阵列基板及其制作方法和显示装置制造方法及图纸

一种阵列基板，包括基板和设置在基板上的栅极、栅极绝缘层、有源层、源极、漏极、绝缘层和电极层，绝缘层上设有露出漏极的导通孔，电极层通过导通孔与漏极电性连接，栅极绝缘层上设有凹槽，漏极上设有与凹槽对应的凹陷部，电极层通过导通孔与漏极的凹陷部电性连接。本发明专利技术的阵列基板的电极层与凹陷部的接触面积增大，能有效降低接触阻抗，有利于提高产品的显示品质，同时降低产品功耗。本发明专利技术还涉及一种阵列基板的制作方法及显示装置。

Array substrate, manufacturing method thereof and display device

An array substrate includes a gate electrode, gate and substrate disposed on a substrate layer, an active layer, the source electrode and the drain electrode, an insulating layer and the electrode layer, an insulating layer is arranged on the exposed drain holes, electrode layer through a via hole is connected with the drain electrode, a gate insulating layer is arranged on the the drain is provided with a concave groove, and groove corresponding to the electrode layer through the via hole and the drain of the concave part is electrically connected. The contact area of the electrode layer and the concave part of the array substrate of the invention increases, and the contact resistance can be effectively reduced, and the display quality of the product is improved, and the power consumption of the product is reduced. The invention also relates to a method for manufacturing an array substrate and a display device.

【技术实现步骤摘要】
阵列基板及其制作方法和显示装置
本专利技术涉及液晶显示
，特别涉及一种阵列基板及其制作方法和显示装置。
技术介绍
液晶显示模块LCM(LCDModule)即LCD显示模组或液晶模块，是指将液晶显示器件、连接件、控制与驱动等外围电路、PCBA电路板、背光源等结构件装配在一起的显示组件。液晶显示模块主要包括背光模组和设置在背光模组上的显示面板。显示面板包括阵列基板、彩膜基板和设置于阵列基板与彩膜基板之间的液晶层。图1是现有的阵列基板的结构示意图。如图1所示，阵列基板30包括玻璃基板32和设置在玻璃基板32上的栅极33、栅极绝缘层34、有源层35，源极36、漏极37、绝缘层38和像素电极39。绝缘层38上设有露出漏极37的导通孔301，像素电极39通过导通孔301与漏极37电性连接。在TFT制程中，导通孔301的大小会影响整个阵列基板30的开口率，如果导通孔301过大，会降低阵列基板30的开口率；如果导通孔301过小，会增加漏极37与像素电极39的接触阻抗，而接触阻抗过大会影响产品的显示品质，增加功耗，降低产品的可靠性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供了一种阵列基板，电极层与凹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板，包括基板(12)和设置在该基板(12)上的栅极(13)、栅极绝缘层(14)、有源层(15)、源极(16)、漏极(17)、绝缘层(18)和电极层(19)，该绝缘层(18)上设有露出该漏极(17)的导通孔(102)，该电极层(19)通过该导通孔(102)与该漏极(17)电性连接，其特征在于，该栅极绝缘层(14)上设有凹槽(101)，该漏极(17)上设有与该凹槽(101)对应的凹陷部(172)，该电极层(19)通过该导通孔(102)与该漏极(17)的凹陷部(172)电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，包括基板(12)和设置在该基板(12)上的栅极(13)、栅极绝缘层(14)、有源层(15)、源极(16)、漏极(17)、绝缘层(18)和电极层(19)，该绝缘层(18)上设有露出该漏极(17)的导通孔(102)，该电极层(19)通过该导通孔(102)与该漏极(17)电性连接，其特征在于，该栅极绝缘层(14)上设有凹槽(101)，该漏极(17)上设有与该凹槽(101)对应的凹陷部(172)，该电极层(19)通过该导通孔(102)与该漏极(17)的凹陷部(172)电性连接。2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，该凹槽(101)呈弧形；该凹陷部(172)呈弧形。3.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，该栅极绝缘层(14)的厚度为300nm～500nm。4.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，该凹槽(101)的深度等于该栅极绝缘层(14)厚度的1/2～2/3。5.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，该阵列基板的制作方法的步骤包括：提供基板(12)，在该基板(12)上依次形成栅极(13)、栅极绝缘层(14)、有源层(15)、源极(16)、漏极(17)、绝缘层(18)和电极层(19)，其中该绝缘层(18)上设有露出该漏极(17)的导通孔(102)，该栅极绝缘层(14)上设有凹槽(101)，该漏极(17)上设有与该凹槽(101)对应的凹陷部(172)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓威，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32