【技术实现步骤摘要】
本技术涉及测试领域,特别涉及一种扫描电子显微镜的样品台。
技术介绍
现有的扫描电子显微镜的样品台通常为圆形平面样品台,仅能放置上下表面较为平整的样品,无法较好的固定不规则的样品。对于需要观察不规则样品的平面或者断面时,无法将样品立起。而且,每次样品固定需在样品台上贴层导电胶,造成耗材浪费。因而现有技术还有待改进和提高。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足之处,本技术的目的在于提供一种扫描电子显微镜的样品台,可固定不同类型、凹凸不平的样品。为了达到上述目的,本技术采取了以下技术方案:一种扫描电子显微镜的样品台,包括基台,所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝,所述定位挡块和固定块均为长方体,所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽,所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔,所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通,所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。所述的扫描电子显微镜的样品台中,所述固定块的数量为两个,两个固定块分别设置在所述定位挡块的左侧和右侧。所述 ...
【技术保护点】
一种扫描电子显微镜的样品台,包括基台,其特征在于,所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝,所述定位挡块和固定块均为长方体,所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽,所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔,所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通,所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。
【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜的样品台,包括基台,其特征在于,所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝,所述定位挡块和固定块均为长方体,所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽,所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔,所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通,所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。
2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台,其特征在于,所述固定块的数量为两个,两个固定块分别设置在所述定位挡块的左侧和右侧。
3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台,其特征在于,所述定位挡块、固定块和基台一体成型设置。
4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台,其特征在于,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘强,
申请(专利权)人:深圳市美信检测技术股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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