一种卡点位置优化的石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种卡点位置优化的石墨舟，它主要由绝缘棒和在水平方向上排列的单元舟片组成，单元舟片为竖直设置的片状体，相邻单元舟片之间具有间隙，绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起，位于两外侧的单元舟片的内外表面上设有凹槽，位于中间的单元舟片上设有通孔，在凹槽和通孔的周边区域中设有用于固定硅片的卡点，凹槽和通孔的口缘形状为正方形四个边角圆弧过渡的形状，主要由顶边、底边和两条侧边组成，卡点为3个且位于凹槽和通孔的周边区域中并分别靠近底边和两条侧边的中心位置。本实用新型专利技术可以增加硅片的导电均匀性，从而改善镀膜均匀性，提升太阳能电池的外观合格率和光电转换效率。

A card location optimized for Shi Mozhou

The utility model discloses a card optimization point which is mainly composed of a graphite boat, the insulation rod and unit of boat arranged in the horizontal direction, boat shaped body unit is arranged vertically, with the gap between the adjacent unit of boat, the insulation rod in each of unit of boat Zhou Yuanguan wear and boat unit all the pieces are connected and fixed together, in two outside of the inner and outer surface of boat unit is provided with a groove on a boat in the middle of the unit, which is provided with a hole in the groove and the surrounding area through holes are provided for card fixed wafer, the shape of the grooves and the through holes of the mouth edge shape for the four sides of a square the angle of arc transition is mainly composed of a top edge and the bottom edge and two side edges, card points for the 3 surrounding areas and is located in the groove and the through hole in the center position and are close to the bottom and two side. The utility model can increase the conductive uniformity of the silicon wafer, thereby improving the uniformity of the coating, and improving the apparent qualification rate and the photoelectric conversion efficiency of the solar cell.

【技术实现步骤摘要】
一种卡点位置优化的石墨舟
本技术涉及一种石墨舟，尤其涉及一种卡点位置优化的石墨舟。
技术介绍
太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷和烧结这六大工序。其中，镀膜工序是采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片正面镀氮化硅膜，以减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，目前，载片器通常采用石墨舟，一般是操作人员将花篮中的硅片插入专门的石墨舟或者通过自动上下料机将硅片插入专门的石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过固定卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。现有的石墨舟一般采用3个固定卡点卡住硅片的三条边，将硅片固定住。但是，两个卡点对应位于硅片的一个角附近，另外一个卡点对应位于硅片的另外一条边的中心点附近。在镀膜过程中，由于卡点分布不均匀导致硅片镀膜不均匀，形成色差，同时降低电池的光电转换效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能够提高电池外观良品率、提高光电转换效率的卡点位置优化的石墨舟，可避免传统镀膜石墨舟产生的硅片镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卡点位置优化的石墨舟，其特征在于：它主要由绝缘棒和在水平方向上排列的数个单元舟片组成，所述单元舟片为竖向设置的片状体，相邻的单元舟片之间具有间隙，所述绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起，位于两外侧的单元舟片的内外表面上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽，位于每个外侧单元舟片内外表面上的凹槽相对应，在凹槽的槽底面上设有贯通该对应凹槽的用于抽真空的细孔，位于中间的单元舟片上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔，在所述凹槽和通孔的周边区域中设有用于固定硅片的卡点，所述凹槽和通孔的口缘形状为正方形四个边角圆弧过渡的形状，主要由顶边、底边和两条侧边...

【技术特征摘要】
1.一种卡点位置优化的石墨舟，其特征在于：它主要由绝缘棒和在水平方向上排列的数个单元舟片组成，所述单元舟片为竖向设置的片状体，相邻的单元舟片之间具有间隙，所述绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起，位于两外侧的单元舟片的内外表面上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽，位于每个外侧单元舟片内外表面上的凹槽相对应，在凹槽的槽底面上设有贯通该对应凹槽的用于抽真空的细孔，位于中间的单元舟片上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔，在所述凹槽和通孔的周边区域中设有用于固定硅片的卡点，所述凹槽和通孔的口缘形状为正方形四个边角圆弧过渡的形状，主要由顶边、底边和两条侧边组成，所述卡点为3个且位于凹槽和通孔的周边区域中并分别靠近底边和两条侧边的中心位置。2.根据权利要求1所述的卡点位置优化的石墨舟，其特征在于：所述单元舟片的数量为2～50，相邻单元舟片之间的间距为5～50mm。3.根据权利要求2所述的卡点位置优化的石墨舟，其特征在于：所述单元舟片上的凹槽和通孔均呈阵列均匀分布，阵列的形状为正方形、长方形、圆形或六边形。4.根据权利要求3所述的卡点位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：方结彬，何达能，陈刚，
申请(专利权)人：广东爱康太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44