用于确定样品高度信息的方法以及扫描显微镜技术

本发明专利技术涉及用于确定样品的高度信息的方法，以及一种扫描显微镜。所述方法包括以下步骤：生成照明点；使用所述照明点照射所述样品；捕获所述样品上的所述照明点的反射图像；评估所述图像的横向分布；根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三维照明图案和/或探测光路中的图像具有三维探测图案。所述扫描显微镜的特征在于照明装置(07)和/或探测器装置包括用于生成三维图案的构件，所述三维图案具有在沿所述光学轴不对称的所述横向强度分布的变化；且所述评估装置配置成根据所述探测器信号确定高度信息。

Method for determining sample height information and scanning microscope

The present invention relates to a method for determining the height information of a sample, and to a scanning microscope. The method comprises the following steps: generating lighting; using the lighting point irradiation of the sample; the reflection image captures the lighting point of the sample on the transverse distribution of the image; evaluation; according to the information to determine the height of the transverse distribution; among them, the illumination with three-dimensional lighting the pattern and / or image detection in optical path with three-dimensional pattern detection. The lighting device is characterized by the scanning microscope (07) and / or detector device comprises a component for generating 3D pattern, the three-dimensional pattern has changes along the optical axis in the asymmetric transverse intensity distribution; and the evaluation device is configured to determine the height according to the information of the signal detector.

【技术实现步骤摘要】
用于确定样品高度信息的方法以及扫描显微镜
本专利技术涉及用于确定样品形貌信息或高度信息的方法以及一种扫描显微镜。为了表征技术表面且尤其是为了推导粗糙测量值以及形貌，共聚焦显微镜是当前使用的标准方法。该方法在例如M.Rohlres、J.Seewig,L著作且由标准出版社有限公司(BeuthVerlagGmbH)2009年于柏林出版的“表面的光学测量技术”中有所描述。在许多共聚焦系统中，样品的扫描在此是在三个空间方向上进行的，也就是说，首先涉及的是点扫描系统，其中光束在x/y方向上被引导(扫描)至样品上。为了推导出高度信息，还要求样品相对于探测器单元(在z方向上)移动。通过根据z位置的强度最大值，可推导出高度信息且因此推导出各x、y位置的形貌。在此情况下，通常使用例如“重心”方法(Tizianietal.,Opt.Eng.39,32(2000))。该系统的一个示范例是卡尔蔡司显微镜有限公司的LSM700。该方法的一个不足主要是，对3D形貌记录的额外z扫描需要很长时间。此外，其精确性(高度测量的精度)极大程度地取决于样品表面相对于探测器单元的定位精度且因此总是具有局限性，或高度精确性要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于确定样品高度信息的方法，包括以下步骤：‑生成照明点；‑使用所述照明点照射所述样品；‑捕获所述照明点在所述样品上的反射图像；‑评估所述图像的横向分布；‑根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三维照明图案以及/或者探测光路中的所述图像具有三维探测图案。

【技术特征摘要】
2016.03.07 DE 102016203671.81.一种用于确定样品高度信息的方法，包括以下步骤：-生成照明点；-使用所述照明点照射所述样品；-捕获所述照明点在所述样品上的反射图像；-评估所述图像的横向分布；-根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三维照明图案以及/或者探测光路中的所述图像具有三维探测图案。2.如权利要求1中所述的方法，特征在于所述照明图案和/或所述探测图案具有沿光学轴不对称的所述横向强度分布中的变化，其中所述光学轴平行于与放置所述样品的样品平面正交的平面延伸。3.如权利要求1或2所述的方法，特征在于相位分布被用于生成所述照明图案和/或探测图案。4.如权利要求3中所述的方法，特征在于所述相位分布为线性的。5.如权利要求1-4中任一所述的方法，特征在于所述图像的强度信息被进一步确定。6.如权利要求1-5中任一所述的方法，特征在于所述照明图案通过使用有旋转强度分布的激光束来生成。7.如权利要求1-5中任一所述的方法，特征在于将多个照明点同时扫描在所述样品平面上。8.一种扫描显微镜，包括：-照明装置(07)，其用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤姆斯·卡尔克布雷纳，赫尔穆特·利珀特，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE