一种扫描电子显微镜的样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电子显微镜的样品台，包括基台，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。由此，只需将样品放置在矩形凹槽内，旋紧所述压紧螺丝即可固定样品，操作简单方便，而且，可以固定竖直放置的样品，也可固定表面凹凸不平、不同类型的样品，使用范围广泛。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及测试领域，特别涉及一种扫描电子显微镜的样品台。
技术介绍
现有的扫描电子显微镜的样品台通常为圆形平面样品台，仅能放置上下表面较为平整的样品，无法较好的固定不规则的样品。对于需要观察不规则样品的平面或者断面时，无法将样品立起。而且，每次样品固定需在样品台上贴层导电胶，造成耗材浪费。因而现有技术还有待改进和提高。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足之处，本技术的目的在于提供一种扫描电子显微镜的样品台，可固定不同类型、凹凸不平的样品。为了达到上述目的，本技术采取了以下技术方案：一种扫描电子显微镜的样品台，包括基台，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述固定块的数量为两个，两个固定块分别设置在所述定位挡块的左侧和右侧。所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述定位挡块、固定块和基台一体成型设置。所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述样品台上设置有固定孔，所述固定孔与基台的上表面垂直，所述固定孔穿过所述定位挡块和基台。所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述定位挡块和固定块之间的间距为5mm。所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述基台上还设置有压块，所述压块为长方体，所述压块设置在所述矩形凹槽内，所述压块对应所述固定块的螺纹孔的位置设置有档槽，所述档槽与所述螺纹孔连通。所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述档槽的开口面积大于所述螺纹孔的开口面积。所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述定位挡块和固定块之间的间距为30mm。相较于现有技术，本技术提供的扫描电子显微镜的样品台，包括基台，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。由此，只需将样品放置在矩形凹槽内，旋紧所述压紧螺丝即可固定样品，操作简单方便，而且，可以固定竖直放置的样品，也可固定表面凹凸不平、不同类型的样品，使用范围广泛。附图说明图1为本技术提供的扫描电子显微镜的样品台的第一实施例的正视图。图2为本技术提供的扫描电子显微镜的样品台的第一实施例的俯视图。图3为本技术提供的扫描电子显微镜的样品台的第二实施例的正视图。图4为本技术提供的扫描电子显微镜的样品台的第二实施例的俯视图。图5为本技术提供的扫描电子显微镜的样品台的第二实施例中，设置有定位凹槽和凸起部的样品台的俯视图。具体实施方式本技术提供一种扫描电子显微镜的样品台，为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1和图2，本技术提供的扫描电子显微镜的样品台，包括基台10，所述基台10的上表面上设置有定位挡块20、固定块30和压紧螺丝（图中未示出），所述定位挡块20和固定块30均为长方体，所述定位挡块20和固定块30间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽40，所述固定块30内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔310，所述螺纹孔310与所述矩形凹槽40连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔310将样品固定在所述矩形凹槽40内。由此，只需将样品放置在矩形凹槽内，旋紧所述压紧螺丝即可固定样品，操作简单方便，而且，可以固定竖直放置的样品，也可固定表面凹凸不平、不同类型的样品，使得扫描电子显微镜可观察各种样品，使用范围广泛。进一步的，所述定位挡块20、固定块30和基台10一体成型设置。优选的，所述定位挡块20、固定块30和基台10通过3D打印一体成型，当然，也可以在长方体的基台10上铣出两个矩形凹槽形成所述样品台，本技术不做限定。所述基台10为正方体基台，旋转基台10不仅可改变观察样品的方向，而且不会影响基台10的固定。优选的，所述基台10的边长为50mm。所述定位挡块20和固定块30等高，避免高度不已损坏显微镜。进一步的，所述样品台的长和宽均为50mm，高为15mm（固定块和基台的高度之和）。本技术的第一实施例中，如图1和图2所示，所述固定块30的数量为两个，两个固定块30分别设置在所述定位挡块20的左侧和右侧。这样可形成两个矩形凹槽40，可通过扫描电子显微镜同时观察多个样品，提高了观察效率。所述固定块30除构成矩形凹槽40的一侧外，其他侧边均与基台10的边缘平齐。所述固定块30的高度与定位挡块20的高度相等，可避免高度不等引起的显微镜刮伤。优选的，所述固定块30的宽度为15mm，长度为50mm；所述定位挡块20的宽度为10mm，长度为50mm。所述定位挡块20和固定块30之间的间距为5mm。换而言之，所述矩形凹槽40的宽度为5mm，长度为50mm。进一步的，所述样品台上设置有固定孔210，所述固定孔210与基台10的上表面垂直，所述固定孔210穿过所述定位挡块20和基台10。换而言之，在所述定位挡块20的中心向下打一个固定孔210，螺栓可穿过所述固定孔210将样品台固定在所述电子显微镜上。当然，是固定孔210内也可设置螺纹，通过螺钉将所述样品台固定在电子显微镜上。所述固定孔210的设置，不仅能固定样品台，也能让样品台方便的旋转，便于观察不同的样品。请参阅图3和图4，本技术的第二实施例中，所述基台10上还设置有压块50，所述压块50为长方体，所述压块50设置在所述矩形凹槽40内，具体的，所述压块50放置在所述矩形凹槽40内；所述压块50对应所述固定块30的螺纹孔310的位置设置有档槽510，所述档槽510与所述螺纹孔310连通。这样，压紧螺丝通过螺纹孔310抵住档槽510，通过旋紧压紧螺丝使得压块50将样品夹住，实现样品的固定，而且，采用压块50使得样品的受力均匀，有效的保护了样品。所述档槽510的开口面积大于所述螺纹孔310的开口面积。这样压紧螺丝可很好的伸入到档槽510内。进一步的，本实施例中，所述定位挡块20和固定块30之间的间距为30mm。换而言之，所述矩形凹槽40的宽度为30mm，其长度为50mm。本实施例中的样品台的长宽高同样为50×50×15mm。所述定位挡块20和固定块30宽度均为10mm，长度均为50mm。所述压块50的宽度为7mm，长度为50mm。更进一步的，请参阅图5，所述压块50与固定块30接触的侧边（即设置有档槽510的侧边）的两端对称设置有横截面为“V”形的定位凹槽520，对应的，所述固定块30对应所述定位凹槽520的位置设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描电子显微镜的样品台，包括基台，其特征在于，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜的样品台，包括基台，其特征在于，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。
2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述固定块的数量为两个，两个固定块分别设置在所述定位挡块的左侧和右侧。
3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述定位挡块、固定块和基台一体成型设置。
4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘强，
申请(专利权)人：深圳市美信检测技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44