴转动。排料装置包括排料针，该排料针作用在与载体膜分开的晶片的后侧，并向下运动从而使该晶片从载体膜上分开。该从载体膜上分开的晶片放置在该带状基底的结合位置（bondingposition）处。这就存在这样的问题：排料装置和载体膜从上方、基底从下方遮住该电子元件及该结合位置。此外，在大部分情况...
【技术保护点】
一种用于使待转移的电子元件（12、12a）相对排料装置（14）定位的设备，其特征在于，包括：排料装置（14），所述排料装置（14）包括用于至少一个电子元件（12、12a）的滑动件（16）以及围绕所述滑动件（16）设置的壳体（18），其中所述壳体（18）具有第一半透明区域（20）；第一载体（30），所述第一载体（30）上设置有所述待转移的电子元件（12、12a），所述第一载体（30）包括朝向所述排料装置（14）的第一侧面和朝向远离所述排料装置（14）的第二侧面，其中所述多个电子元件（12、12a）设置在所述第二侧面上；至少一个图像数据获取装置（40），用于透过所述壳体（18）的第一半透明区域（20）捕捉一区域的图像数据，在所述区域中所述滑动件与所述至少一个电子元件（12a）相互作用；控制器（42），用于根据捕获的图像数据来确定所述待转移的电子元件（12a）的位置数据，还根据所述位置数据生成控制指令；以及至少一个驱动器（34），用于根据所述控制指令驱动所述第一载体（30）和所述排料装置（14）相对彼此运动从而改变所述滑动件的纵轴（ls）与所述电子元件（12a）的中心轴（lb）之间的偏移量，...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.06.15 DE 102011104225.71.一种用于使待转移的电子元件（12、12a）相对排料装置（14）定位
的设备，其特征在于，包括：
排料装置（14），所述排料装置（14）包括用于至少一个电子元件（12、
12a）的滑动件（16）以及围绕所述滑动件（16）设置的壳体（18），其中所
述壳体（18）具有第一半透明区域（20）；
第一载体（30），所述第一载体（30）上设置有所述待转移的电子元件（12、
12a），所述第一载体（30）包括朝向所述排料装置（14）的第一侧面和朝向
远离所述排料装置（14）的第二侧面，其中所述多个电子元件（12、12a）设
置在所述第二侧面上；
至少一个图像数据获取装置（40），用于透过所述壳体（18）的第一半透
明区域（20）捕捉一区域的图像数据，在所述区域中所述滑动件与所述至少
一个电子元件（12a）相互作用；
控制器（42），用于根据捕获的图像数据来确定所述待转移的电子元件
（12a）的位置数据，还根据所述位置数据生成控制指令；以及
至少一个驱动器（34），用于根据所述控制指令驱动所述第一载体（30）
和所述排料装置（14）相对彼此运动从而改变所述滑动件的纵轴（ls）与所
述电子元件（12a）的中心轴（lb）之间的偏移量，其中所述排料装置（14）
包括设置在所述壳体（18）内部的第一镜子（50）。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，在所述壳体（18）的内部
设有第一光源（26）。
3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，在所述壳体（18）的外部
设有第一光源（26）。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的设备，其特征在于，所述第一镜子
（50）包括一开口，所述滑动件（16）沿其纵轴方向可滑动地设置并穿过所
述开口。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的设备，其特征在于，在所述壳体（18）
\t的外部设有第二镜子（52）。
6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述第二镜子（52）是半
透明的镜子，用于对来自第二光源（54）的电磁辐射进行耦合。
7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述第二光源（54）用于
发射电磁辐射，所述电磁辐射适于使所述电子元件（12、12a）至少部分地与
所述第一载体（30）分开。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的设备，其特征在于，所述壳体（18）
包括第二半透明区域（24），其中所述第二半透明区域（24）设有开口，所述
滑动件（16）沿其纵轴方向可滑动地设置并穿过所述开口。
9.用于使具有用于容纳电子元件的接触面的第二载体（60）相对排料装
置（14）定位的所述设备，其特征在于，包括：
半透明支撑件（62），所述第二载体（60）的第一侧面抵持于所述半透明
支撑件（62）上；
至少一个第三光源（64），相对所述第二载体（60）间隔一定距离设于所
述第二载体（60）的朝向远离所述半透明支撑件（64）的第二侧面上；
至少一个光学传感器元件（66），用于检测施加在所述第二载体（60）上
的标记并生成相应的传感器信号；
控制器（42），用于根据所述传感器信号来确定所述接触面的位置数据并
根据所述位置数据生成控制指令；以及
至少一个第二驱动器（74），用于根据所述控制指令驱动第一载体（30）、
所述排料装置（14）和/或所述第二载体（6...
【专利技术属性】
技术研发人员：弗拉基米尔·普拉卡朋加，雷纳·米利希，
申请(专利权)人：米尔鲍尔股份公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。