不良检测方法技术

提供不良检测方法，能够适当地判定出添加剂的注入不良。一种不良检测方法，对加工液提供装置(40)中的添加剂的注入不良进行检测，该不良检测方法包含如下的步骤：浓度设定步骤，对加工液中的添加剂的浓度进行设定；添加量计算步骤，根据通过浓度设定步骤设定的添加剂的浓度和由流量计(44)测量出的液体的流量对添加剂的添加量进行计算；移送泵工作判别步骤，当按照通过添加量计算步骤计算出的添加量向液体添加添加剂时，对移送泵(64a，64b)的工作时间是否适当进行判别；以及判定步骤，当通过移送泵工作判别步骤判别为移送泵的工作时间不适当的情况下，判定为添加剂的注入不良。

Bad detection method

Provide adverse test methods to properly determine the injection of additives. A failure detection method, device to provide processing liquid (40) in additive injection adverse detection, the failure detection method includes the following steps: setting the concentration steps of additives in the processing liquid concentration is set; amount of calculation step, according to the concentration steps set by setting additive concentration and a flow meter (44) calculated amount of the measured liquid flow of the additives; the work of the transfer pump judging step when the adding amount according to the amount of added calculation steps calculated additive is added to the liquid, the transfer pump (64a, 64b) working time is appropriate to judge; and when deciding step. Through the work of the transfer pump is transferred to the judging step discrimination pump working time is not appropriate, judged to be bad injection additives.

【技术实现步骤摘要】
不良检测方法
本专利技术涉及不良检测方法，对添加剂向加工液的注入不良进行检测。
技术介绍
为了防止以半导体晶片为代表的被加工物的静电破坏和加工时产生的屑(加工屑)等附着在被加工物上，有时使用注入而混合了防静电用的添加剂的加工液来对被加工物进行加工。例如，通过加工液提供装置来进行添加剂向加工液的注入(例如，参照专利文献1)。但是，在该加工液提供装置中，有时因作为添加剂的流路的配管(管)发生弯曲或者空气或粉尘等异物侵入到流路内而不能向加工液注入所需的分量的添加剂。因此，也研究了对加工液的导电率、电阻率等进行测量并根据该值来判定是否已注入了适当的分量的添加剂的方法等。专利文献1：日本特开2007-222963号公报但是，在上述的方法中，当对导电率、电阻率等进行测量的测量器中存在异常时，例如，存在如下的可能性：即使没有注入适当的分量的添加剂也误判定为已注入了适当的分量的添加剂。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供一种不良检测方法，能够适当地判定出添加剂的注入不良。根据本专利技术的一方式，提供不良检测方法，在加工液提供装置中对添加剂的注入不良进行检测，该加工液提供装置具有：流量计，其一端与液体提供源连接，另一端配设在与加工装置连接的流路上，该流量计对该流路中流动的液体的流量进行测量；添加剂容器，其收纳向该液体中添加的添加剂；贮存容器，其对从该添加剂容器提供的添加剂进行贮存；移送泵，其将该添加剂从该添加剂容器移送至该贮存容器，以便成为在该贮存容器中总是贮存有规定的量的该添加剂的状态；注入泵，其将该贮存容器的该添加剂注入到该流路的比该流量计靠下游侧的位置；以及测量器，其对将该添加剂注入到该液体中而生成的加工液的导电率或电阻率进行测量，该不良检测方法的特征在于，具有如下的步骤：浓度设定步骤，对该加工液中的该添加剂的浓度进行设定；添加量计算步骤，根据通过该浓度设定步骤设定的该添加剂的浓度和由该流量计测量出的该液体的流量对该添加剂的添加量进行计算；移送泵工作判别步骤，当按照通过该添加量计算步骤计算出的添加量向该液体添加该添加剂时，对移送泵的工作时间是否适当进行判别；以及判定步骤，当通过该移送泵工作判别步骤判别为该移送泵的工作时间不适当的情况下，判定为该添加剂的注入不良。在本专利技术的一方式中，优选还具有如下的警告步骤：当通过该判定步骤判定为该添加剂的注入不良的情况下，发出警告。并且，在本专利技术的一方式中，优选还具有如下的加工装置停止步骤：当通过该判定步骤判定为该添加剂的注入不良的情况下，发出使该加工装置的运转停止的停止信号而使该加工装置的运转停止。在本专利技术的一方式的不良检测方法中，在按照规定的添加量添加添加剂时，对移送泵的工作时间是否适当进行判别，并根据该结果对是否适当地注入了添加剂进行判定，因此即使在对加工液的导电率、电阻率等进行测量的测量器中存在异常的情况下等，也能够适当地判定出添加剂的注入不良。附图说明图1是示意性地示出并列设置有加工液提供装置的切削装置的结构例的立体图。图2是示意性地示出加工液提供装置等的结构例的图。标号说明2：切削装置(加工装置)；4：基台；4a：开口；4b：支承台；4c：开口；6：盒升降台；8：盒；10：暂放机构；12：推拉机构；14：导轨；16：X轴移动工作台；18：防尘防滴罩；20：卡盘工作台(保持构件)；20a：保持面；22：夹具；24：第1搬送机构；26：切削单元；28：拍摄单元；30：切削刀具；32：清洗机构；34：第2搬送机构；36：监视器；38：喷嘴；40：加工液提供装置；42：液体提供源；44：流量计；46：流路；48：控制单元(控制构件)；48a：添加量计算部；48b：设定部；48c：注入泵控制部；48d：第1判定部；48e：警告发出部；48f：移送泵控制部；48g：第2判定部；48h：停止信号发送部；50：注入泵；52：测量器；54：贮存容器；56：液面检测传感器；58：上限检测用电极；60：下限检测用电极；62：共用电极；64a：第1移送泵；64b：第2移送泵；66a：第1添加剂容器；66b：第2添加剂容器；68：控制单元(控制构件)；68a：停止信号接收部；68b：停止部；11：被加工物；13：划片带；15：框架。具体实施方式参照附图对本专利技术的一方式的实施方式进行说明。本实施方式的不良检测方法包含浓度设定步骤、添加量计算步骤、移送泵工作判别步骤、判定步骤、警告步骤和装置停止步骤(加工装置停止步骤)。在浓度设定步骤中，将加工液中的添加剂的浓度设定为希望的值。在添加量计算步骤中，根据通过浓度设定步骤设定的添加剂的浓度和由流量计测量出的液体的流量对添加剂的添加量进行计算。在移送泵工作判别步骤中，当按照通过添加量计算步骤计算出的添加量添加添加剂时，对移送泵的工作时间是否适当进行判别。在判定步骤中，当在移送泵工作判别步骤中判别为移送泵的工作时间不适当的情况下，判定为添加剂的注入不良。在警告步骤中，当在判定步骤中判定为添加剂的注入不良的情况下，发出警告。在装置停止步骤中，当在判定步骤中判定为添加剂的注入不良的情况下，使切削装置(加工装置)的运转停止。以下，对本实施方式的不良检测方法进行详述。首先，对使用了本实施方式的不良检测方法的加工液提供装置等进行说明。图1是示意性地示出并列设置有加工液提供装置的切削装置(加工装置)的结构例的立体图。另外，在本实施方式中，对用于切削晶片的切削装置进行说明，但本专利技术的加工装置也可以是磨削装置、研磨装置等。如图1所示，切削装置(加工装置)2具有对各构造进行支承的基台4。在基台4的前方的角部设置有能够升降的盒升降台6。在盒升降台6的上表面上载置有能够对多个被加工物11进行收纳的盒8。另外，在图1中，为了方便说明，仅示出了盒8的轮廓。被加工物11例如是由硅等半导体材料制成的圆盘状的晶片，其正面侧分为中央的器件区域和围绕器件区域的外周剩余区域。器件区域被呈格子状排列的分割预定线(间隔道)进一步划分成多个区域，在各区域内形成有IC、LSI等器件。不过，被加工物11的材质或形状、器件的种类等并没有限制。例如，也可以使用封装基板、陶瓷基板、树脂基板、金属基板等来作为被加工物11。在被加工物11的背面侧粘贴有直径比被加工物11大的划片带13。该划片带13的外周部分固定有由铝、不锈钢等金属材料制成的环状的框架15。即，被加工物11借助划片带13被框架15支承。在Y轴方向(分度进给方向)上在与盒升降台6相邻的位置处设置有暂放机构10。暂放机构10例如包含能够在Y轴方向上移动的推拉机构12和一边维持着互相平行的状态一边接近、分开的一对导轨14。推拉机构12将盒8内的被加工物11拉出到导轨14上或者将载置在导轨14上的被加工物11插入到盒8中。导轨14通过在X轴方向(加工进给方向)上将框架15夹住而使被加工物11对准规定的位置。在X轴方向上在与盒升降台6相邻的位置处形成有矩形的开口4a。在开口4a内设置有X轴移动工作台16、使X轴移动工作台16在X轴方向上移动的X轴移动机构(未图示)以及对X轴移动机构进行覆盖的防尘防滴罩18。X轴移动机构具有与X轴方向大致平行的一对X轴导轨(未图示)，在X轴导轨上以能够滑动的方式安装有X轴移动工作台16。在X轴移动工作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种不良检测方法，在加工液提供装置中对添加剂的注入不良进行检测，该加工液提供装置具有：流量计，其一端与液体提供源连接，另一端配设在与加工装置连接的流路上，该流量计对该流路中流动的液体的流量进行测量；添加剂容器，其收纳向该液体中添加的添加剂；贮存容器，其对从该添加剂容器提供的添加剂进行贮存；移送泵，其将该添加剂从该添加剂容器移送至该贮存容器，以便成为在该贮存容器中总是贮存有规定的量的该添加剂的状态；注入泵，其将该贮存容器的该添加剂注入到该流路的比该流量计靠下游侧的位置；以及测量器，其对将该添加剂注入到该液体中而生成的加工液的导电率或电阻率进行测量，该不良检测方法的特征在于，具有如下的步骤：浓度设定步骤，对该加工液中的该添加剂的浓度进行设定；添加量计算步骤，根据通过该浓度设定步骤设定的该添加剂的浓度和由该流量计测量出的该液体的流量对该添加剂的添加量进行计算；移送泵工作判别步骤，当按照通过该添加量计算步骤计算出的添加量向该液体添加该添加剂时，对移送泵的工作时间是否适当进行判别；以及判定步骤，当通过该移送泵工作判别步骤判别为该移送泵的工作时间不适当的情况下，判定为该添加剂的注入不良。

【技术特征摘要】
2016.03.14 JP 2016-0496441.一种不良检测方法，在加工液提供装置中对添加剂的注入不良进行检测，该加工液提供装置具有：流量计，其一端与液体提供源连接，另一端配设在与加工装置连接的流路上，该流量计对该流路中流动的液体的流量进行测量；添加剂容器，其收纳向该液体中添加的添加剂；贮存容器，其对从该添加剂容器提供的添加剂进行贮存；移送泵，其将该添加剂从该添加剂容器移送至该贮存容器，以便成为在该贮存容器中总是贮存有规定的量的该添加剂的状态；注入泵，其将该贮存容器的该添加剂注入到该流路的比该流量计靠下游侧的位置；以及测量器，其对将该添加剂注入到该液体中而生成的加工液的导电率或电阻率进行测量，该不良检测方法的特征在于，具有如下的步骤：浓度设定步骤，对该加工液中...

【专利技术属性】
技术研发人员：新井贤，吉田干，内田正喜，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP